[發(fā)明專利]研磨模具和石英晶片的研磨方法

在審

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• 申請日: 2020-05-12
• 公開（公告）號: CN111438630A
• 公開（公告）日: 2020-07-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 符清銘;虞亞軍;李慶躍;駱紅莉;郭雄偉;黃文俊;林土全
• 申請（專利權(quán)）人: 東晶電子金華有限公司
• 主分類號: B24B37/10
• 分類號: B24B37/10;B24B37/30;B24B37/04
• 代理公司: 北京友聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11343
• 代理人: 汪海屏;王淑梅

本發(fā)明提供了一種研磨模具和石英晶片的研磨方法，研磨模具用于研磨石英晶片，研磨模具包括第一模板和第二模板；第一模板上設(shè)置有安裝孔，安裝孔與石英晶片相適配；第二模板包括本體和安裝塊，本體與第一模板相貼合，安裝塊設(shè)置于本體上，并嵌于安裝孔內(nèi)；其中，安裝塊的高度小于安裝孔的高度。本發(fā)明所提供的研磨模具，并且由于石英晶片的厚度取決于安裝槽的深度，所以調(diào)整安裝槽的深度，即可獲得不同厚度的石英晶片，石英晶片的厚度不再受限于研磨模具的厚度，進(jìn)而可加工出厚度更薄的石英晶片，以提升石英晶體諧振器的頻率，減小石英晶體諧振器的體積。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及石英晶片技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種研磨模具及石英晶片的研磨方法。

背景技術(shù)

目前，隨著5G的發(fā)展，要求的石英晶體諧振器的頻率越來越高，也要求基頻的頻率越來越高，那么石英晶片的厚度需要越來越薄。

在相關(guān)技術(shù)中，石英晶片的加工工藝以研磨為主，在研磨石英晶片時，需將石英晶片放置在游星輪內(nèi)，游星輪帶動石英晶片在研磨設(shè)備內(nèi)運(yùn)動。但由于石英晶片最終的厚度取決于游星輪的厚度，所以當(dāng)石英晶片過薄時，游星輪的強(qiáng)度降低，無法穩(wěn)定地帶動石英晶片運(yùn)動，進(jìn)而導(dǎo)致石英晶片的廢品率升高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)或相關(guān)技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。

為此，本發(fā)明的第一方面提出一種研磨模具。

本發(fā)明的第二方面提出一種石英晶片的研磨方法。

有鑒于此，本發(fā)明的第一方面提供了一種研磨模具，研磨模具用于研磨石英晶片，研磨模具包括第一模板和第二模板；第一模板上設(shè)置有安裝孔，安裝孔與石英晶片相適配；第二模板包括本體和安裝塊，本體與第一模板相貼合，安裝塊設(shè)置于本體上，并嵌于安裝孔內(nèi)；其中，安裝塊的高度小于安裝孔的高度。

本發(fā)明所提供的研磨模具，第一模板和第二模板相貼合，第二模板的安裝塊由第一模板的一側(cè)插入到安裝孔內(nèi)，并且安裝塊的高度小于安裝孔的高度，所以在第一模板的另一側(cè)會形成一個用于放置石英晶片的安裝槽，將石英晶片放置于安裝槽后，便可對石英晶片進(jìn)行研磨；由于石英晶片的厚度取決于安裝槽的深度，即安裝塊的高度與安裝孔的高度之差，所以第一模板與第二模板的整體厚度不在取決于石英晶片厚度，進(jìn)而使得研磨模具具備更高的強(qiáng)度，研磨模具可穩(wěn)定地帶動石英晶片運(yùn)動，提升石英晶片的研磨合格率，進(jìn)而降低石英晶片的成本；并且由于石英晶片的厚度取決于安裝槽的深度，所以調(diào)整安裝槽的深度，即可獲得不同厚度的石英晶片，石英晶片的厚度不再受限于研磨模具的厚度，進(jìn)而可加工出厚度更薄的石英晶片，以提升石英晶體諧振器的頻率，減小石英晶體諧振器的體積。

另外，本發(fā)明提供的上述技術(shù)方案中的研磨模具還可以具有如下附加技術(shù)特征：

在本申請的一個技術(shù)方案中，研磨模具還包括驅(qū)動套，驅(qū)動套連接于第一模板和/或第二模板上，以帶動第一模板和第二模板轉(zhuǎn)動。

在該技術(shù)方案中，驅(qū)動套套設(shè)于第一模板和第二模板的外側(cè)，并與研磨設(shè)備的驅(qū)動部件相配合，以實(shí)現(xiàn)對研磨模具的驅(qū)動，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對石英晶片的研磨。

在本申請的一個技術(shù)方案中，驅(qū)動套包括驅(qū)動環(huán)和多個齒；驅(qū)動環(huán)卡接于第一模板和/或第二模板上；多個齒設(shè)置于驅(qū)動環(huán)外壁上，沿驅(qū)動環(huán)的周向設(shè)置。

在該技術(shù)方案中，研磨設(shè)備的驅(qū)動部件包括太陽輪和內(nèi)齒圈，在驅(qū)動環(huán)的外壁上設(shè)置多個齒，多個齒可同時與太陽輪和內(nèi)齒圈相配合，將研磨模具作為游星輪，進(jìn)而形成行星齒輪機(jī)構(gòu)，使得研磨模具在圍繞太陽輪的軸線轉(zhuǎn)動的同時，也圍繞研磨模具自身的周向轉(zhuǎn)動，進(jìn)而使得石英晶片的厚度被研磨的更加均勻，并且可有效地提升石英晶片的研磨效率。

在本申請的一個技術(shù)方案中，第一模板包括第一排料孔，第一排料孔沿安裝孔的周向設(shè)置；第二模板包括第二排料孔，第二排料孔設(shè)置于本體上，沿安裝塊的周向設(shè)置；第一排料孔與第二排料孔相連通。