[發明專利]一種多功能硅片檢測平臺

在審

• 申請號: 202010413793.5
• 申請日: 2020-05-15
• 公開（公告）號: CN111457878A
• 公開（公告）日: 2020-07-28
• 發明（設計）人: 李璐;邢旭;賀基凱;唐亮
• 申請（專利權）人: 長治高測新材料科技有限公司
• 主分類號: G01B21/08
• 分類號: G01B21/08;G01B21/20;G01B21/00;H01L21/66;B65G15/00;B65G43/00
• 代理公司: 北京卓嵐智財知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11624
• 代理人: 任漱晨

1.一種多功能硅片檢測平臺，包括安裝底座(10)，其特征在于，所述安裝底座(10)上設有檢測模塊(20)，檢測模塊(20)旁設有光伏硅片移載模塊(30)和半導體硅片移載模塊(40)；所述檢測模塊(20)包括支架(21)、固定在支架(21)上的第一直線導軌(24)以及滑動設置在第一直線導軌(24)上的檢測傳感器(27)；所述光伏硅片移載模塊(30)包括第一線性模組(31)和滑動設置在第一線性模組(31)上的光伏硅片輸送組件；所述半導體硅片移載模塊(40)包括第二線性模組(41)、設置在第二線性模組(41)上的旋轉平臺(43)以及設置在旋轉平臺(43)頂部的可調抓盤(45)。

2.根據權利要求1所述的多功能硅片檢測平臺，其特征在于，所述支架(21)包括上橫梁(22)和下橫梁(23)，所述上橫梁(22)和所述下橫梁(23)上均設置所述第一直線導軌(24)；所述檢測傳感器(27)通過安裝座(26)與所述第一直線導軌(24)上的第一滑塊(25)連接；所述安裝座(26)遠離所述第一滑塊(25)一端設有夾爪。

3.根據權利要求2所述的多功能硅片檢測平臺，其特征在于，兩個所述檢測傳感器(27)同軸設置；所述第一直線導軌(24)上設有兩個機械限位。

4.根據權利要求1所述的多功能硅片檢測平臺，其特征在于，沿所述第一線性模組(31)長度方向的兩側均設置第二直線導軌(32)，第二直線導軌(32)上設置第二滑塊(35)；兩個所述第二直線導軌(32)分別設置在所述支架(21)的兩側。

5.根據權利要求4所述的多功能硅片檢測平臺，其特征在于，所述光伏硅片輸送組件包括連接底板(33)和固定在連接底板(33)長度方向兩側的立板(34)；兩個所述立板(34)的兩端分別通過主動軸(37)和從動軸(39)連接，主動軸(37)通過其兩端的軸承座(371)固定于兩個所述立板(34)之間，從動軸(39)通過其兩端的第一惰輪固定于兩個所述立板(34)之間；所述連接底板(33)兩端分別與兩個所述第二滑塊(35)固定。

6.根據權利要求5所述的多功能硅片檢測平臺，其特征在于，兩個所述立板(34)中部均開槽；兩個所述立板(34)內側均勻設置數個第二惰輪(341)，第二惰輪(341)通過惰輪軸固定在所述立板(34)上。

7.根據權利要求5所述的多功能硅片檢測平臺，其特征在于，所述軸承座(371)內側通過鍵連接第一同步帶輪(372)，第一同步帶輪(372)設置在所述立板(34)內側；在所述立板(34)外側設有一個第二同步帶輪(38)，第二同步帶輪(38)和所述第一同步帶輪(372)同軸設置。

8.根據權利要求7所述的多功能硅片檢測平臺，其特征在于，所述連接底板(33)靠近所述主動軸(37)一端的底部設有第一伺服電機(36)；所述第一伺服電機(36)的輸出軸通過鍵連接第三同步帶輪(382)；所述第二同步帶輪(38)和所述第三同步帶輪(382)通過傳動帶(381)驅動運轉。

9.根據權利要求1所述的多功能硅片檢測平臺，其特征在于，所述旋轉平臺(43)通過連接板(42)固定在所述第二線性模組(41)上；所述旋轉平臺(43)一側設有第二伺服電機(44)，第二伺服電機(44)與所述旋轉平臺(43)的驅動輸入端相連。

10.根據權利要求9所述的多功能硅片檢測平臺，其特征在于，所述可調抓盤(45)通過螺栓固定在所述旋轉平臺(43)的轉臺上，所述可調抓盤(45)設有三個可伸縮的卡爪(46)。