[發(fā)明專利]襯底轉(zhuǎn)移裝置及使用該襯底轉(zhuǎn)移裝置的襯底轉(zhuǎn)移方法

在審

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• 申請日: 2020-05-21
• 公開（公告）號: CN112086392A
• 公開（公告）日: 2020-12-15
• 發(fā)明（設計）人: 徐宇徹
• 申請（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/677
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 11204
• 代理人: 王達佐;劉錚

本申請涉及一種用于向襯底施加抽吸并轉(zhuǎn)移襯底的襯底轉(zhuǎn)移裝置以及使用該襯底轉(zhuǎn)移裝置的襯底轉(zhuǎn)移方法。該襯底轉(zhuǎn)移裝置包括抽吸墊、管道和控制器，其中，抽吸墊包括具有聚甲醛(POM)和多個抽吸孔的平坦的抽吸表面，管道用于施加抽吸以通過抽吸墊的抽吸孔吸出空氣，控制器配置成移動抽吸墊并控制空氣的抽吸。

技術領域

本發(fā)明的示例性實施方式總體上涉及襯底轉(zhuǎn)移裝置、以及使用該襯底轉(zhuǎn)移裝置的襯底轉(zhuǎn)移方法，并且更具體地，涉及能夠無損壞地轉(zhuǎn)移襯底的襯底轉(zhuǎn)移裝置、以及使用該襯底轉(zhuǎn)移裝置的襯底轉(zhuǎn)移方法。

背景技術

由于平板顯示裝置與陰極射線管(CRT)顯示裝置相比重量輕并且薄，因而這種顯示裝置被廣泛用作電子設備的顯示設備。這種類型的顯示裝置的典型示例是等離子體顯示裝置、液晶顯示(LCD)裝置和有機發(fā)光顯示(OLED)裝置。

這些類型的顯示裝置包括堆疊在襯底上的結(jié)構(gòu)，并且制造顯示裝置的方法通常包括轉(zhuǎn)移襯底用于各種處理步驟。此時，可以使用襯底轉(zhuǎn)移裝置來轉(zhuǎn)移襯底，并且需要無損壞地轉(zhuǎn)移襯底。

在本背景技術部分中公開的以上信息僅用于理解本發(fā)明構(gòu)思的背景技術，并且因此，其可以包含不構(gòu)成現(xiàn)有技術的信息。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明構(gòu)思的一個或多個示例性實施方式提供了一種能夠無損壞地轉(zhuǎn)移襯底的襯底轉(zhuǎn)移裝置。

本發(fā)明構(gòu)思的一個或多個示例性實施方式還提供了一種使用襯底轉(zhuǎn)移裝置的襯底轉(zhuǎn)移方法。

本發(fā)明構(gòu)思的其它特征將在下面的描述中進行闡述，并且將從該描述部分地顯而易見，或者可以通過本發(fā)明構(gòu)思的實踐而習得。

根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施方式，一種用于對襯底施加抽吸并轉(zhuǎn)移襯底的襯底轉(zhuǎn)移裝置包括：抽吸墊，其包括聚甲醛(POM)并且具有帶有多個抽吸孔的平坦的抽吸表面；管道，其用于施加抽吸以通過抽吸墊的抽吸孔吸出空氣；以及控制器，其配置成移動抽吸墊并且控制空氣的抽吸。

在示例性實施方式中，抽吸墊可以具有約10⁶至10⁹歐姆/平方的表面電阻。

在示例性實施方式中，抽吸墊可以不包括除聚甲醛(POM)中的碳成分之外的碳成分。

在示例性實施方式中，抽吸墊可以比襯底大。

在示例性實施方式中，抽吸墊可以具有包括多個抽吸孔的第一抽吸孔組以及與第一抽吸孔組間隔開并且在抽吸表面上具有多個抽吸孔的第二抽吸孔組，以同時向至少兩個襯底施加抽吸。

在示例性實施方式中，襯底的上表面可以附接在抽吸墊下方。

在示例性實施方式中，襯底的下表面可以附接在抽吸墊上。

在示例性實施方式中，抽吸表面可以具有圓形形狀。

在示例性實施方式中，抽吸孔可以沿著第一方向和與第一方向垂直的第二方向布置在抽吸表面上。

在示例性實施方式中，控制器可以在第一方向、與第一方向垂直的第二方向以及與第一方向和第二方向垂直的第三方向上移動抽吸墊。

在示例性實施方式中，襯底可以是柔性襯底。

根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思的示例性實施方式，一種襯底轉(zhuǎn)移方法包括接近步驟、抽吸步驟和轉(zhuǎn)移步驟，其中：在接近步驟中，將襯底轉(zhuǎn)移裝置的抽吸墊的抽吸表面定位在距襯底2mm以內(nèi)；在抽吸步驟中，在抽吸表面與襯底彼此間隔開的狀態(tài)下，通過經(jīng)由形成在抽吸表面中的多個抽吸孔來吸出抽吸表面與襯底之間的空氣，而將襯底附接在抽吸表面上；在轉(zhuǎn)移步驟中，移動抽吸墊。

在示例性實施方式中，抽吸墊可以包括聚甲醛(POM)，并且抽吸墊的抽吸表面是平坦的。