[發(fā)明專利]許可證認(rèn)證裝置和許可證認(rèn)證方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010424567.7
• 申請(qǐng)日: 2020-05-19
• 公開（公告）號(hào): CN112016054A
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 笠井隆人;康榮太
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G06F21/10
• 分類號(hào): G06F21/10;H01L21/67
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;徐飛躍

1.一種進(jìn)行應(yīng)用程序的許可證期限的認(rèn)證的許可證認(rèn)證裝置，其中，所述應(yīng)用程序是用于調(diào)整半導(dǎo)體工廠內(nèi)的半導(dǎo)體制造裝置的參數(shù)的應(yīng)用程序，所述許可證認(rèn)證裝置的特征在于，包括：

許可證信息保存部，其保存包含所述許可證期限的許可證文件；

日志數(shù)據(jù)獲取部，其獲取所述半導(dǎo)體制造裝置執(zhí)行了處理時(shí)的日志數(shù)據(jù)；和

許可證期限判斷部，其判斷所述日志數(shù)據(jù)獲取部所獲取的所述日志數(shù)據(jù)中包含的時(shí)刻是否超過了保存于所述許可證信息保存部中的所述許可證期限。

2.如權(quán)利要求1所述的許可證認(rèn)證裝置，其特征在于：

所述參數(shù)的調(diào)整是基于所述日志數(shù)據(jù)獲取部所獲取的所述日志數(shù)據(jù)來進(jìn)行的。

3.如權(quán)利要求1或2所述的許可證認(rèn)證裝置，其特征在于：

所述日志數(shù)據(jù)中包含的所述時(shí)刻是所述半導(dǎo)體制造裝置開始進(jìn)行處理的時(shí)刻。

4.如權(quán)利要求3所述的許可證認(rèn)證裝置，其特征在于：

還包括獲取關(guān)于時(shí)刻的信息的時(shí)刻獲取部，

所述許可證期限判斷部判斷所述時(shí)刻獲取部所獲取的所述時(shí)刻是否超過了保存于所述許可證信息保存部中的所述許可證期限。

5.如權(quán)利要求4所述的許可證認(rèn)證裝置，其特征在于：

所述時(shí)刻獲取部所獲取的所述關(guān)于時(shí)刻的信息包含與所述半導(dǎo)體工廠的通信線路連接了的設(shè)備的時(shí)刻。

6.如權(quán)利要求5所述的許可證認(rèn)證裝置，其特征在于：

所述設(shè)備是所述半導(dǎo)體制造裝置、保存所述日志數(shù)據(jù)的裝置、能夠與所述半導(dǎo)體制造裝置通信的主機(jī)、用于檢查由所述半導(dǎo)體制造裝置制造的半導(dǎo)體的檢查裝置中的至少一者。

7.如權(quán)利要求4至6中任一項(xiàng)所述的許可證認(rèn)證裝置，其特征在于：

所述關(guān)于時(shí)刻的信息包含安裝有所述應(yīng)用程序的計(jì)算機(jī)的時(shí)刻。

8.如權(quán)利要求7所述的許可證認(rèn)證裝置，其特征在于：

所述計(jì)算機(jī)的時(shí)刻是所述計(jì)算機(jī)的當(dāng)前的時(shí)刻。

9.如權(quán)利要求7所述的許可證認(rèn)證裝置，其特征在于：

所述計(jì)算機(jī)的時(shí)刻是所述計(jì)算機(jī)開始執(zhí)行所述應(yīng)用程序時(shí)的時(shí)刻。

10.一種進(jìn)行應(yīng)用程序的許可證期限的認(rèn)證的許可證認(rèn)證方法，其中，所述應(yīng)用程序是用于調(diào)整半導(dǎo)體工廠內(nèi)的半導(dǎo)體制造裝置的參數(shù)的應(yīng)用程序，所述許可證認(rèn)證方法的特征在于：

判斷所述半導(dǎo)體制造裝置執(zhí)行了處理時(shí)的日志數(shù)據(jù)中包含的時(shí)刻是否超過了所述應(yīng)用程序的許可證文件中包含的許可證期限。