[發明專利]光敏傳感器及其制備方法、電子設備

有效

• 申請號: 202010431731.7
• 申請日: 2020-05-20
• 公開（公告）號: CN111564506B
• 公開（公告）日: 2022-04-15
• 發明（設計）人: 李士佩;張立震;徐勝;何偉;吳慧利;趙雪飛;賀芳;周毅;趙影;黎午升;姚琪
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L31/0216
• 分類號: H01L31/0216;H01L23/552;H01L27/144;H01L21/82;H01L27/32
• 代理公司: 北京安信方達知識產權代理有限公司 11262
• 代理人: 蔣冬梅;曲鵬

一種光敏傳感器，包括：基底，基底具有傳感區域，傳感區域內設置有規則排布的多個傳感單元，傳感單元遠離基底的一側設置有屏蔽層，屏蔽層覆蓋傳感區域，屏蔽層的材料為透明導電材料，屏蔽層連接恒壓信號端。本公開還提供光敏傳感器的制備方法及電子設備。

技術領域

本文涉及但不限于顯示技術領域，尤指一種光敏傳感器及其制備方法、電子設備。

背景技術

隨著科技的發展，光敏傳感器具有輕便化、廣泛應用的發展趨勢。目前的光敏傳感器可以將薄膜晶體管與光敏元件結合實現。隨著全面屏的發展趨勢，利用光學傳感器的屏下指紋識別技術備受關注。

發明內容

本公開提供了一種光敏傳感器及其制備方法、電子設備。

一方面，本公開提供一種基底，所述基底具有傳感區域，所述傳感區域內設置有規則排布的多個傳感單元，所述傳感單元遠離所述基底的一側設置有屏蔽層，所述屏蔽層覆蓋所述傳感區域，所述屏蔽層的材料為透明導電材料，所述屏蔽層連接恒壓信號端。

另一方面，本公開提供一種光敏傳感器的制備方法，包括：在基底的傳感區域內形成規則排布的多個傳感單元；在所述傳感單元遠離所述基底的一側形成覆蓋所述傳感區域的屏蔽層，所述屏蔽層的材料為透明導電材料，所述屏蔽層連接恒壓信號端。

另一方面，本公開提供一種電子設備，包括如上所述的光敏傳感器。

本公開提供的光敏傳感器通過設置覆蓋傳感區域的屏蔽層，可以有效屏蔽外界帶來的電磁干擾，從而降低光敏傳感器的噪聲，提高光敏傳感器的性噪比。

本公開的其它特征和優點將在隨后的說明書中闡述，并且，部分地從說明書中變得顯而易見，或者通過實施本公開而了解。本公開的其他優點可通過在說明書以及附圖中所描述的方案來實現和獲得。

附圖說明

附圖用來提供對本公開技術方案的理解，并且構成說明書的一部分，與本公開的實施例一起用于解釋本公開的技術方案，并不構成對本公開技術方案的限制。

圖1為本公開至少一實施例的光敏傳感器的結構示意圖；

圖2為本公開至少一實施例的光敏傳感器的平面示意圖；

圖3為圖2中A-A’方向的剖面示意圖；

圖4為本公開至少一實施例形成薄膜晶體管的柵電極圖案后的示意圖；

圖5為圖4中A-A方向的剖面示意圖；

圖6為本公開至少一實施例形成薄膜晶體管的有源層圖案后的示意圖；

圖7為圖6中A-A方向的剖面示意圖；

圖8為本公開至少一實施例形成薄膜晶體管的源電極和漏電極圖案后的示意圖；

圖9為圖8中A-A’方向的剖面示意圖；

圖10為本公開至少一實施例形成光敏元件的第二電極圖案后的示意圖；

圖11為圖10中A-A’方向的剖面示意圖；

圖12為本公開至少一實施例形成光敏元件的第三電極圖案后的示意圖；

圖13為圖12中A-A’方向的剖面示意圖；

圖14本公開至少一實施例的光敏傳感器的制備方法的流程示意圖。

具體實施方式