[發(fā)明專利]掩模板夾持裝置以及張網(wǎng)設(shè)備

有效

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• 申請日: 2020-04-30
• 公開（公告）號: CN113579604B
• 公開（公告）日: 2022-10-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫啟峰;張洪博;耿鵬飛;張瑞平
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: B23K37/04
• 分類號: B23K37/04
• 代理公司: 上海思捷知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

1.一種掩模板夾持裝置，其特征在于，包括用來接觸掩模板以夾持所述掩模板的夾持塊，所述夾持塊上設(shè)置有至少兩個溝槽，所述溝槽的深度方向和長度方向均與所述掩模板的厚度方向垂直，所述溝槽沿所述掩模板的厚度方向排列且在所述深度方向相互交疊，所述溝槽內(nèi)部為空氣隙，在夾持所述掩模板時，所述夾持塊通過所述溝槽對由于夾持壓力而在夾持塊內(nèi)部產(chǎn)生的應(yīng)變進行自適應(yīng)調(diào)整，以減小所述掩模板的變形量。

2.如權(quán)利要求1所述的掩模板夾持裝置，其特征在于，所述溝槽沿其長度方向貫穿相應(yīng)的所述夾持塊。

3.如權(quán)利要求1所述的掩模板夾持裝置，其特征在于，同一夾持塊上的相鄰兩個所述溝槽的深度方向相反。

4.如權(quán)利要求1所述的掩模板夾持裝置，其特征在于，所述溝槽底部的垂直于所述長度方向的剖面為圓形或橢圓形。

5.如權(quán)利要求1所述的掩模板夾持裝置，其特征在于，所述夾持塊包括用來分別接觸所述掩模板兩個表面且相對設(shè)置的上夾持塊和下夾持塊，所述上夾持塊在一驅(qū)動機構(gòu)的控制下能夠沿所述掩模板的厚度方向靠近或遠離所述下夾持塊，所述上夾持塊和所述下夾持塊中的至少一個的端部各設(shè)置有兩個所述溝槽。

6.如權(quán)利要求5所述的掩模板夾持裝置，其特征在于，在所述上夾持塊和所述下夾持塊均設(shè)置有所述溝槽時，位于所述上夾持塊最下端的溝槽和位于所述下夾持塊最上端的溝槽的深度方向相反。

7.如權(quán)利要求5所述的掩模板夾持裝置，其特征在于，所述驅(qū)動機構(gòu)包括電機、主動塊和壓桿，所述壓桿通過導(dǎo)向軸承連接所述主動塊，所述上夾持塊設(shè)置于所述壓桿的一端，所述主動塊具有一斜孔，所述導(dǎo)向軸承可滑動地嵌設(shè)于所述斜孔內(nèi)，所述主動塊在所述電機的驅(qū)動下移動并帶動所述壓桿和所述上夾持塊沿所述掩模板的厚度方向移動。

8.如權(quán)利要求7所述的掩模板夾持裝置，其特征在于，所述溝槽的深度方向與所述主動塊的移動方向相同，或者，所述溝槽的深度方向與所述主動塊和所述上夾持塊的移動方向均垂直。

9.如權(quán)利要求7所述的掩模板夾持裝置，其特征在于，所述驅(qū)動機構(gòu)還包括設(shè)置于所述壓桿另一端的壓桿軸以及軸套，所述壓桿軸的軸向與所述上夾持塊的移動方向相同，所述壓桿軸可活動地插入所述軸套。

10.如權(quán)利要求9所述的掩模板夾持裝置，其特征在于，所述壓桿軸上套設(shè)有墊圈，當所述壓桿軸下降到最底端時，所述墊圈塞于所述壓桿和所述軸套之間的間隙。

11.如權(quán)利要求7所述的掩模板夾持裝置，其特征在于，還包括基礎(chǔ)框架，所述主動塊設(shè)置于所述基礎(chǔ)框架內(nèi)，所述上夾持塊和所述下夾持塊設(shè)置于所述基礎(chǔ)框架外；所述基礎(chǔ)框架內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)向桿，所述主動塊套設(shè)于所述導(dǎo)向桿上。

12.如權(quán)利要求11所述的掩模板夾持裝置，其特征在于，所述基礎(chǔ)框架的與所述上夾持塊相對的外表面平行于所述上夾持塊的移動方向，所述上夾持塊上設(shè)置有滑動件，所述滑動件隨所述上夾持塊的移動而沿所述基礎(chǔ)框架的外表面移動。

13.一種張網(wǎng)設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至12任一項所述的掩模板夾持裝置。