[發明專利]一種基于兩次重疊曝光提高線寬一致性的方法

有效

• 申請號: 202010419928.9
• 申請日: 2020-05-18
• 公開（公告）號: CN111562724B
• 公開（公告）日: 2022-08-23
• 發明（設計）人: 肖燕青;吳長江;陳海巍
• 申請（專利權）人: 無錫影速半導體科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 哈爾濱市陽光惠遠知識產權代理有限公司 23211
• 代理人: 彭素琴

1.一種提高線寬一致性的曝光方法，其特征在于，所述曝光方法包括兩次曝光過程，兩次曝光過程分別根據第一圖形和第二圖形進行曝光；所述第一圖形為對原始圖形進行數字網格化處理后的圖形，所述第二圖形為將原始圖形進行平移后再進行數字網格化處理后的圖形；

所述兩次曝光過程中第二次曝光位置(x2，y2)與第一次曝光位置(x1，y1)的關系為：(x2，y2)＝(x1±0.5網格，y1±0.5網格)；其中網格表示最小分辨率；

所述第二圖形為將原始圖形在X方向和Y方向正向或者負向分別進行平移半個網格后再進行數字網格化處理后的圖形；

若第二次曝光位置(x2，y2)與第一次曝光位置(x1，y1)的關系為(x2，y2)＝(x1-0.5網格，y1-0.5網格)，則第二圖形為將原始圖形在X方向的正向和Y方向的正向分別進行平移半個網格后再進行數字網格化處理后的圖形；

若第二次曝光位置(x2，y2)與第一次曝光位置(x1，y1)的關系為(x2，y2)＝(x1+0.5網格，y1+0.5網格)，則第二圖形為將原始圖形在X方向的負向和Y方向的負向分別進行平移半個網格后再進行數字網格化處理后的圖形；

若第二次曝光位置(x2，y2)與第一次曝光位置(x1，y1)的關系為(x2，y2)＝(x1+0.5網格，y1-0.5網格)，則第二圖形為將原始圖形在X方向的負向和Y方向的正向分別進行平移半個網格后再進行數字網格化處理后的圖形；

若第二次曝光位置(x2，y2)與第一次曝光位置(x1，y1)的關系為(x2，y2)＝(x1-0.5網格，y1+0.5網格)，則第二圖形為將原始圖形在X方向的正向和Y方向的負向分別進行平移半個網格后再進行數字網格化處理后的圖形；

所述數字網格化處理指對原始圖形對應的數字化圖形進行四舍五入的網格化處理。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法包括：

對原始圖形進行數字網格化處理得到第一圖形，根據第一圖形在第一次曝光位置(x1，y1)進行曝光；

根據圖形變換參數對原始圖形進行平移后再進行數字網格化處理得到第二圖形，根據第二圖形在第二曝光位置(x2，y2)進行曝光，所述圖形變換參數表示X方向和/或Y方向的平移參數。

3.一種激光直寫曝光機，其特征在于，所述激光直寫曝光機采用權利要求1或2所述的曝光方法進行曝光。

4.根據權利要求3所述的激光直寫曝光機，其特征在于，所述激光直寫曝光機在曝光時選擇重疊曝光模式，重疊曝光模式下兩次曝光過程分別根據第一圖形和第二圖形進行曝光；所述第一圖形為對原始圖形進行數字網格化處理后的圖形，所述第二圖形為將原始圖形進行平移后再進行數字網格化處理后的圖形。

5.根據權利要求4所述的激光直寫曝光機，其特征在于，所述激光直寫曝光機的曝光步驟如下：

步驟1：設置曝光軟件進入重疊曝光模式；

步驟2：曝光軟件使用合適的工藝條件，在第一曝光位置(x1,y1)，對第一圖形進行第一次的曝光；

步驟3：曝光軟件將X方向和Y方向的平移參數發送給分圖軟件，分圖軟件依據此參數根據圖形變換參數將原始圖形進行平移后再進行數字網格化處理后得到第二圖形；

步驟4：曝光軟件確認分圖軟件得到第二圖形后，控制工作臺移動到第二曝光位置(x2，y2)對第二圖形進行第二次的曝光；

步驟5：曝光軟件使用第二圖形，在第二曝光位置(x2，y2)進行第二次的曝光。