[發(fā)明專利]一種光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)和光學(xué)檢測(cè)方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010430050.9
• 申請(qǐng)日: 2020-05-20
• 公開（公告）號(hào): CN113702397A
• 公開（公告）日: 2021-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳魯;黃有為;張龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳中科飛測(cè)科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/95
• 分類號(hào): G01N21/95;G01N21/01;G01B11/00
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 姚璐華

1.一種光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，包括：

照明組件，所述照明組件被配置為向待測(cè)對(duì)象發(fā)射檢測(cè)光束，所述檢測(cè)光束經(jīng)所述待測(cè)對(duì)象表面散射或/和反射形成信號(hào)光；

檢測(cè)組件，用于收集所述信號(hào)光，并形成第一信號(hào)光和第二信號(hào)光；所述檢測(cè)組件包括多個(gè)檢測(cè)裝置，多個(gè)所述檢測(cè)裝置包括第一檢測(cè)裝置和第二檢測(cè)裝置；

所述第一檢測(cè)裝置用于接收所述第一信號(hào)光，并根據(jù)所述第一信號(hào)光獲得第一檢測(cè)信息；

所述第二檢測(cè)裝置用于接收所述第二信號(hào)光，并根據(jù)所述第二信號(hào)光獲得第二檢測(cè)信息；

處理系統(tǒng)，用于根據(jù)所述第一檢測(cè)信息和所述第二檢測(cè)信息獲取待測(cè)對(duì)象表面待檢出目標(biāo)的尺寸；

其中，形成所述第一信號(hào)光的信號(hào)光傳播方向與形成所述第二信號(hào)光的信號(hào)光傳播方向關(guān)于所述檢測(cè)光束的入射面對(duì)稱；或者，

所述檢測(cè)組件還包括分光組件，所述分光組件將所述信號(hào)光分成所述第一信號(hào)光和所述第二信號(hào)光。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述第一檢測(cè)裝置具有第一范圍的光強(qiáng)量程，所述第一范圍為所述檢測(cè)組件收集的所述信號(hào)光的光強(qiáng)范圍，所述第二檢測(cè)裝置具有第二范圍的光強(qiáng)量程，所述第二范圍為所述檢測(cè)組件收集的所述信號(hào)光的光強(qiáng)范圍，所述第一范圍與所述第二范圍的并集大于所述第一范圍且大于所述第二范圍。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，

所述第一檢測(cè)裝置包括第一探測(cè)器，所述第一探測(cè)器用于探測(cè)所述第一信號(hào)光；

所述第二檢測(cè)裝置包括第二探測(cè)器，所述第二探測(cè)器用于探測(cè)所述第二信號(hào)光；

所述第一探測(cè)器具有第一探測(cè)范圍的光強(qiáng)量程，所述第一探測(cè)范圍為到達(dá)所述第一探測(cè)器探測(cè)的第一信號(hào)光的光強(qiáng)范圍；所述第二探測(cè)器具有第二探測(cè)范圍的光強(qiáng)量程，所述第二探測(cè)范圍為到達(dá)所述第二探測(cè)器探測(cè)的第二信號(hào)光的光強(qiáng)范圍。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，形成所述第一信號(hào)光的信號(hào)光傳播方向與形成所述第二信號(hào)光的信號(hào)光傳播方向關(guān)于所述檢測(cè)光束的入射面對(duì)稱；或者，所述檢測(cè)組件還包括分光組件，且所述分光組件使所述第一信號(hào)光和第二信號(hào)光光強(qiáng)相同；

所述第一探測(cè)范圍和第二探測(cè)范圍的并集大于所述第一探測(cè)范圍，且所述第一探測(cè)范圍和第二探測(cè)范圍的并集大于所述第二探測(cè)范圍。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述第一探測(cè)范圍和第二探測(cè)范圍的并集等于所述第一探測(cè)范圍，或所述第一探測(cè)范圍和第二探測(cè)范圍的并集等于所述第二探測(cè)范圍；

到達(dá)所述第一探測(cè)器的第一信號(hào)光和到達(dá)所述第二探測(cè)器的第二信號(hào)光光強(qiáng)不相同。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，

所述第一檢測(cè)裝置和所述第二檢測(cè)裝置中的至少一個(gè)所述檢測(cè)裝置還包括濾光組件，所述探測(cè)器接收透過所述濾光組件的光束。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述濾光組件設(shè)置在所述信號(hào)光收集組件和所述探測(cè)器之間；

或者，所述濾光組件設(shè)置在所述分光組件和所述探測(cè)器之間。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7任一所述的光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述濾光組件包括多個(gè)透光區(qū)，不同的透光區(qū)的光透過率不同，以通過將不同的所述透光區(qū)移動(dòng)到光路上，使得所述信號(hào)光透過所述濾光組件后具有不同的光強(qiáng)度。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述透光區(qū)包括第一透光區(qū)和/或第二透光區(qū)和/或第三透光區(qū)；

所述第一透光區(qū)內(nèi)具有衰減片，不同的所述第一透光區(qū)內(nèi)的衰減片的光透過率不同；

所述第二透光區(qū)為鏤空的區(qū)域，或，所述第二透光區(qū)內(nèi)具有透明片；

所述第三透光區(qū)內(nèi)具有第一偏振片。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述衰減片的透過率為0.1％～0.5％。