[發明專利]激光直接成像設備

有效

• 申請號: 202010445965.7
• 申請日: 2020-05-25
• 公開（公告）號: CN111505916B
• 公開（公告）日: 2023-06-09
• 發明（設計）人: 龔雙平;陳國軍;馬迪;吳景舟
• 申請（專利權）人: 江蘇迪盛智能科技有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 周衛賽

1.一種激光直接成像設備，其特征在于，包括：

工作臺，所述工作臺的臺面設置有通孔，所述通孔內設置有帶透光孔的遮光片，其中，所述遮光片為雙層遮光片，包括透光層和勻光層，所述透光孔位于所述透光層；

激光裝置，設置在所述工作臺的臺面下方并且所述激光裝置的出光口對準所述通孔，用于通過所述通孔向曝光件發出光線形成對準標記，其中，所述激光裝置的出光光斑面積大于所述透光孔的橫截面面積，所述對準標記的大小與所述透光孔的大小一致；

圖像采集裝置，設置在所述工作臺上方，用于采集曝光件上的對準標記；

計算機設備，與所述圖像采集裝置連接，用于根據所述圖像采集裝置采集到的對準標記計算曝光件的對準誤差；

所述計算機設備包括：圖像處理器，與所述圖像采集裝置連接，用于分別將A面標記與B面標記的位置圖像進行歸一化處理，以得到所述A面標記與所述B面標記的位置坐標，計算得到所述對準誤差；所述激光直接成像設備還包括：機械臂，與所述計算機設備連接，用于根據所述對準誤差，調節所述曝光件的位置，以實現所述曝光件的對準；

所述對準標記包括A面標記和B面標記，所述A面標記位于所述曝光件的A面，所述B面標記位于所述曝光件的B面；所述A面標記為實心圖形，所述B面標記為環形圖形。

2.根據權利要求1所述的激光直接成像設備，其特征在于，所述通孔為階梯狀通孔，所述階梯狀通孔的上端開設有嵌入槽，所述遮光片可拆卸地嵌入在所述嵌入槽內。

3.根據權利要求1所述的激光直接成像設備，其特征在于，所述激光裝置設置有凸緣結構，所述凸緣結構上設置有螺孔，在所述螺孔內所述激光裝置通過螺釘鎖合固定在所述工作臺上。

4.根據權利要求1所述的激光直接成像設備，其特征在于，所述激光裝置包括：紫外光光源和光學透鏡，所述光學透鏡設置在所述紫外光光源與所述遮光片之間。

5.根據權利要求1所述的激光直接成像設備，其特征在于，所述透光孔的橫截面面積小于所述通孔橫截面的面積。

6.根據權利要求1所述的激光直接成像設備，其特征在于，所述曝光件放置于所述工作臺上，所述曝光件為PCB板，所述PCB板的兩個表面均設置有干膜。

7.根據權利要求1所述的激光直接成像設備，其特征在于，還包括：

第一控制器，與所述圖像采集裝置和所述計算機設備分別連接，用于控制所述圖像采集裝置的圖像采集位置；

第二控制器，與所述工作臺和所述計算機設備分別連接，用于控制所述工作臺移動；

其中，所述計算機設備還用于分別控制所述第一控制器和第二控制器，使得圖像采集裝置對準所述工作臺上的曝光件上的對準標記。