[發(fā)明專利]一種避免二次芯片蝕刻的蝕刻機(jī)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010439791.3
• 申請(qǐng)日: 2020-05-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111564395A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-08-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李偉明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣州冰鈁商貿(mào)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種避免二次芯片蝕刻的蝕刻機(jī)，其結(jié)構(gòu)包括底座(1)、控制板(2)、蝕刻箱(3)、防護(hù)布(4)、柜門(mén)(5)、觀察窗(6)，所述觀察窗(6)嵌固連接在柜門(mén)(5)正前方，所述柜門(mén)(5)活動(dòng)卡合在蝕刻箱(3)前方，所述控制板(2)螺栓連接在底座(1)前上方位置，所述防護(hù)布(4)鉚合連接在蝕刻箱(3)外部，其特征在于：所述蝕刻箱(3)嵌固連接在底座(1)頂端；

所述蝕刻箱(3)主要包括調(diào)節(jié)裝置(a1)、固定塊(a2)、導(dǎo)桿(a3)、滑塊(a4)、導(dǎo)管(a5)，所述調(diào)節(jié)裝置(a1)嵌固連接在蝕刻箱(3)內(nèi)部最下方，所述導(dǎo)桿(a3)螺栓連接在蝕刻箱(3)內(nèi)部中段處，所述滑塊(a4)間隙配合安裝在導(dǎo)桿(a3)外部，所述固定塊(a2)鉚合連接調(diào)節(jié)裝置(a1)上方，所述導(dǎo)管(a5)電連接在導(dǎo)桿(a3)后方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種避免二次芯片蝕刻的蝕刻機(jī)，其特征在于：所述調(diào)節(jié)裝置(a1)主要包括底板(a11)、結(jié)合板(a12)、接觸片(a13)，所述接觸片(a13)活動(dòng)卡合在結(jié)合板(a12)上方，所述底板(a11)嵌固連接在結(jié)合板(a12)底部位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種避免二次芯片蝕刻的蝕刻機(jī)，其特征在于：所述結(jié)合板(a12)主要包括驅(qū)動(dòng)器(b 1)、緩沖機(jī)構(gòu)(b2)、連接板(b3)、銜接塊(b4)，所述驅(qū)動(dòng)器(b 1)嵌套連接在底板(a11)兩側(cè)，所述緩沖機(jī)構(gòu)(b2)配合連接板(b3)過(guò)盈連接在驅(qū)動(dòng)器(b 1)上方，所述銜接塊(b4)嵌固連接在驅(qū)動(dòng)器(b 1)側(cè)上方，所述驅(qū)動(dòng)器(b 1)上方鉚合連接有接觸片(a13)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種避免二次芯片蝕刻的蝕刻機(jī)，其特征在于：所述緩沖機(jī)構(gòu)(b2)主要包括套體(b21)、撥動(dòng)器(b22)、刺柱(b23)、輔助塊(b24)、聯(lián)合片(b25)、彈條(b26)、滑桿(b27)、支撐桿(b28)，所述套體(b21)內(nèi)部設(shè)有撥動(dòng)器(b22)，所述刺柱(b23)嵌固連接在聯(lián)合片(b25)下方，所述輔助塊(b24)通過(guò)彈條(b26)與支撐桿(b28)相連接，所述滑桿(b27)活動(dòng)卡合在輔助塊(b24)兩側(cè)，所述滑桿(b27)間隙配合安裝在套體(b21)內(nèi)壁。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種避免二次芯片蝕刻的蝕刻機(jī)，其特征在于：所述撥動(dòng)器(b22)主要包括固定板(b221)、半球(b222)、角塊(b223)，所述角塊(b223)配合半球(b222)與套體(b21)相連接，所述半球(b222)嵌套連接在固定板(b221)內(nèi)部，所述固定板(b221)貼合與套體(b21)側(cè)方。