[發明專利]一種再生晶圓生產用切片裝置

在審

• 申請號: 202010345755.0
• 申請日: 2020-04-27
• 公開（公告）號: CN111605091A
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 顧駿
• 申請（專利權）人: 顧駿
• 主分類號: B28D5/02
• 分類號: B28D5/02;B28D7/00;B28D7/04
• 代理公司: 合肥市科融知識產權代理事務所(普通合伙) 34126
• 代理人: 陳飛

1.一種再生晶圓生產用切片裝置，包括基板（20）和內設空腔呈長方體結構的工作臺（1），所述工作臺（1）的上表面靠近邊緣固定有支撐架（3），且支撐架（3）的頂端固定有兩根開口相對且互相平行的槽鋼橫梁（5），兩根所述槽鋼橫梁（5）之間卡接有同一個矩形滑框（6），所述矩形滑框（6）的中間卡接有開口向下的固定桶（8），且固定桶（8）的桶底卡接有電動推桿二（7），且電動推桿二（7）延伸桿的底端固定有驅動電機（9），其特征在于，所述驅動電機（9）的輸出軸頂端固定有轉接頭，且轉接頭的底端設置有開口向下呈圓筒狀結構的切刀（10），所述切刀（10）的底端邊緣處預留有等距離分布的鋸齒（1004），且切刀（10）的圓周內壁靠近底端滑動連接有托盤（1002），且托盤（1002）的圓周外壁固定有兩個關于托盤（1002）圓心互相對稱的撥動桿（1001），切刀（10）的圓周外壁開有兩個與撥動桿（1001）相適配的條形孔，所述托盤（1002）的上表面與切刀（10）的頂部內壁之間固定有同一個復位彈簧（1003）。

2.根據權利要求1所述的一種再生晶圓生產用切片裝置，其特征在于，所述支撐架（3）的頂端通過螺栓固定有電動推桿一（4），且電動推桿一（4）的延伸桿的端部固定在矩形滑框（6）的外壁上。

3.根據權利要求1所述的一種再生晶圓生產用切片裝置，其特征在于，所述工作臺（1）的上表面中部開有軸承安裝孔，且工作臺（1）的底部中間固定有軸承座（22），且軸承座（22）的中間以及軸承安裝孔中分別卡接有互相對稱的圓錐滾子軸承（21）。

4.根據權利要求3所述的一種再生晶圓生產用切片裝置，其特征在于，兩個所述圓錐滾子軸承（21）之間轉動連接有同一根轉桶（17），且轉桶（17）的圓周外壁靠近頂端固定有限位環（2），且限位環（2）的上表面遠離支撐架（3）的一側焊接有內設空腔呈圓盤狀結構的基臺（23），基臺（23）的內部轉動連接有圓盤，且圓盤的上表面固定有鉸接板，且鉸接板中轉動連接有母管（12）。

5.根據權利要求4所述的一種再生晶圓生產用切片裝置，其特征在于，所述母管（12）遠離鉸接點的一端滑動連接有弓形延伸臂桿（11），且兩個弓形延伸臂桿（11）遠離鉸接點的一端均轉動連接有壓盤（18），母管（12）的下表面與基臺（23）的上表面之間固定有拉伸彈簧（13）。

6.根據權利要求4所述的一種再生晶圓生產用切片裝置，其特征在于，所述限位環（2）的上表面靠近圓周邊緣處開有環形沉槽，且環形沉槽的槽底卡接有限位齒環（16）。

7.根據權利要求6所述的一種再生晶圓生產用切片裝置，其特征在于，所述工作臺（1）的上表面遠離支撐架（3）的一側通過螺栓固定有L形固定板，且L形固定板的橫板端部卡接有內設空腔呈圓柱形結構的定位桶（15）。

8.根據權利要求7所述的一種再生晶圓生產用切片裝置，其特征在于，所述定位桶（15）的頂端和底端之間滑動連接有同一根頂桿（14），且頂桿（14）的圓周外壁靠近桶底固定有環形擋圈（1402），環形擋圈（1402）的頂端設置有壓縮彈簧（1403），壓縮彈簧（1403）的內壁與頂桿（14）的外壁之間留有間隙。

9.根據權利要求8所述的一種再生晶圓生產用切片裝置，其特征在于，所述頂桿（14）的底端設置有與限位齒環（16）相適配的錐形齒（1401）。