[發(fā)明專利]一種再生晶圓生產(chǎn)用切片裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010345755.0
• 申請(qǐng)日: 2020-04-27
• 公開（公告）號(hào): CN111605091A
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 顧駿
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 顧駿
• 主分類號(hào): B28D5/02
• 分類號(hào): B28D5/02;B28D7/00;B28D7/04
• 代理公司: 合肥市科融知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 34126
• 代理人: 陳飛

本發(fā)明屬于晶圓切片技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種再生晶圓生產(chǎn)用切片裝置，針對(duì)現(xiàn)有的切片機(jī)在切片過(guò)程中容易將切過(guò)后的晶圓片卡接在刀片上的問(wèn)題，現(xiàn)提出以下方案，包括基板和內(nèi)設(shè)空腔呈長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)，所述工作臺(tái)的上表面靠近邊緣固定有支撐架，且支撐架的頂端固定有兩根開口相對(duì)且互相平行的槽鋼橫梁，兩根所述槽鋼橫梁之間卡接有同一個(gè)矩形滑框，所述矩形滑框的中間卡接有開口向下的固定桶。本發(fā)明可以在使用時(shí)需要對(duì)基板進(jìn)行切片的時(shí)候，只需控制電動(dòng)推桿二的延伸桿伸長(zhǎng)即可帶動(dòng)切刀的底端與基板接觸，進(jìn)而繼續(xù)下降完成切割，當(dāng)?shù)镀瑢⑶羞^(guò)后的晶圓卡接在內(nèi)部的時(shí)候只需向下?lián)軇?dòng)兩個(gè)撥動(dòng)桿即可將晶圓向下彈出。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓切片技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種再生晶圓生產(chǎn)用切片裝置。

背景技術(shù)

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，在晶圓切片的過(guò)程中，是通過(guò)將硅晶棒進(jìn)行切片處理，從而產(chǎn)生晶圓，然后在將其應(yīng)用到集成電路上去，現(xiàn)有在對(duì)硅晶棒進(jìn)行切割時(shí)，通常通過(guò)人工對(duì)其進(jìn)行切割，或者自動(dòng)化晶圓切片設(shè)備對(duì)其進(jìn)行切割。

經(jīng)檢索，中國(guó)專利號(hào)為CN201721686231.8公開的一種單晶硅晶圓切片裝置，包括盒體，所述盒體內(nèi)設(shè)有預(yù)設(shè)數(shù)量的限位環(huán)，位于頂部的所述限位環(huán)設(shè)有抵壓機(jī)構(gòu)，所述限位環(huán)通過(guò)支撐桿與盒體的內(nèi)側(cè)壁連接，所述盒體內(nèi)設(shè)有活動(dòng)塊，所述活動(dòng)塊上固定連接有上固定板和下固定板，所述上固定板的頂部固定連接有電機(jī)；但是該切片機(jī)由于硅片本身具有的輕薄短小的特制容易在切割時(shí)將成品卡接在刀片與刀片之間，需要后期將且過(guò)后的成品從刀片上取下。

發(fā)明內(nèi)容

基于現(xiàn)有的切片機(jī)在切片過(guò)程中容易將切過(guò)后的晶圓片卡接在刀片上的技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提出了一種再生晶圓生產(chǎn)用切片裝置。

本發(fā)明提出的一種再生晶圓生產(chǎn)用切片裝置，包括基板和內(nèi)設(shè)空腔呈長(zhǎng)方體結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)，所述工作臺(tái)的上表面靠近邊緣固定有支撐架，且支撐架的頂端固定有兩根開口相對(duì)且互相平行的槽鋼橫梁，兩根所述槽鋼橫梁之間卡接有同一個(gè)矩形滑框，所述矩形滑框的中間卡接有開口向下的固定桶，且固定桶的桶底卡接有電動(dòng)推桿二，且電動(dòng)推桿二延伸桿的底端固定有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸頂端固定有轉(zhuǎn)接頭，且轉(zhuǎn)接頭的底端設(shè)置有開口向下呈圓筒狀結(jié)構(gòu)的切刀，所述切刀的底端邊緣處預(yù)留有等距離分布的鋸齒，且切刀的圓周內(nèi)壁靠近底端滑動(dòng)連接有托盤，且托盤的圓周外壁固定有兩個(gè)關(guān)于托盤圓心互相對(duì)稱的撥動(dòng)桿，切刀的圓周外壁開有兩個(gè)與撥動(dòng)桿相適配的條形孔，所述托盤的上表面與切刀的頂部?jī)?nèi)壁之間固定有同一個(gè)復(fù)位彈簧。

優(yōu)選的，所述支撐架的頂端通過(guò)螺栓固定有電動(dòng)推桿一，且電動(dòng)推桿一的延伸桿的端部固定在矩形滑框的外壁上。

優(yōu)選的，所述工作臺(tái)的上表面中部開有軸承安裝孔，且工作臺(tái)的底部中間固定有軸承座，且軸承座的中間以及軸承安裝孔中分別卡接有互相對(duì)稱的圓錐滾子軸承。

優(yōu)選的，兩個(gè)所述圓錐滾子軸承之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有同一根轉(zhuǎn)桶，且轉(zhuǎn)桶的圓周外壁靠近頂端固定有限位環(huán)，且限位環(huán)的上表面遠(yuǎn)離支撐架的一側(cè)焊接有內(nèi)設(shè)空腔呈圓盤狀結(jié)構(gòu)的基臺(tái)，基臺(tái)的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有圓盤，且圓盤的上表面固定有鉸接板，且鉸接板中轉(zhuǎn)動(dòng)連接有母管。

優(yōu)選的，所述母管遠(yuǎn)離鉸接點(diǎn)的一端滑動(dòng)連接有弓形延伸臂桿，且兩個(gè)弓形延伸臂桿遠(yuǎn)離鉸接點(diǎn)的一端均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有壓盤，母管的下表面與基臺(tái)的上表面之間固定有拉伸彈簧。

優(yōu)選的，所述限位環(huán)的上表面靠近圓周邊緣處開有環(huán)形沉槽，且環(huán)形沉槽的槽底卡接有限位齒環(huán)。

優(yōu)選的，所述工作臺(tái)的上表面遠(yuǎn)離支撐架的一側(cè)通過(guò)螺栓固定有L形固定板，且L形固定板的橫板端部卡接有內(nèi)設(shè)空腔呈圓柱形結(jié)構(gòu)的定位桶。

優(yōu)選的，所述定位桶的頂端和底端之間滑動(dòng)連接有同一根頂桿，且頂桿的圓周外壁靠近桶底固定有環(huán)形擋圈，環(huán)形擋圈的頂端設(shè)置有壓縮彈簧，壓縮彈簧的內(nèi)壁與頂桿的外壁之間留有間隙。

優(yōu)選的，所述頂桿的底端設(shè)置有與限位齒環(huán)相適配的錐形齒。