[發明專利]一種槽式清洗設備的密封蓋及槽式清洗設備

有效

• 申請號: 202010436620.5
• 申請日: 2020-05-21
• 公開（公告）號: CN111589781B
• 公開（公告）日: 2022-04-22
• 發明（設計）人: 劉東旭;王銳廷
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: B08B3/04
• 分類號: B08B3/04;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 施敬勃

1.一種槽式清洗設備的密封蓋，用于密封槽式清洗設備的清洗槽，其特征在于，所述密封蓋包括密封蓋本體(100)、密封膜(200)和支撐件(300)；

所述支撐件(300)設置于所述密封蓋本體(100)上，且所述支撐件(300)凸起于所述密封蓋本體(100)背離所述清洗槽的一側，所述密封膜(200)覆蓋所述密封蓋本體(100)背離所述清洗槽的一側，且所述支撐件(300)支撐所述密封膜(200)，以使所述密封膜(200)形成導流斜面，所述導流斜面位于所述密封膜(200)的背離所述密封蓋本體(100)的一側；

所述密封膜(200)包括本體部(210)和包邊(220)，所述包邊(220)與所述本體部(210)相連，所述包邊(220)覆蓋所述密封蓋本體(100)的至少部分側邊；

在垂直所述清洗槽的槽口的方向上，所述密封蓋本體(100)在第一平面上的投影為第一投影，所述密封膜(200)在所述第一平面上的投影為第二投影，所述第一投影位于所述第二投影之內，其中，所述第一平面與所述清洗槽的槽口相平行。

2.根據權利要求1所述的密封蓋，其特征在于，所述支撐件(300)為板狀支撐件，所述密封蓋本體(100)為矩形件，且所述矩形件具有第一側邊(110)，所述支撐件(300)的長度方向與所述第一側邊(110)平行。

3.根據權利要求2所述的密封蓋，其特征在于，所述密封蓋本體(100)還具有第二側邊(120)，所述第二側邊(120)與所述第一側邊(110)平行，且所述支撐件(300)與所述第一側邊(110)之間的距離等于所述支撐件(300)與所述第二側邊(120)之間的距離。

4.根據權利要求1所述的密封蓋，其特征在于，所述密封蓋還包括加強筋(400)，所述加強筋(400)設置于所述密封蓋本體(100)背離所述支撐件(300)的一側。

5.根據權利要求1所述的密封蓋，其特征在于，所述密封膜(200)與所述密封蓋本體(100)具有間隙，所述密封蓋還包括密封側板(500)，所述密封側板(500)設置于所述密封蓋本體(100)的至少一個第三側邊，且所述密封側板(500)具有與所述導流斜面適配的連接面(510)，且所述連接面(510)與所述密封膜(200)相連，以使所述密封側板(500)覆蓋所述間隙。

6.根據權利要求1所述的密封蓋，其特征在于，所述密封蓋本體(100)的周緣設有圓角。

7.根據權利要求1所述的密封蓋，其特征在于，所述密封蓋還包括驅動連接部(600)，所述驅動連接部(600)設置于所述密封蓋本體(100)上，所述槽式清洗設備包括驅動機構，所述驅動機構通過所述驅動連接部(600)驅動所述密封蓋覆蓋所述清洗槽或打開所述清洗槽。

8.一種槽式清洗設備，其特征在于，包括清洗槽和權利要求1至7中任一項所述的密封蓋，所述密封蓋可密封所述清洗槽。