[發明專利]汽化容器和方法

在審

• 申請號: 202010345286.2
• 申請日: 2020-04-27
• 公開（公告）號: CN111846965A
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: B·C·亨德里克斯;S·L·巴特爾;D·J·埃爾德里奇;J·N·格雷格;J·托馬斯;M·F·岡薩雷斯;K·R·喬丹;B·H·奧爾森
• 申請（專利權）人: 恩特格里斯公司
• 主分類號: B65G53/02
• 分類號: B65G53/02;B65D19/38
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 顧晨昕

本申請涉及一種汽化容器和方法。一種用于所述汽化容器的托盤，其包括具有側壁、底板、延伸穿過所述底板的一或多個孔和延伸穿過所述底板且從所述底板延伸的管道的托盤。所述托盤被配置成支撐待汽化的固體試劑。一種組裝所述托盤的方法，其包括形成具有所述側壁和所述底板的第一托盤。一種汽化容器，其包括所述托盤中的一或多個。

技術領域

本公開大體上涉及利用載氣流和固體試劑來提供汽化試劑流的容器。更確切地說，本公開涉及被配置成支撐待汽化的固體試劑的結構。

背景技術

一些制造方法利用汽化材料流。舉例來說，化學氣相沉積是利用汽化材料流在表面上形成材料的固體層或膜的方法。在另一制造方法中，利用汽化材料流將材料植入至襯底中。此材料可稱為試劑。在半導體制造中，化學氣相沉積可用于在襯底上形成固體試劑的精密薄膜。汽化容器可被配置成通過用載氣流使固體試劑汽化來提供汽化試劑流。固體試劑可呈粒子(例如燒結或非燒結的顆粒)或液體形式。

發明內容

汽化容器包括外殼和位于外殼內的一或多個托盤。托盤被配置成支撐待汽化的固體試劑。載氣被提供至汽化容器且流經托盤和經過固體試劑。固體試劑在載氣沿固體試劑流動時被汽化。汽化容器產生包括汽化試劑和載氣的試劑氣體流。

公開了汽化容器、用于汽化容器的托盤和組裝用于汽化容器的托盤的方法的實施例。在一些實施例中，汽化容器包括用于支撐固體試劑的托盤。在一些實施例中，托盤提供用于支撐固體試劑的表面。在一個實施例中，汽化容器包括多個托盤。

在一個實施例中，托盤包括具有被配置成支撐固體試劑的表面的底板、側壁、延伸穿過底板的一或多個通孔和延伸穿過底板且從底板延伸的管道。管道被配置成與堆疊于第一盤上的第二托盤的管道流體連接。在一個實施例中，通孔在底板的表面上方延伸。在一個實施例中，通孔在底板的下表面下方延伸。

在一個實施例中，托盤包括沿側壁的內表面定位的一或多個接觸部件。接觸部件中的每一個包括彈性部件，其與向上延伸超出側壁的頂邊緣的固體試劑化學相容。

在一個實施例中，托盤包括從側壁向內延伸的一或多個臂。通孔延伸穿過一或多個臂。在一些實施例中，臂中的一或多個從側壁延伸至托盤的內壁。在一個實施例中，臂與底板分開形成且側壁接著緊固至托盤內。

在一個實施例中，托盤由包含鋁合金、鎳、石墨或不銹鋼的材料制成。

在一個實施例中，托盤由包含石墨或經處理石墨的材料制成。在一些實施例中，托盤包括沿側壁的內表面定位的一或多個接觸部件。接觸部件中的每一個包括向上延伸超出側壁的頂邊緣的彈性部件。

在一個實施例中，組裝托盤的方法包括形成第一托盤部分。第一托盤部分包括側壁和底板。在一個實施例中，預制臂緊固在第一托盤部分內。在另一實施例中，多個管壓入配合貫穿底板中的孔。在一個實施例中，管和底板由允許將管焊接至底板的金屬材料制成。

附圖說明

對附圖進行參考，所述附圖形成本公開的一部分，且說明可實踐本說明書中描述的汽化容器和用于汽化容器的托盤的實施例。

圖1A和1B是根據一個實施例的汽化容器的側視圖和俯視圖。

圖2是圖1A和1B中的汽化容器沿圖1B中的線F2-F2的截面視圖。

圖3是根據一個實施例的用于汽化容器的托盤的預期視圖。

圖4是圖3中的托盤沿直徑Di₂的截面視圖。

圖5A是根據另一實施例的用于汽化容器的托盤的預期視圖。

圖5B、5C和5D分別是圖5A中的彈性部件的俯視圖、截面視圖和第二截面視圖。

圖6A和6B分別是根據另一實施例的用于圖5A中的汽化托盤的彈性部件的俯視圖和截面視圖。