[發明專利]掩膜版及其制作方法

有效

• 申請號: 202010350268.3
• 申請日: 2020-04-28
• 公開（公告）號: CN111509016B
• 公開（公告）日: 2023-03-24
• 發明（設計）人: 林治明
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: H10K59/35
• 分類號: H10K59/35;H10K71/00;H10K71/16;C23C14/04
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 張曉薇

本申請提出了一種掩膜版及其制作方法，該掩膜版包括外框；位于該外框的中空區內的遮光構件，包括將該中空區劃分為多個第一區的第一遮光條及第二遮光條；任一該第一遮光條包括多個重復設置的第一子遮光條，一該第一子遮光條與一該第一區對應，該第一子遮光條位于在該第一方向上的相鄰兩個該第一區之間；該第一子遮光條包括覆蓋部分該第一區的第一突出部。本申請通過在橫縱交錯的第一遮光條及第二遮光條上設置多個該第一子遮光條和多個第二子遮光條，使得任一該第一區對應的該第一子遮光條在對應的準位上，避免了遮光條會因拉伸而導致該第一子遮光條及該第二子遮光條的偏移，提高了產品的良率。

技術領域

本申請涉及顯示領域，特別涉及一種掩膜版及其制作方法。

背景技術

在有機發光二極管(Organic Light Emitting Diode，OLED)顯示面板的制造過程中，通常采用蒸鍍工藝形成OLED顯示面板中OLED器件的有機發光層。采用蒸鍍工藝制造顯示面板中的膜層時，通常將具有對應于膜層圖案的掩膜版與顯示面板的基板上待蒸鍍的一側貼合，并置于蒸鍍源上方，蒸鍍源中的蒸鍍材料受熱形成蒸氣散至基板上，并沉積在基板上，以在基板上形成膜層。

現有的異形屏通常包括側邊圓角或者凹槽，因此在蒸鍍工藝中需要利用對應形狀的掩膜版對目標異形屏進行。現有的掩膜版由多個橫縱交錯的遮光條構成，一般通過在橫向的遮光條上設置圓角或/和凸起以形成異常屏的外圓弧角或/和凹槽。其中，一橫向遮光條包括多個重復設置的圓角或/和凸起，在橫向遮光條與縱向遮光條配合時，橫向遮光條會因為拉伸而導致圓角或/和凸起的偏移，使得產品的邊界出現異常。

因此，目前亟需一種掩膜版以解決上述技術問題。

發明內容

本申請提供了一種掩膜版及其制作方法，以解決在異形屏的蒸鍍工藝中掩膜版出現邊界偏移的技術問題。

為解決上述問題，本申請提供的技術方案如下：

本申請提出了一種掩膜版，其包括：

外框，所述外框包括中空區；

位于所述中空區內的遮光構件，包括多個沿第一方向并列設置的所述第一遮光條、及多個沿第二方向并列設置的所述第二遮光條，多個所述第一遮光條及多個所述第二遮光條將所述中空區劃分為多個第一區；

任一所述第一遮光條包括多個重復設置的第一子遮光條，一所述第一子遮光條與一所述第一區對應，所述第一子遮光條位于在所述第二方向上的相鄰兩個所述第一區之間；

其中，所述第一子遮光條包括覆蓋部分所述第一區的第一突出部。

在本申請的掩膜版中，所述第一子遮光條還包括覆蓋部分所述第一區的第二突出部；

所述第二突出部位于所述第一子遮光條上遠離所述第一突出部的一側；

或者，所述第二突出部與所述第一突出部位于所述第一子遮光條的同一側。

在本申請的掩膜版中，所述第二突出部的面積小于或等于所述第一突出部的面積。

在本申請的掩膜版中，任一所述第一遮光條還包括多個重復設置的第二子遮光條，所述第二子遮光條與所述第一子遮光條間隔設置；

所述第二子遮光條位于所述第一遮光條與所述第二遮光條的重疊區域，所述第二子遮光條包括至少四個覆蓋部分所述第一區的第三突出部，至少一所述第三突出部與一所述第一區對應。

在本申請的掩膜版中，所述掩膜版還包括多個第一支撐條和多個第二支撐條；

所述第一支撐條沿所述第一方向設置于所述中空區，第二支撐條沿所述第二方向設置于所述中空區，一所述第一支撐條與一所述第一子遮光條對應，一所述第二支撐條與一所述第二子遮光條對應，所述第一支撐條與所述第二支撐條構成支撐網，所述支撐網用于支撐所述遮光構件。