[發明專利]一種掩膜板及其應用方法、封裝層的制備方法

有效

• 申請號: 202010424943.2
• 申請日: 2020-05-19
• 公開（公告）號: CN111621742B
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: 王衣可;龔建國
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;H01L51/52;H01L51/56
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 刁文魁

本發明涉及掩膜板及其應用方法、封裝層的制備方法，第一區域的掩膜板的重力與外界應力之和小于第二區域的掩膜板的重力，第一區域的掩膜板的重力與外界應力之和大于第三區域的掩膜板的重力，第二區域的掩膜板承受的力最大，第一區域的掩膜板產生較小的形變量，近似無形變，增大第一區域的掩膜板與玻璃基板之間的貼合面積，減小掩膜板邊緣處形變區域的寬度。第二區域、第三區域的掩膜板向上翹曲，第三區域的形變量大于第二區域的形變量，進而減小掩膜板邊緣處形變區域與玻璃基板的距離，由此減小掩膜板邊緣處與玻璃基板之間形成的缺口，減少鍍膜時進入缺口的材料，減小鍍膜時產生陰影的面積，提高鍍膜的膜厚勻一性，提升封裝層的可靠性。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，具體涉及一種掩膜板及其應用方法、封裝層的制備方法。

背景技術

顯示裝置可以把計算機的數據變換成各種文字、數字、符號或直觀的圖像顯示出來，并且可以利用鍵盤等輸入工具把命令或數據輸入計算機，借助系統的硬件和軟件隨時增添、刪改、變換顯示內容。顯示裝置根據所用之顯示器件分為等離子、液晶、發光二極管和陰極射線管等類型。

有機發光顯示裝置(英文全稱：Organic Light-Emitting Diode,簡稱OLED)又稱為有機電激光顯示裝置、有機發光半導體。OLED的工作原理是：當電力供應至適當電壓時，正極空穴與陰極電荷就會在發光層中結合，在庫倫力的作用下以一定幾率復合形成處于激發態的激子(電子-空穴對)，而此激發態在通常的環境中是不穩定的，激發態的激子復合并將能量傳遞給發光材料，使其從基態能級躍遷為激發態，激發態能量通過輻射馳豫過程產生光子，釋放出光能，產生光亮，依其配方不同產生紅、綠和藍RGB三基色，構成基本色彩。

OLED具有電壓需求低、省電效率高、反應快、重量輕、厚度薄，構造簡單，成本低、廣視角、幾乎無窮高的對比度、較低耗電、極高反應速度等優點，已經成為當今最重要的顯示技術之一。

OLED結構中的膜層，對氧氣及水分十分敏感，極其容易失效，所以在OLED結構中采用薄膜封裝技術進行封裝，用以阻隔水氧，從而避免器件損傷。薄膜封裝技術中常掩膜板制備膜層。

如圖1所示，由于現有掩膜板100的厚度一致，整個掩膜板上的重力相同，在中心處的應力作用下，掩膜板的兩端會產生翹曲，形成近似于V型的形變，由此會導致掩膜板100與其下的玻璃基板200在鍍膜有效區101的邊緣處的間距較大，掩膜板邊緣處與玻璃基板之間形成缺口，在鍍膜時會有材料進入缺口，導致鍍膜時產生陰影現象，造成膜厚不均勻，影響封裝層的封裝性能。因此，需要尋求一種新型的掩膜板以解決上述問題。

發明內容

本發明的目的是提供一種掩膜板、封裝層的制備方法、顯示裝置，其能夠解決現有的掩膜板鍍膜中存在掩膜板產生翹曲形變，導致掩膜板與玻璃基板在鍍膜有效區邊緣處的間距過大，導致鍍膜產生陰影現象、膜厚不均勻、影響封裝性能等問題。

為了解決上述問題，本發明提供了一種掩膜板，其包括：第一區域；第二區域，環繞所述第一區域；以及第三區域，環繞所述第二區域；其中，所述第二區域的厚度大于所述第一區域的厚度；所述第一區域的厚度大于所述第三區域的厚度。

進一步的，其中所述第一區域的厚度與所述第二區域的厚度的比值為0.5-0.7。

進一步的，其中所述第三區域的厚度與所述第二區域的厚度的比值為0.3-0.4。

進一步的，其中所述第二區域為環形。

為了解決上述問題，本發明提供了一種掩膜板的應用方法，其包括如下步驟：在一襯底上設置本發明所涉及的掩膜板，在所述襯底及所述掩模板上方沉積無機層；移除所述掩模板。

進一步的，其中所述襯底包括玻璃基板或有機層。