[發明專利]汽化容器和方法

在審

• 申請號: 202010345286.2
• 申請日: 2020-04-27
• 公開（公告）號: CN111846965A
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: B·C·亨德里克斯;S·L·巴特爾;D·J·埃爾德里奇;J·N·格雷格;J·托馬斯;M·F·岡薩雷斯;K·R·喬丹;B·H·奧爾森
• 申請（專利權）人: 恩特格里斯公司
• 主分類號: B65G53/02
• 分類號: B65G53/02;B65D19/38
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 顧晨昕

1.一種用于汽化容器的托盤，所述托盤包含：

具有被配置成支撐固體試劑的表面的底板；

側壁；

由所述底板和所述側壁界定的內部空間；

延伸穿過所述底板的一或多個通孔，所述一或多個通孔在所述底板的表面上方延伸；和

延伸穿過和遠離所述底板的中心管道；

其中所述中心管道被配置成與在第一托盤的頂部上或下方堆疊的至少一個其它托盤流體連接，以允許載氣流經所述托盤。

2.根據權利要求1所述的托盤，其進一步包含：

沿所述側壁的內表面定位的一或多個接觸部件，其中所述一或多個接觸部件中的每一個包含向上延伸超出所述側壁的頂邊緣的彈性部件。

3.根據權利要求2所述的托盤，其中所述彈性部件與所述固體試劑化學相容。

4.根據權利要求1所述的托盤，其中內壁形成所述中心管道，所述內壁界定用于密封件的凹口，且其中所述密封件由被配置成與所述載氣和所述試劑化學相容的彈性材料制成。

5.根據權利要求1所述的托盤，其中所述托盤涂布有包含石墨、鎳、不銹鋼和鋁合金中的至少一個的材料或由所述材料制成。

6.一種汽化容器，其包含：

外殼；

位于所述外殼內的第一托盤，所述第一托盤包含：底板、側壁、延伸穿過所述底板和在所述底板上方延伸的一或多個通孔、延伸穿過和遠離所述底板的第一中心管道和用于支撐待汽化的固體試劑的表面；

一或多個托盤，其各自堆疊于所述汽化容器內的所述第一托盤的頂部上或下方，所述第一托盤的所述中心管道與所述一或多個托盤流體連接以允許載氣流經所述一或多個托盤。

7.根據權利要求6所述的汽化容器，其中所述一或多個托盤包括第二托盤，所述第二托盤具有與所述第一托盤相同的配置，所述第二托盤的第二中心管道與所述第一托盤的所述第一中心管道對準且流體連接，

其中所述第二托盤經旋轉以使得所述第一托盤的所述通孔中沒有一個與所述第二托盤的對應通孔重疊。

8.根據權利要求6所述的汽化容器，其中所述一或多個托盤經旋轉以使得所述一或多個通孔中沒有一個與所述一或多個通孔中的一個的前一位置重疊，以使得所述載氣沿所述固體試劑流動。

9.根據權利要求6所述的汽化容器，其進一步包含：

密封件，其與所述第一托盤的所述第一中心管道和所述第二托盤的所述第二中心管道直接流體連接，所述第一托盤包括形成所述中心管道的內壁，且所述密封件直接接觸所述內壁和所述第二托盤。

10.根據權利要求6所述的汽化容器，其中所述密封件由被配置成與所述載氣和所述試劑化學相容的彈性材料制成。

11.根據權利要求6所述的汽化容器，其中所述第一托盤包括沿所述側壁的內表面定位的一或多個接觸部件，其中所述一或多個接觸部件中的每一個包含向上延伸超出所述側壁的頂邊緣的彈性部件。

12.根據權利要求6所述的汽化容器，其中所述汽化容器被配置成提供含有相對于汽化試劑的量等于或小于10百萬分率的金屬雜質的試劑氣體流。