[發明專利]許可證認證裝置和許可證認證方法

在審

• 申請號: 202010424567.7
• 申請日: 2020-05-19
• 公開（公告）號: CN112016054A
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發明（設計）人: 笠井隆人;康榮太
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G06F21/10
• 分類號: G06F21/10;H01L21/67
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;徐飛躍

本發明提供許可證認證裝置和許可證認證方法。本發明的一方式的許可證認證裝置進行應用程序的許可證期限的認證，其中，上述應用程序是用于調整半導體工廠內的半導體制造裝置的參數的應用程序，上述許可證認證裝置包括：許可證信息保存部，其保存包含上述許可證期限的許可證文件；日志數據獲取部，其獲取上述半導體制造裝置執行了處理時的日志數據；和許可證期限判斷部，其判斷上述日志數據獲取部所獲取的上述日志數據中包含的時刻是否超過了保存于上述許可證信息保存部中的上述許可證期限。本發明能夠更穩固地進行使用期限的認證。

技術領域

本發明涉及許可證認證裝置和許可證認證方法。

背景技術

已知有能夠適當地防止在基片處理裝置中運行的軟件的不正當使用的基片處理裝置(例如，參照專利文獻1、2)。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2007-193579號公報。

專利文獻2：日本特開2003-076435號公報。

發明內容

本發明提供能夠更穩固地進行使用期限的認證的技術。

本發明的一方式的許可證認證裝置進行應用程序的許可證期限的認證，其中，上述應用程序是用于調整半導體工廠內的半導體制造裝置的參數的應用程序，上述許可證認證裝置包括：許可證信息保存部，其保存包含上述許可證期限的許可證文件；日志數據獲取部，其獲取上述半導體制造裝置執行了處理時的日志數據；和許可證期限判斷部，其判斷上述日志數據獲取部所獲取的上述日志數據中包含的時刻是否超過了保存于上述許可證信息保存部中的上述許可證期限。本發明能夠更穩固地進行使用期限的認證。

依照本發明，能夠更穩固地進行使用期限的認證。

附圖說明

圖1是表示包含半導體制造裝置的系統的整體結構的一例的圖。

圖2是表示群管理控制器的硬件結構的一例的圖。

圖3是表示數據處理裝置的硬件結構的一例的圖。

圖4是表示數據處理裝置的動作的一例的步驟順序圖。

附圖標記說明

1 系統

10、20、30 半導體制造裝置

40 群管理控制器

50 數據處理裝置

51 日志數據獲取部

52 時刻獲取部

53 最優化處理部

54 許可證期限判斷部

55 允許啟動部

56 許可證信息保存部

60 終端

具體實施方式

以下，參照所附的附圖，對本發明的非限定性的例示的實施方式進行說明。在所附的所有附圖中，對相同或者相應的部件或零件標注相同或相應的附圖標記，并省略重復的說明。

[包含半導體制造裝置的系統的整體結構]

參照圖1，對包含半導體制造裝置的系統的整體結構進行說明。圖1是表示包含半導體制造裝置的系統的整體結構的一例的圖。