[發明專利]框架類集成電路的塑料封裝方法有效
申請號: | 202010419889.2 | 申請日: | 2020-05-18 |
公開(公告)號: | CN111564377B | 公開(公告)日: | 2023-08-11 |
發明(設計)人: | 夏雷;李宗亞;周松 | 申請(專利權)人: | 無錫中微高科電子有限公司;中國電子科技集團公司第五十八研究所 |
主分類號: | H01L21/56 | 分類號: | H01L21/56;H01L23/31;H01L23/495 |
代理公司: | 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 殷紅梅 |
地址: | 214028 江蘇省無錫市新*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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摘要: | |||
搜索關鍵詞: | 框架 集成電路 塑料 封裝 方法 | ||
1.一種框架類集成電路的塑料封裝方法,其特征是,所述塑料封裝方法包括如下步驟:
步驟1、提供待塑封的芯片(1)以及用于支撐所述芯片(1)的塑封框架(2),所述塑封框架(2)包括位于中心區的芯片支撐島(6)以及均勻分布于芯片支撐島(6)外圈的塑封框架引腳組(8),芯片(1)能固定在所述芯片支撐島(6)上;
步驟2、將芯片(1)與所需塑封框架引腳組(8)內的連接引腳(14)利用鍵合引線(3)鍵合后實現電連接,并在鍵合連接后,在塑封框架(2)的正面用上塑封體(5)將芯片(1)、鍵合引線(3)包封在塑封框架(2)的正面;
步驟3、對上述塑封框架(2)的背面進行減薄,以使得芯片支撐島(6)與塑封框架引線腳組(8)間相互分離;
步驟4、對上述塑封框架(2)的背面進行塑封,以得到與上塑封體(5)、芯片支撐島(6)以及塑封框架引線腳組(8)連接的下塑封體(9);
步驟5、對塑封框架引線腳組(8)上的上塑封體(5)、下塑封體(9)進行整理,以得到所需尺寸大小的芯片塑封體(10),所述芯片(1)以及芯片支撐島(6)位于芯片塑封體(10)內,塑封框架引線腳組(8)鄰近芯片(1)的一端位于芯片塑封體(10)內,塑封框架引線腳組(8)遠離芯片(1)的一端位于芯片塑封體(10)外;
所述芯片支撐島(6)的外圈設置塑封框架引腳組(8),芯片支撐島(6)與塑封框架引腳組(8)間設有島體引腳間隔槽(7),所述島體引腳間隔槽(7)環繞在芯片支撐島(6)的外圈,相鄰的塑封框架引腳組(8)間通過組間間隔槽(15)間隔,所述組間間隔槽(15)與島體引腳間隔槽(7)相互連通;
島體引腳間隔槽(7)、組間間隔槽(15)從塑封框架(2)的正面垂直向背面方向延伸,且島體引腳間隔槽(7)、組間間隔槽(15)相對應的深度均小于塑封框架(2)的厚度;
在對塑封框架(2)背面減薄時,能至少使得島體引腳間隔槽(7)、組間間隔槽(15)相應的槽底露出,以能得到相互獨立的芯片支撐島(6)與塑封框架引線腳組(8);
所述塑封框架引線腳組(8)內的若干連接引腳(14)呈并行排列,且同一塑封框架引線腳組(8)內相鄰的連接引腳(14)間通過引腳間隔槽(13)間隔,所述引腳間隔槽(13)從塑封框架(2)的正面垂直向背面方向延伸,且引腳間隔槽(13)的深度小于塑封框架(2)的厚度但等于引腳間隔槽(7)與組間間隔槽(15)的深度;在對塑封框架(2)的背面減薄后,所述引腳間隔槽(13)的槽底露出,以得到若干相互獨立的連接引腳(14);
步驟5中,采用激光對塑封框架引腳組(8)上所需的上塑封體(5)、下塑封體(9)進行整理去除,以得到所需尺寸大小的芯片塑封體(10)。
2.根據權利要求1所述的框架類集成電路的塑料封裝方法,其特征是:采用磨削或銑削的方式對塑封框架(2)的背面減薄,所述上塑封體(5)以及下塑封體(9)為環氧樹脂。
3.根據權利要求1所述的框架類集成電路的塑料封裝方法,其特征是:步驟4中,采用壓縮模或注塑模工藝制備得到下塑封體(9)。
4.根據權利要求1所述的框架類集成電路的塑料封裝方法,其特征是:所述芯片(1)通過裝片膠(4)固定在芯片支撐島(6)上。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造