[發明專利]一種嵌入式芯片封裝設備及方法在審
| 申請號: | 202010417694.4 | 申請日: | 2020-09-04 |
| 公開(公告)號: | CN111816573A | 公開(公告)日: | 2020-10-23 |
| 發明(設計)人: | 孫文檠 | 申請(專利權)人: | 馬鞍山芯??萍加邢薰?/a> |
| 主分類號: | H01L21/56 | 分類號: | H01L21/56 |
| 代理公司: | 鹽城平易安通知識產權代理事務所(普通合伙) 32448 | 代理人: | 陳彩芳 |
| 地址: | 243000 安徽省*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 嵌入式 芯片 封裝 設備 方法 | ||
本發明公開了一種嵌入式芯片封裝設備及方法,包括設備外殼,所述設備外殼的下表面靠近兩側位置均固定安裝有支撐墊,且設備外殼的頂部靠近兩側位置均固定安裝有鎖緊塊,所述設備外殼的頂部支撐有箱蓋,所述箱蓋的外側固定安裝有鎖緊件,所述鎖緊件的內部貫穿連接有鎖緊銷,所述鎖緊銷的端頭延伸至鎖緊塊的內部,所述箱蓋的上表面靠近邊緣位置固定安裝有固定架,所述固定架的頂部靠近中間位置固定安裝有封裝膠箱,且固定架的頂部靠近兩側位置均固定安裝有冷卻液箱。本發明所述的一種嵌入式芯片封裝設備及方法,能夠在箱蓋打開時對其進行支撐,方便取出封裝好的芯片,且能夠在對箱蓋進行支撐的時候起到導向的作用。
技術領域
本發明涉及芯片加工相關設備領域,特別涉及一種嵌入式芯片封裝設備及方法。
背景技術
芯片是指內含集成電路的硅片,體積很小,常常是計算機或其他電子設備的一部分。在芯片的生產制備過程中,需要對生產完成的芯片進行封裝,預防芯片受到損傷,嵌入式芯片封裝設備是一種對芯片進行封裝的常用設備;但現有的嵌入式芯片封裝設備在使用時,不能夠在箱蓋打開時對其進行支撐,不方便取出封裝好的芯片,不能夠在對箱蓋進行支撐的時候起到導向的作用。
發明內容
本發明的主要目的在于提供一種嵌入式芯片封裝設備及方法,可以有效解決背景技術中問題。
為實現上述目的,本發明采取的技術方案為:
一種嵌入式芯片封裝設備,包括設備外殼,所述設備外殼的下表面靠近兩側位置均固定安裝有支撐墊,且設備外殼的頂部靠近兩側位置均固定安裝有鎖緊塊,所述設備外殼的頂部支撐有箱蓋,所述箱蓋的外側固定安裝有鎖緊件,所述鎖緊件的內部貫穿連接有鎖緊銷,所述鎖緊銷的端頭延伸至鎖緊塊的內部,所述箱蓋的上表面靠近邊緣位置固定安裝有固定架,所述固定架的頂部靠近中間位置固定安裝有封裝膠箱,且固定架的頂部靠近兩側位置均固定安裝有冷卻液箱,所述設備外殼的內部靠近中間位置設有封裝箱,所述封裝膠箱與封裝箱之間連接有一號輸送管,所述冷卻液箱與封裝箱之間連接有二號輸送管,所述封裝膠箱的頂部設有氣缸,所述氣缸的輸出端連接有傳動桿,所述傳動桿的端頭位置連接有活塞塊,所述封裝箱的外表面均勻的分布有散熱片,且封裝箱的內部開設有冷卻液腔,所述封裝箱的內表面設有防粘層,且封裝箱的內表面嵌設有分流板,所述分流板的頂部嵌設有過濾網,且分流板的內部開設有分流槽,所述箱蓋與設備外殼之間連接有頂升機構,且箱蓋與設備外殼之間連接有導向機構。
優選的,所述頂升機構由連接座、螺紋柱、銜接頭、手輪和螺紋槽組成,所述連接座固定安裝在設備外殼的外表面,所述螺紋柱貫穿于連接座的內部,所述銜接頭固定安裝在箱蓋的下表面,且銜接頭套設在螺紋柱的頂端,所述手輪固定于螺紋柱的底端,所述螺紋槽開設于連接座的內部。
優選的,所述箱蓋通過銜接頭和螺紋柱與連接座活動連接。
優選的,所述導向機構由導向套筒、導向柱和防脫接頭組成,所述導向套筒固定安裝在設備外殼的外表面,所述導向柱固定于箱蓋的下表面,且導向柱的底端延伸至導向套筒的內部,所述防脫接頭固定于導向柱的底端。
優選的,所述導向柱通過防脫接頭與導向套筒活動連接。
優選的,所述一號輸送管和二號輸送管的外表面均連接有控制閥。
優選的,所述箱蓋通過鎖緊件和鎖緊銷與鎖緊塊固定連接。
優選的,所述箱蓋與設備外殼之間設有密封圈,密封圈為帶有臺階槽的橡膠密封圈。
優選的,所述一號輸送管和二號輸送管與封裝箱之間均連接有可拆卸接頭。
優選的,一種嵌入式芯片封裝設備的使用方法,包括以下步驟:
S1:將鎖緊銷旋出鎖緊塊和鎖緊件,可以使箱蓋與鎖緊塊松脫,轉動手輪,螺紋柱與螺紋槽相互嚙合,箱蓋通過銜接頭和螺紋柱與連接座相對活動,螺紋柱能夠對箱蓋進行不同高度的支撐,實現將箱蓋打開,取出封裝箱內部的分流板;
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





