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[發明專利]框架類集成電路的塑料封裝方法有效

專利信息
申請號: 202010419889.2 申請日: 2020-05-18
公開(公告)號: CN111564377B 公開(公告)日: 2023-08-11
發明(設計)人: 夏雷;李宗亞;周松 申請(專利權)人: 無錫中微高科電子有限公司;中國電子科技集團公司第五十八研究所
主分類號: H01L21/56 分類號: H01L21/56;H01L23/31;H01L23/495
代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104 代理人: 殷紅梅
地址: 214028 江蘇省無錫市新*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 框架 集成電路 塑料 封裝 方法
【權利要求書】:

1.一種框架類集成電路的塑料封裝方法,其特征是,所述塑料封裝方法包括如下步驟:

步驟1、提供待塑封的芯片(1)以及用于支撐所述芯片(1)的塑封框架(2),所述塑封框架(2)包括位于中心區的芯片支撐島(6)以及均勻分布于芯片支撐島(6)外圈的塑封框架引腳組(8),芯片(1)能固定在所述芯片支撐島(6)上;

步驟2、將芯片(1)與所需塑封框架引腳組(8)內的連接引腳(14)利用鍵合引線(3)鍵合后實現電連接,并在鍵合連接后,在塑封框架(2)的正面用上塑封體(5)將芯片(1)、鍵合引線(3)包封在塑封框架(2)的正面;

步驟3、對上述塑封框架(2)的背面進行減薄,以使得芯片支撐島(6)與塑封框架引線腳組(8)間相互分離;

步驟4、對上述塑封框架(2)的背面進行塑封,以得到與上塑封體(5)、芯片支撐島(6)以及塑封框架引線腳組(8)連接的下塑封體(9);

步驟5、對塑封框架引線腳組(8)上的上塑封體(5)、下塑封體(9)進行整理,以得到所需尺寸大小的芯片塑封體(10),所述芯片(1)以及芯片支撐島(6)位于芯片塑封體(10)內,塑封框架引線腳組(8)鄰近芯片(1)的一端位于芯片塑封體(10)內,塑封框架引線腳組(8)遠離芯片(1)的一端位于芯片塑封體(10)外;

所述芯片支撐島(6)的外圈設置塑封框架引腳組(8),芯片支撐島(6)與塑封框架引腳組(8)間設有島體引腳間隔槽(7),所述島體引腳間隔槽(7)環繞在芯片支撐島(6)的外圈,相鄰的塑封框架引腳組(8)間通過組間間隔槽(15)間隔,所述組間間隔槽(15)與島體引腳間隔槽(7)相互連通;

島體引腳間隔槽(7)、組間間隔槽(15)從塑封框架(2)的正面垂直向背面方向延伸,且島體引腳間隔槽(7)、組間間隔槽(15)相對應的深度均小于塑封框架(2)的厚度;

在對塑封框架(2)背面減薄時,能至少使得島體引腳間隔槽(7)、組間間隔槽(15)相應的槽底露出,以能得到相互獨立的芯片支撐島(6)與塑封框架引線腳組(8);

所述塑封框架引線腳組(8)內的若干連接引腳(14)呈并行排列,且同一塑封框架引線腳組(8)內相鄰的連接引腳(14)間通過引腳間隔槽(13)間隔,所述引腳間隔槽(13)從塑封框架(2)的正面垂直向背面方向延伸,且引腳間隔槽(13)的深度小于塑封框架(2)的厚度但等于引腳間隔槽(7)與組間間隔槽(15)的深度;在對塑封框架(2)的背面減薄后,所述引腳間隔槽(13)的槽底露出,以得到若干相互獨立的連接引腳(14);

步驟5中,采用激光對塑封框架引腳組(8)上所需的上塑封體(5)、下塑封體(9)進行整理去除,以得到所需尺寸大小的芯片塑封體(10)。

2.根據權利要求1所述的框架類集成電路的塑料封裝方法,其特征是:采用磨削或銑削的方式對塑封框架(2)的背面減薄,所述上塑封體(5)以及下塑封體(9)為環氧樹脂。

3.根據權利要求1所述的框架類集成電路的塑料封裝方法,其特征是:步驟4中,采用壓縮模或注塑模工藝制備得到下塑封體(9)。

4.根據權利要求1所述的框架類集成電路的塑料封裝方法,其特征是:所述芯片(1)通過裝片膠(4)固定在芯片支撐島(6)上。

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