[發(fā)明專利]雙層石英工藝室結構

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010344692.7
• 申請日: 2020-04-27
• 公開（公告）號: CN111394712A
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發(fā)明（設計）人: 張海林;劉國霞
• 申請（專利權）人: 青島賽瑞達電子裝備股份有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/455
• 代理公司: 青島清泰聯信知識產權代理有限公司 37256
• 代理人: 李祺

一種雙層石英工藝室結構，安裝在加熱爐體上，包括爐管，爐管包括外爐管和內爐管，外爐管的內壁與內爐管的外壁之間設有間隔空間；爐管上安裝有法蘭，第一法蘭上設置有第一通氣管；第二法蘭上安裝有第二爐蓋，第二爐蓋上設置有抽氣管，內爐管后端的端口與第二爐蓋相連，并與抽氣管相連通；第二爐蓋上設置有充氣管，充氣管的內端伸入到間隔空間中。本發(fā)明的雙層石英工藝室結構，設置有內外兩個爐管，爐管之間具有夾層空間，能夠通過充氣管通入保護氣體，使夾層空間內保護氣體的氣壓微高于作為工藝腔室的內爐管內腔的氣體壓力，防止工藝腔室內氣體進入到夾層內部，防止外爐管內壁上有工藝反應物沉積，從而避免外爐管因此發(fā)生破裂，提高其使用壽命。

技術領域

本發(fā)明屬于晶片低壓鍍膜工藝設備領域，尤其涉及一種雙層石英工藝室結構。

背景技術

光伏行業(yè)的生產中，LPCVD爐的工藝腔室主要采用單層工藝腔室，工藝腔室由石英材質制成，而石英材質與低壓鍍膜工藝領域的工藝沉積物的應力不同，且應力值相差較大，使作為工藝腔室的石英管內表面因沉積物的應力作用容易破裂，使用壽命非常短，為了人員和設備安全，必須縮短石英管的實際使用周期，對石英管進行提前更換，增加設備的運行成本。

發(fā)明內容

本發(fā)明針對上述現有設備采用的單層工藝腔室存在易破裂、壽命短且運行成本高的問題，提出一種壽命長且運行成本低的雙層石英工藝室結構。

為了達到上述目的，本發(fā)明采用的技術方案為：

一種雙層石英工藝室結構，安裝在加熱爐體上，包括爐管，所述爐管包括外爐管和內爐管，所述外爐管穿設在加熱爐體中，并套設在內爐管外；

所述外爐管的內壁與內爐管的外壁之間設有間隔空間；

所述爐管上安裝有法蘭，所述法蘭包括第一法蘭和第二法蘭，所述外爐管前端的端口和內爐管前端的端口均與第一法蘭相連，所述外爐管后端的端口與第二法蘭相連；

所述第一法蘭上安裝有第一爐蓋，所述第一法蘭上設置有第一通氣管；

所述第二法蘭上安裝有第二爐蓋，所述第二爐蓋上設置有抽氣管，所述內爐管后端的端口與第二爐蓋相連，并與抽氣管相連通；

所述第二爐蓋上設置有充氣管，所述充氣管的內端伸入到間隔空間中；

所述第一通氣管、充氣管和抽氣管上均安裝有閥門。

作為優(yōu)選，所述內爐管后端的端口上安裝有環(huán)形的端蓋，所述端蓋上連接有波紋管，所述波紋管一端與第二爐蓋固接，所述端蓋的內孔與抽氣管通過波紋管相連通。

作為優(yōu)選，所述法蘭上均設置有環(huán)槽，所述爐管的端部均位于對應的環(huán)槽中，并與環(huán)槽相配合。

作為優(yōu)選，所述外爐管的端部均套裝有密封圈和密封環(huán)，所述密封環(huán)的端面貼靠在對應的法蘭上，并通過螺栓固接，所述密封圈貼靠在外爐管的外壁上，并由密封環(huán)和法蘭夾持固定。

作為優(yōu)選，所述法蘭內設置有環(huán)形水道。

作為優(yōu)選，所述第二爐蓋上設置有第二通氣管，所述第二通氣管的內端伸入到內爐管中，所述第二通氣管上安裝有閥門。

作為優(yōu)選，所述第二通氣管軸向設置。

作為優(yōu)選，所述外爐管內的底部設置有支撐件，所述內爐管落在支撐件上。

作為優(yōu)選，所述加熱爐體的前后兩側均設置有機架，所述第一法蘭和第二法蘭均落在對應的機架上。

作為優(yōu)選，所述第一法蘭與第一爐蓋之間安裝有密封圈，所述第二法蘭與第二爐蓋之間安裝有密封圈。

與現有技術相比，本發(fā)明的優(yōu)點和積極效果在于：