[發(fā)明專利]定位裝置和定位方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010434554.8
• 申請日: 2020-05-21
• 公開（公告）號: CN112018023A
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 遠(yuǎn)藤朋也
• 申請（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會社
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/68;H01L21/683
• 代理公司: 北京尚誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;劉芃茜

本發(fā)明提供定位裝置和定位方法。本發(fā)明的一個方式的定位裝置包括：載置基片的載置臺；從下方保持上述載置臺的保持部；使上述載置臺相對于上述保持部升降的升降銷；和對準(zhǔn)器，其從下方支承上述保持部，使上述保持部相對于上述升降銷的相對位置變化，在上述保持部和上述對準(zhǔn)器中形成有上述升降銷能夠貫通的貫通孔。本發(fā)明能夠?qū)⒆鳛闄z查對象的基片定位。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及定位裝置和定位方法。

背景技術(shù)

已知有一種檢查裝置，其能夠在共用的輸送機械臂或者移動臺對配置于檢查室內(nèi)的多個檢查單元中的一者進行基片的輸送的期間，用其它檢查單元進行對其它基片的檢查(例如，參照專利文獻1)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2016-46285號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的技術(shù)問題

本發(fā)明提供能夠?qū)z查對象的基片進行定位的技術(shù)。

用于解決技術(shù)問題的技術(shù)方案

本發(fā)明的一個方式的定位裝置包括：載置基片的載置臺；從下方保持上述載置臺的保持部；使上述載置臺相對于上述保持部升降的升降銷；和對準(zhǔn)器，其從下方支承上述保持部，使上述保持部相對于上述升降銷的相對位置變化，在上述保持部和上述對準(zhǔn)器中形成有上述升降銷能夠貫通的貫通孔。

發(fā)明效果

依照本發(fā)明，能夠?qū)z查對象的基片進行定位。

附圖說明

圖1是表示檢查系統(tǒng)的整體構(gòu)成的一例的圖。

圖2是表示殼體的一例的圖。

圖3是用于說明防錯位機構(gòu)的截面圖。

圖4是用于說明防錯位機構(gòu)的俯視圖。

圖5是將圖3的一部分放大表示的圖。

圖6是表示殼體中的防泄漏機構(gòu)的一例的圖。

圖7是表示殼體中的防泄漏機構(gòu)的另一例的圖。

圖8是用于說明圖7的防泄漏機構(gòu)的動作的一例的圖。

圖9是表示殼體的另一例的圖。

圖10是表示殼體中的定位裝置的動作的一例的圖。

圖11是用于說明第一溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)的圖。

圖12是用于說明第二溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)的圖。

圖13是表示測試器的一例的圖。

圖14是表示過驅(qū)動量調(diào)節(jié)機構(gòu)的一例的圖。

圖15是表示過驅(qū)動量調(diào)節(jié)機構(gòu)的另一例的圖。

圖16是表示維護輔助功能的一例的流程圖。

圖17是用于說明維護輔助功能的一例的圖。

附圖標(biāo)記說明

11 晶片

12 探針卡

12b 探針

13 載置臺

14 保持件

15 盤

215a 對準(zhǔn)器

215p 升降銷。

具體實施方式