[發明專利]一種半導體器件封裝設備在審
| 申請號: | 202010360324.1 | 申請日: | 2020-04-30 |
| 公開(公告)號: | CN111508876A | 公開(公告)日: | 2020-08-07 |
| 發明(設計)人: | 劉睿強;林濤;李志貴 | 申請(專利權)人: | 重慶電子工程職業學院 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 重慶蘊博君晟知識產權代理事務所(普通合伙) 50223 | 代理人: | 王玉芝 |
| 地址: | 401331 重*** | 國省代碼: | 重慶;50 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 半導體器件 封裝 設備 | ||
1.一種半導體器件封裝設備,其特征在于,包括檢測臺、安裝架和檢測裝置;
所述安裝架與所述檢測臺固定連接,并位于所述檢測臺的一側;
所述檢測裝置包括旋轉軸承、軸承驅動電機、條形座、傳送組件、角度調整組件和成像組件,所述旋轉軸承與所述安裝架固定連接,并位于所述安裝架靠近所述檢測臺的一側,所述軸承驅動電機與所述安裝架固定連接,并輸出軸與所述旋轉軸承轉動連接,且位于所述安裝架遠離所述旋轉軸承的一側,所述條形座與所述旋轉軸承轉動連接,并位于所述旋轉軸承靠近所述檢測臺的一側,所述傳送組件與所述檢測臺轉動連接,所述角度調整組件與所述條形座轉動連接;
所述成像組件包括第一相機、第二相機、照明燈和成像處理器,所述第一相機與所述條形座固定連接,并位于所述條形座遠離所述旋轉軸承的一側,且位于所述條形座的一端,所述第二相機與所述條形座固定連接,并位于所述條形座遠離所述旋轉軸承的一側,且位于所述條形座遠離所述第一相機的一端,所述照明燈與所述條形座固定連接,并位于所述條形座遠離所述旋轉軸承的一側,且位于所述第一相機和所述第二相機之間,所述成像處理器與所述第一相機電性連接,并與所述第二相機電性連接,且與所述安裝架固定連接,所述成像處理器位于所述安裝架遠離所述旋轉軸承的一側。
2.如權利要求1所述的半導體器件封裝設備,其特征在于,
所述角度調整組件包括第一旋轉轉軸、第一偏轉板和第一偏轉電機,所述第一旋轉轉軸與所述條形座轉動連接,并位于所述條形座靠近所述第一相機的一側;所述第一偏轉板與所述第一旋轉轉軸固定連接,并位于所述第一旋轉轉軸遠離所述條形座的一側;所述第一偏轉電機與所述條形座固定連接,并輸出軸與所述第一旋轉轉軸固定連接,且位于所述條形座靠近所述第一旋轉轉軸的一側。
3.如權利要求2所述的半導體器件封裝設備,其特征在于,
所述角度調整組件還包括第二旋轉轉軸、第二偏轉板和第二偏轉電機,所述第二旋轉轉軸與所述條形座轉動連接,并位于所述條形座靠近所述第二相機的一側;所述第二偏轉板與所述第二旋轉轉軸固定連接,并位于所述第二旋轉轉軸遠離所述條形座的一側;所述第二偏轉電機與所述條形座固定連接,并輸出軸與所述第二旋轉轉軸固定連接,且位于所述條形座靠近所述第二旋轉轉軸的一側。
4.如權利要求3所述的半導體器件封裝設備,其特征在于,
所述傳送組件包括傳動帶和傳動電機,所述傳動帶與所述檢測臺轉動連接,并位于所述檢測臺靠近所述條形座的一側;所述傳動電機與所述檢測臺固定連接,并輸出軸與所述傳動帶轉動連接,且位于所述檢測臺靠近所述傳動帶的一側。
5.如權利要求1所述的半導體器件封裝設備,其特征在于,
所述半導體器件封裝設備還包括升降架和升降驅動裝置,所述升降架與所述安裝架滑動連接,并與所述旋轉軸承固定連接,且與所述軸承驅動電機固定連接,所述升降架位于所述安裝架靠近所述旋轉軸承的一側;所述升降驅動裝置與所述安裝架滑動連接,并與所述升降架固定連接。
6.如權利要求5所述的半導體器件封裝設備,其特征在于,
所述升降驅動裝置包括滑塊和滑動組件,所述滑塊與所述安裝架滑動連接,并與所述升降架固定連接,且位于所述安裝架靠近所述升降架的一側;所述滑動組件與所述安裝架固定連接,并與所述滑塊轉動連接。
7.如權利要求6所述的半導體器件封裝設備,其特征在于,
所述滑動組件包括連接絲桿和絲桿驅動電機,所述連接絲桿與所述安裝架轉動連接,并與所述滑塊滑動連接,且位于所述安裝架靠近所述滑塊的一側;所述絲桿驅動電機與所述安裝架固定連接,并輸出軸與所述連接絲桿固定連接,且位于所述安裝架靠近所述連接絲桿的一側。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





