[發(fā)明專利]一種提高蝕刻產(chǎn)品質(zhì)量的蝕刻液在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010378511.2 | 申請日： | 2020-05-07 |
| 公開（公告）號： | CN111411361A | 公開（公告）日： | 2020-07-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 尹國欽;任忠平 | 申請（專利權(quán)）人： | 寧波福至新材料有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/28 | 分類號： | C23F1/28;C23F1/02 |
| 代理公司： | 上海泰能知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 31233 | 代理人： | 魏峯 |
| 地址： | 315800 浙江省寧波市北*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 提高 蝕刻 產(chǎn)品質(zhì)量 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種提高蝕刻產(chǎn)品質(zhì)量的蝕刻液，其特征在于：由三氯化鐵、氯化銅、硫化氫和水組成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻液，其特征在于：所述三氯化鐵濃度為30％～35％。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻液，其特征在于：所述氯化銅濃度為18％～25％。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻液，其特征在于：所述硫化氫輸入到蝕刻液中的壓力為3-8bar。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻液，其特征在于：所述硫化氫輸入量為0.5--0.8m3/h。
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