[發明專利]許可證認證裝置和許可證認證方法

在審

• 申請號: 202010424567.7
• 申請日: 2020-05-19
• 公開（公告）號: CN112016054A
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發明（設計）人: 笠井隆人;康榮太
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G06F21/10
• 分類號: G06F21/10;H01L21/67
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;徐飛躍

1.一種進行應用程序的許可證期限的認證的許可證認證裝置，其中，所述應用程序是用于調整半導體工廠內的半導體制造裝置的參數的應用程序，所述許可證認證裝置的特征在于，包括：

許可證信息保存部，其保存包含所述許可證期限的許可證文件；

日志數據獲取部，其獲取所述半導體制造裝置執行了處理時的日志數據；和

許可證期限判斷部，其判斷所述日志數據獲取部所獲取的所述日志數據中包含的時刻是否超過了保存于所述許可證信息保存部中的所述許可證期限。

2.如權利要求1所述的許可證認證裝置，其特征在于：

所述參數的調整是基于所述日志數據獲取部所獲取的所述日志數據來進行的。

3.如權利要求1或2所述的許可證認證裝置，其特征在于：

所述日志數據中包含的所述時刻是所述半導體制造裝置開始進行處理的時刻。

4.如權利要求3所述的許可證認證裝置，其特征在于：

還包括獲取關于時刻的信息的時刻獲取部，

所述許可證期限判斷部判斷所述時刻獲取部所獲取的所述時刻是否超過了保存于所述許可證信息保存部中的所述許可證期限。

5.如權利要求4所述的許可證認證裝置，其特征在于：

所述時刻獲取部所獲取的所述關于時刻的信息包含與所述半導體工廠的通信線路連接了的設備的時刻。

6.如權利要求5所述的許可證認證裝置，其特征在于：

所述設備是所述半導體制造裝置、保存所述日志數據的裝置、能夠與所述半導體制造裝置通信的主機、用于檢查由所述半導體制造裝置制造的半導體的檢查裝置中的至少一者。

7.如權利要求4至6中任一項所述的許可證認證裝置，其特征在于：

所述關于時刻的信息包含安裝有所述應用程序的計算機的時刻。

8.如權利要求7所述的許可證認證裝置，其特征在于：

所述計算機的時刻是所述計算機的當前的時刻。

9.如權利要求7所述的許可證認證裝置，其特征在于：

所述計算機的時刻是所述計算機開始執行所述應用程序時的時刻。

10.一種進行應用程序的許可證期限的認證的許可證認證方法，其中，所述應用程序是用于調整半導體工廠內的半導體制造裝置的參數的應用程序，所述許可證認證方法的特征在于：

判斷所述半導體制造裝置執行了處理時的日志數據中包含的時刻是否超過了所述應用程序的許可證文件中包含的許可證期限。