[發(fā)明專利]框架類集成電路的塑料封裝方法有效
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010419889.2 | 申請(qǐng)日: | 2020-05-18 |
公開(公告)號(hào): | CN111564377B | 公開(公告)日: | 2023-08-11 |
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 夏雷;李宗亞;周松 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 無錫中微高科電子有限公司;中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第五十八研究所 |
主分類號(hào): | H01L21/56 | 分類號(hào): | H01L21/56;H01L23/31;H01L23/495 |
代理公司: | 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 殷紅梅 |
地址: | 214028 江蘇省無錫市新*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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摘要: | |||
搜索關(guān)鍵詞: | 框架 集成電路 塑料 封裝 方法 | ||
本發(fā)明涉及一種框架類集成電路的塑料封裝方法,包括如下步驟:步驟1、提供待塑封的芯片以及塑封框架;步驟2、將芯片與所需塑封框架引腳組內(nèi)的連接引腳利用鍵合引線鍵合后形成電連接,在塑封框架的正面用上塑封體將芯片、鍵合引線包封在塑封框架的正面;步驟3、對(duì)上述塑封框架的背面進(jìn)行減薄;步驟4、對(duì)上述塑封框架的背面進(jìn)行塑封;步驟5、對(duì)塑封框架引線腳組上的上塑封體、下塑封體進(jìn)行整理,以得到所需尺寸大小的芯片塑封體,所述芯片以及芯片支撐島位于芯片塑封體內(nèi),塑封框架引線腳組鄰近芯片的一端位于芯片塑封體內(nèi),塑封框架引線腳組遠(yuǎn)離芯片的一端位于芯片塑封體外。本發(fā)明能有效實(shí)現(xiàn)塑封,降低塑封成本,提升塑封的適應(yīng)性,安全可靠。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種封裝方法,尤其是一種框架類集成電路的塑料封裝方法,屬于集成電路塑封的技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)
目前,QFP(Plastic?Quad?Flat?Package)、SOP(Small?Out-Line?Package)之類的框架類塑料封裝通常是在常規(guī)的引線框架(全刻蝕,上下穿通型)上,通過裝片、內(nèi)引線鍵合、包封、電鍍、沖切成型等工藝完成。
在利用引線框架進(jìn)行塑封工藝過程中,存在著幾個(gè)主要的問題:
1)、由于引線框架很薄(通常小于150μm),而各個(gè)引腳非常纖細(xì)(通常寬度只有200μm左右),彼此之間只是通過極細(xì)的連筋在后端相連,整個(gè)結(jié)構(gòu)很容易因?yàn)槁N曲、變形等原因?qū)е乱_在鍵合過程中無法有效固定而造成引腳晃動(dòng),進(jìn)而嚴(yán)重影響鍵合質(zhì)量;
2)、在用注塑模進(jìn)行模封時(shí),由于塑封模腔的上下部分是通過引腳之間的間隙連通,容易出現(xiàn)底部注塑不完整、針孔、氣泡等質(zhì)量缺陷;
3)、不同塑封體尺寸的封裝需要使用不同的模封模具,之后還需要專用的沖切模具對(duì)連筋進(jìn)行沖切處理。
以上這些缺點(diǎn),嚴(yán)重影響了小批量多品種的科研生產(chǎn)的產(chǎn)品質(zhì)量,大大提高了研發(fā)成本,對(duì)研發(fā)工作產(chǎn)生了嚴(yán)重的制約。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足,提供一種框架類集成電路的塑料封裝方法,其能有效實(shí)現(xiàn)塑封,降低塑封成本,提升塑封的適應(yīng)性,安全可靠。
按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案,所述框架類集成電路的塑料封裝方法,所述塑料封裝方法包括如下步驟:
步驟1、提供待塑封的芯片以及用于支撐所述芯片的塑封框架,所述塑封框架包括位于中心區(qū)的芯片支撐島以及均勻分布于芯片支撐島外圈的塑封框架引腳組,芯片能固定在所述芯片支撐島上;
步驟2、將芯片與所需塑封框架引腳組內(nèi)的連接引腳利用鍵合引線鍵合后實(shí)現(xiàn)電連接,并在鍵合連接后,在塑封框架的正面用上塑封體將芯片、鍵合引線包封在塑封框架的正面;
步驟3、對(duì)上述塑封框架的背面進(jìn)行減薄,以使得芯片支撐島與塑封框架引線腳組間相互分離;
步驟4、對(duì)上述塑封框架的背面進(jìn)行塑封,以得到與上塑封體、芯片支撐島以及塑封框架引線腳組連接的下塑封體;
步驟5、對(duì)塑封框架引線腳組上的上塑封體、下塑封體進(jìn)行整理,以得到所需的芯片塑封體,所述芯片以及芯片支撐島位于芯片塑封體內(nèi),塑封框架引線腳組鄰近芯片的一端位于芯片塑封體內(nèi),塑封框架引線腳組遠(yuǎn)離芯片的一端位于芯片塑封體外。
所述芯片通過裝片膠固定在芯片支撐島上。
所述芯片支撐島與塑封框架引腳組間設(shè)有島體引腳間隔槽,所述島體引腳間隔槽環(huán)繞在芯片支撐島的外圈,相鄰的塑封框架引腳組間通過組間間隔槽間隔,所述組間間隔槽與島體引腳間隔槽相互連通;
島體引腳間隔槽、組間間隔槽從塑封框架的正面垂直向背面方向延伸,且島體引腳間隔槽、組間間隔槽相對(duì)應(yīng)的深度均小于塑封框架的厚度;
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造