[發明專利]晶圓檢測紅外光轉向機構及方法

在審

• 申請號: 202010400819.2
• 申請日: 2020-05-13
• 公開（公告）號: CN111692977A
• 公開（公告）日: 2020-09-22
• 發明（設計）人: 淦克金;楊錚;吳志鋒
• 申請（專利權）人: 蘇州舜治自動化機械設備有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06;G01N21/59
• 代理公司: 北京化育知識產權代理有限公司 11833
• 代理人: 尹均利

本發明涉及一種晶圓檢測紅外光轉向機構及方法，從紅外測試機發出的紅外光經過反射鏡反射以15°的入射角射在晶圓表面進行反射或透射；對于反射部分，射在晶圓表面的紅外光通過晶圓反射到晶圓上方的曲面鏡一上，紅外光經曲面鏡一匯聚到接收器一上用于分析測試晶圓的厚度；對于投射部分，射在晶圓表面的紅外光通過晶圓透射到晶圓下方的曲面鏡二上，紅外光經曲面鏡二匯聚到接收器二上用于檢測晶圓的碳氧含量。本發明晶圓檢測紅外光轉向機構同時兼容反射與透射功能為一體，用于檢測晶圓的厚度與碳氧含量，程序上自動切換，無需手動操作，提高生產質量與效率。

技術領域

本發明涉及晶圓檢測技術領域，具體涉及一種晶圓檢測紅外光轉向方法。

背景技術

目前半導體行業生產過程中，晶圓被分割為多尺寸的圓片，進行外延工藝，不同客戶的需求不一樣，有需要檢測晶圓邊緣厚度的，也有需要檢測晶圓碳氧的含量，目前一般是利用紅外光譜分析儀，通過手動檢測的方式分別進行厚度與碳氧含量的檢測。

發明內容

本發明的目的在于提供一種晶圓檢測紅外光轉向機構及方法，用以解決現有技術中的晶圓厚度和碳氧含量需要分別檢測的問題。

本發明一方面提供了一種晶圓檢測紅外光轉向方法，從紅外測試機發出的紅外光經過反射鏡反射以15°的入射角射在晶圓表面進行反射或透射；

對于反射部分，射在晶圓表面的紅外光通過晶圓反射到晶圓上方的曲面鏡一上，紅外光經曲面鏡一匯聚到接收器一上用于分析測試晶圓的厚度；

對于投射部分，射在晶圓表面的紅外光通過晶圓透射到晶圓下方的曲面鏡二上，紅外光經曲面鏡二匯聚到接收器二上用于檢測晶圓的碳氧含量。

進一步的，所述反射鏡為離軸拋物面鏡。

進一步的，所述曲面鏡一和曲面鏡二均為離軸橢球面鏡。

本發明另一方面提供一種晶圓檢測紅外光轉向機構，包括反射鏡、曲面鏡一和曲面鏡二，測試晶圓放置在曲面鏡一和曲面鏡二之間，所述曲面鏡一和曲面鏡二對稱分布在晶圓兩側，所述反射鏡設置于曲面鏡一的斜上方。

采用上述本發明技術方案的有益效果是：

本發明晶圓檢測紅外光轉向機構同時兼容反射與透射功能為一體，用于檢測晶圓的厚度與碳氧含量，程序上自動切換，無需手動操作，提高生產質量與效率。

附圖說明

圖1為本發明晶圓檢測紅外光轉向機構結構示意圖；

附圖中，各標號所代表的部件列表如下：

1-反射鏡，2-曲面鏡一，3-曲面鏡二，4-晶圓。

具體實施方式

為使本發明實施例的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。

如圖1所示，本發明一種晶圓檢測紅外光轉向機構，包括反射鏡1、曲面鏡一2和曲面鏡二3，測試晶圓4放置在曲面鏡一2和曲面鏡二3之間，所述曲面鏡一2和曲面鏡二3對稱分布在晶圓4兩側，所述反射鏡1設置于曲面鏡一2的斜上方。

該晶圓檢測紅外光轉向機構的轉向方法為：從紅外測試機發出的紅外光經過反射鏡1反射以15°的入射角射在晶圓4表面進行反射或透射；

對于反射部分，射在晶圓4表面的紅外光通過晶圓4反射到晶圓4上方的曲面鏡一2上，紅外光經曲面鏡一2匯聚到接收器一上用于分析測試晶圓4的厚度；

對于投射部分，射在晶圓4表面的紅外光通過晶圓4透射到晶圓4下方的曲面鏡二3上，紅外光經曲面鏡二3匯聚到接收器二上用于檢測晶圓4的碳氧含量。