[發(fā)明專利]存儲(chǔ)器制作方法及存儲(chǔ)器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010434153.2
• 申請(qǐng)日: 2020-05-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111584496B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-04-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚蘭
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L27/11568
• 分類號(hào): H01L27/11568;H01L27/11582
• 代理公司: 北京派特恩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11270
• 代理人: 李洋;張穎玲

1.一種存儲(chǔ)器制作方法，其特征在于，包括：

形成貫穿第一堆疊結(jié)構(gòu)的第一通孔和第二通孔；其中，所述第一堆疊結(jié)構(gòu)包括并列設(shè)置的核心區(qū)和臺(tái)階區(qū)，所述第一通孔貫穿所述核心區(qū)，所述第二通孔貫穿所述臺(tái)階區(qū)，所述第一通孔的頂部開(kāi)口口徑小于所述第二通孔的頂部開(kāi)口口徑；

在所述第一通孔及所述第二通孔中沉積第一材料，以在所述第一通孔中形成犧牲柱；

利用預(yù)設(shè)反應(yīng)物與所述第二通孔中第一材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，以在所述第二通孔中形成絕緣的支撐柱；

在包括所述犧牲柱和所述支撐柱的所述第一堆疊結(jié)構(gòu)表面形成第二堆疊結(jié)構(gòu)；

形成貫穿所述第二堆疊結(jié)構(gòu)的第三通孔，直至顯露所述犧牲柱；并形成貫穿所述第二堆疊結(jié)構(gòu)的第四通孔，直至顯露所述支撐柱；

利用刻蝕劑去除通過(guò)所述第三通孔顯露的所述犧牲柱；其中，所述刻蝕劑與所述支撐柱之間的化學(xué)反應(yīng)為惰性反應(yīng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：

在形成所述犧牲柱后，去除覆蓋所述第二通孔的部分第一材料，以在所述第二通孔中的第一材料中形成凹槽；其中，所述凹槽用于增加所述預(yù)設(shè)反應(yīng)物與所述第二通孔中第一材料的接觸面積。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：

在所述第一通孔中及所述第二通孔中沉積所述第一材料的同時(shí)，在所述第一堆疊結(jié)構(gòu)表面沉積所述第一材料；

在所述第二通孔中形成所述支撐柱的同時(shí)，利用所述預(yù)設(shè)反應(yīng)物與所述第一堆疊結(jié)構(gòu)表面的第一材料發(fā)生所述化學(xué)反應(yīng)，以在所述第一堆疊結(jié)構(gòu)表面形成阻擋層；

其中，所述阻擋層的組成材料與所述支撐柱的組成材料相同，覆蓋所述犧牲柱的所述阻擋層用于阻擋所述預(yù)設(shè)反應(yīng)物與所述犧牲柱發(fā)生所述化學(xué)反應(yīng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：

在形成所述支撐柱后，去除所述阻擋層，直至顯露所述犧牲柱。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：

在去除所述犧牲柱后，基于所述第一通孔的形貌形成第一溝道柱，基于所述第三通孔的形貌形成第二溝道柱，基于所述第四通孔的形貌形成第三溝道柱。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，

所述犧牲柱的組成材料包括：硅；

所述支撐柱的組成材料包括：氧化硅；

所述刻蝕劑包括：四甲基氫氧化氨TMAH。

7.一種存儲(chǔ)器，其特征在于，包括：

堆疊設(shè)置的第一柵疊層結(jié)構(gòu)和第二柵疊層結(jié)構(gòu)；所述第一柵疊層結(jié)構(gòu)包括：并列設(shè)置的核心區(qū)和臺(tái)階區(qū)；

絕緣的支撐柱，貫穿所述第一柵疊層結(jié)構(gòu)的臺(tái)階區(qū)；

溝道結(jié)構(gòu)，包括：

第一溝道柱，貫穿所述第一柵疊層結(jié)構(gòu)的核心區(qū)，位于去除了犧牲柱后形成的通孔中；其中，去除所述犧牲柱的刻蝕劑與所述支撐柱之間的化學(xué)反應(yīng)為惰性反應(yīng)；

第二溝道柱，貫穿所述第二柵疊層結(jié)構(gòu)，并與所述第一溝道柱連接；

第三溝道柱，貫穿所述第二柵疊層結(jié)構(gòu)，并與所述支撐柱連接；其中，所述支撐柱的組成結(jié)構(gòu)與所述溝道結(jié)構(gòu)的組成結(jié)構(gòu)不同。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的存儲(chǔ)器，其特征在于，

所述第一溝道柱的頂部尺寸，小于所述支撐柱的頂部尺寸。