[發(fā)明專利]一種基于兩次重疊曝光提高線寬一致性的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010419928.9
• 申請(qǐng)日: 2020-05-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111562724B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-08-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 肖燕青;吳長(zhǎng)江;陳海巍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無(wú)錫影速半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 哈爾濱市陽(yáng)光惠遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 23211
• 代理人: 彭素琴

本發(fā)明公開(kāi)了一種基于兩次重疊曝光提高線寬一致性的方法，屬于激光直寫(xiě)曝光技術(shù)領(lǐng)域。所述方法通過(guò)對(duì)圖形進(jìn)行兩次不同位置的曝光，兩次曝光過(guò)程分別對(duì)應(yīng)第一圖形和第二圖形，第一圖形為原始圖形對(duì)應(yīng)的數(shù)字化圖形經(jīng)過(guò)四舍五入的網(wǎng)格化處理后得到的圖形，第二圖形為原始圖形對(duì)應(yīng)的數(shù)字化圖形根據(jù)圖形變換參數(shù)平移后再經(jīng)過(guò)四舍五入的網(wǎng)格化處理后得到的圖形；結(jié)合適當(dāng)?shù)墓に嚄l件，經(jīng)行兩次曝光疊加，本申請(qǐng)?zhí)岢龅姆椒軌驅(qū)⒕€寬差距從一個(gè)網(wǎng)格減到半個(gè)網(wǎng)格，在不改變?nèi)魏斡布臈l件下，減少線寬差異，提高線寬一致性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種基于兩次重疊曝光提高線寬一致性的方法，屬于激光直寫(xiě)曝光技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

激光直寫(xiě)曝光設(shè)備是一種將用戶圖形進(jìn)行數(shù)字化圖形處理后，放到圖形發(fā)生器上并配合以工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)及光學(xué)成像對(duì)圖形進(jìn)行曝光的設(shè)備。由于在曝光時(shí)需對(duì)曝光圖形進(jìn)行數(shù)字化圖形處理，而在數(shù)字化圖形處理過(guò)程中涉及數(shù)據(jù)處理時(shí)會(huì)對(duì)圖形點(diǎn)坐標(biāo)位置進(jìn)行四舍五入取整處理，這就造成了原圖中相同線寬的線在圖形不同位置進(jìn)行數(shù)字化處理后可能會(huì)相差一個(gè)最小分辨(網(wǎng)格精度)，進(jìn)而導(dǎo)致相同線寬的線在曝光后就會(huì)出現(xiàn)有的線粗有的線細(xì)(比如圖 3所示，原圖中線寬相同的三組線在經(jīng)過(guò)網(wǎng)格化后，每組線中的兩條線因?yàn)樘幱诓煌恢茫猿霈F(xiàn)線寬相差一個(gè)網(wǎng)格的情況)，兩者會(huì)相差一個(gè)最小分辨率(網(wǎng)格精度)，這種線寬不一致的情況會(huì)影響曝光質(zhì)量，嚴(yán)重時(shí)還會(huì)產(chǎn)生報(bào)廢。特別是做精細(xì)線路線寬一致要求較高時(shí)，此問(wèn)題更為明顯，且難以被客戶所接受。

而目前解決此問(wèn)題的方法通常是使用更小的分辨率(網(wǎng)格精度)對(duì)圖像進(jìn)行處理。例如，假設(shè)某設(shè)備網(wǎng)格精度是3um，在數(shù)字圖像處理后，線寬差異為3um，如果想要減少線寬差異，會(huì)將設(shè)備網(wǎng)格精度變成1.5um，那么在數(shù)字圖像處理后，線寬差異會(huì)變成1.5um。

但由于網(wǎng)格精度一般為該設(shè)備的固定參數(shù)，一旦改變會(huì)涉及較大的硬件變動(dòng)，如光學(xué)成像，機(jī)械結(jié)構(gòu)等，同時(shí)軟件一次性處理圖形數(shù)據(jù)的量會(huì)變大；比如，一張?jiān)瓐D為100mm*100mm的圖形，使用1mm的分辨率去量化，得到的數(shù)據(jù)量為100*100；如果使用 0.5mm的分辨率去量化，得到的數(shù)據(jù)量為200*200，分辨率減小一半，數(shù)據(jù)量增長(zhǎng)4倍。所以同樣一張圖形使用更小的分辨率去數(shù)字化，數(shù)據(jù)量會(huì)成平方倍增長(zhǎng)，對(duì)一次曝光數(shù)據(jù)傳輸?shù)男阅芤筇岣撸虼嗽趯?shí)際應(yīng)用中非常不便。

發(fā)明內(nèi)容

為了在不改變?nèi)魏斡布臈l件下，提高線寬的一致性，進(jìn)而提高設(shè)備曝光品質(zhì)，本發(fā)明提供了一種基于兩次重疊曝光提高線寬一致性的方法，所述技術(shù)方案如下：

一種提高線寬一致性的曝光方法，所述曝光方法包括兩次曝光過(guò)程，兩次曝光過(guò)程分別根據(jù)第一圖形和第二圖形進(jìn)行曝光；所述第一圖形為對(duì)原始圖形進(jìn)行數(shù)字網(wǎng)格化處理后的圖形，所述第二圖形為將原始圖形進(jìn)行平移后再進(jìn)行數(shù)字網(wǎng)格化處理后的圖形。

可選的，所述兩次曝光過(guò)程中第二次曝光位置(x2，y2)與第一次曝光位置(x1，y1)的關(guān)系為：(x2，y2)＝(x1±0.5網(wǎng)格，y1±0.5網(wǎng)格)；其中網(wǎng)格表示最小分辨率。

可選的，所述第二圖形為將原始圖形在X方向和Y方向正向或者負(fù)向分別進(jìn)行平移半個(gè)網(wǎng)格后再進(jìn)行數(shù)字網(wǎng)格化處理后的圖形。

可選的，若第二次曝光位置(x2，y2)與第一次曝光位置(x1，y1)的關(guān)系為(x2，y2)＝(x1-0.5網(wǎng)格，y1-0.5網(wǎng)格)，則第二圖形為將原始圖形在X方向的正向和Y方向的正向分別進(jìn)行平移半個(gè)網(wǎng)格后再進(jìn)行數(shù)字網(wǎng)格化處理后的圖形；

若第二次曝光位置(x2，y2)與第一次曝光位置(x1，y1)的關(guān)系為(x2，y2) ＝(x1+0.5網(wǎng)格，y1+0.5網(wǎng)格)，則第二圖形為將原始圖形在X方向的負(fù)向和Y方向的負(fù)向分別進(jìn)行平移半個(gè)網(wǎng)格后再進(jìn)行數(shù)字網(wǎng)格化處理后的圖形；

若第二次曝光位置(x2，y2)與第一次曝光位置(x1，y1)的關(guān)系為(x2，y2) ＝(x1+0.5網(wǎng)格，y1-0.5網(wǎng)格)，則第二圖形為將原始圖形在X方向的負(fù)向和Y方向的正向分別進(jìn)行平移半個(gè)網(wǎng)格后再進(jìn)行數(shù)字網(wǎng)格化處理后的圖形；