[發明專利]晶圓檢測紅外光轉向機構及方法在審
| 申請號： | 202010400819.2 | 申請日： | 2020-05-13 |
| 公開（公告）號： | CN111692977A | 公開（公告）日： | 2020-09-22 |
| 發明（設計）人： | 淦克金;楊錚;吳志鋒 | 申請（專利權）人： | 蘇州舜治自動化機械設備有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/06 | 分類號： | G01B11/06;G01N21/59 |
| 代理公司： | 北京化育知識產權代理有限公司 11833 | 代理人： | 尹均利 |
| 地址： | 215156 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 檢測 紅外光 轉向 機構 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種晶圓檢測紅外光轉向方法，其特征在于，從紅外測試機發出的紅外光經過反射鏡反射以15°的入射角射在晶圓表面進行反射或透射；
對于反射部分，射在晶圓表面的紅外光通過晶圓反射到晶圓上方的曲面鏡一上，紅外光經曲面鏡一匯聚到接收器一上用于分析測試晶圓的厚度；
對于投射部分，射在晶圓表面的紅外光通過晶圓透射到晶圓下方的曲面鏡二上，紅外光經曲面鏡二匯聚到接收器二上用于檢測晶圓的碳氧含量。
2.根據權利要求1所述的晶圓檢測紅外光轉向方法，其特征在于，所述反射鏡為離軸拋物面鏡。
3.根據權利要求1所述的晶圓檢測紅外光轉向方法，其特征在于，所述曲面鏡一和曲面鏡二均為離軸橢球面鏡。
4.一種晶圓檢測紅外光轉向機構，其特征在于，包括反射鏡、曲面鏡一和曲面鏡二，測試晶圓放置在曲面鏡一和曲面鏡二之間，所述曲面鏡一和曲面鏡二對稱分布在晶圓兩側，所述反射鏡設置于曲面鏡一的斜上方。
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