[發明專利]雙層石英工藝室結構

在審

• 申請號: 202010344692.7
• 申請日: 2020-04-27
• 公開（公告）號: CN111394712A
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發明（設計）人: 張海林;劉國霞
• 申請（專利權）人: 青島賽瑞達電子裝備股份有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/455
• 代理公司: 青島清泰聯信知識產權代理有限公司 37256
• 代理人: 李祺

1.一種雙層石英工藝室結構，安裝在加熱爐體(1)上，其特征在于，包括爐管，所述爐管包括外爐管(21)和內爐管(22)，所述外爐管(21)穿設在加熱爐體(1)中，并套設在內爐管(22)外；

所述外爐管(21)的內壁與內爐管(22)的外壁之間設有間隔空間(3)；

所述爐管上安裝有法蘭，所述法蘭包括第一法蘭(41)和第二法蘭(42)，所述外爐管(21)前端的端口和內爐管(22)前端的端口均與第一法蘭(41)相連，所述外爐管(21)后端的端口與第二法蘭(42)相連；

所述第一法蘭(41)上安裝有第一爐蓋(51)，所述第一法蘭(41)上設置有第一通氣管(61)；

所述第二法蘭(42)上安裝有第二爐蓋(52)，所述第二爐蓋(52)上設置有抽氣管(63)，所述內爐管(22)后端的端口與第二爐蓋(52)相連，并與抽氣管(63)相連通；

所述第二爐蓋(42)上設置有充氣管(64)，所述充氣管(64)的內端伸入到間隔空間(3)中；

所述第一通氣管(61)、充氣管(64)和抽氣管(63)上均安裝有閥門。

2.根據權利要求1所述的雙層石英工藝室結構，其特征在于，所述內爐管(22)后端的端口上安裝有環形的端蓋(7)，所述端蓋(7)上連接有波紋管(8)，所述波紋管(8)一端與第二爐蓋(52)固接，所述端蓋(7)的內孔與抽氣管(63)通過波紋管(8)相連通。

3.根據權利要求1所述的雙層石英工藝室結構，其特征在于，所述法蘭上均設置有環槽(43)，所述爐管的端部均位于對應的環槽(43)中，并與環槽(43)相配合。

4.根據權利要求1所述的雙層石英工藝室結構，其特征在于，所述外爐管(21)的端部均套裝有密封圈(9)和密封環(10)，所述密封環(10)的端面貼靠在對應的法蘭上，并通過螺栓固接，所述密封圈(9)貼靠在外爐管(21)的外壁上，并由密封環(10)和法蘭夾持固定。

5.根據權利要求1所述的雙層石英工藝室結構，其特征在于，所述法蘭內設置有環形水道(44)。

6.根據權利要求1所述的雙層石英工藝室結構，其特征在于，所述第二爐蓋(42)上設置有第二通氣管(62)，所述第二通氣管(62)的內端伸入到內爐管(22)中，所述第二通氣管(62)上安裝有閥門。

7.根據權利要求6所述的雙層石英工藝室結構，其特征在于，所述第二通氣管(62)軸向設置。

8.根據權利要求1所述的雙層石英工藝室結構，其特征在于，所述外爐管(21)內的底部設置有支撐件(11)，所述內爐管(22)落在支撐件(11)上。

9.根據權利要求1所述的雙層石英工藝室結構，其特征在于，所述加熱爐體(1)的前后兩側均設置有機架(12)，所述第一法蘭(41)和第二法蘭(42)均落在對應的機架(12)上。

10.根據權利要求1所述的雙層石英工藝室結構，其特征在于，所述第一法蘭(41)與第一爐蓋(51)之間安裝有密封圈，所述第二法蘭(42)與第二爐蓋(52)之間安裝有密封圈。