[發明專利]掩膜板及采用該掩膜板進行蒸鍍的方法

在審

• 申請號: 202010344381.0
• 申請日: 2020-04-27
• 公開（公告）號: CN111441013A
• 公開（公告）日: 2020-07-24
• 發明（設計）人: 黎倩;曾佳
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;成都京東方光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;張博

本發明提供一種掩膜板及采用該掩膜板進行蒸鍍的方法。該掩膜板包括：掩膜板本體，包括多個間隔分布的通孔，包括主孔和與主孔連通的延伸孔，主孔用于使蒸鍍材料透過制成像素圖形，延伸孔用于使蒸鍍材料透過制成像素圖形的連接圖形；沿預設方向排列的相鄰兩個通孔，與待蒸鍍基板需要制成的沿預設方向排列的相間隔的兩個像素圖形一一對應；掩膜板本體上，沿預設方向排列的相鄰兩個通孔之間的最小間隔距離，大于或等于像素圖形在預設方向上的尺寸，小于或等于通孔在所述預設方向上的最大尺寸。采用該一個掩膜板可以制作待蒸鍍基板上的像素圖形和像素圖形的連接圖形，能夠解決現有技術掩膜板進行圖形化的材料蒸鍍，存在工藝復雜和蒸鍍機時浪費的問題。

技術領域

本發明涉及顯示面板制造技術領域，尤其是指一種掩膜板及采用該掩膜板進行蒸鍍的方法。

背景技術

有機電致發光顯示(Organic Light-Emitting Diode，簡稱OLED)作為一種新型的顯示技術，由于具有主動發光、發光亮度高、寬視角、響應速度快、低能耗以及可柔性化等特點，受到了越來越多的關注，成為可能取代液晶顯示的下一代顯示技術。

另外，利用OLED顯示技術的特點，OLED顯示面板還能夠滿足透明顯示的要求。通常OLED顯示面板包括陽極、陰極和設置于陽極與陰極之間的發光功能層。對于透明顯示來說，穿透率是一項重要的參數。而制成陰極的材料透過率在50％～60％，會大大降低透明顯示面板的穿透率，為了提高穿透率，一般會采用圖形化陰極的方式，陰極材料僅在顯示區域留存，透明區域陰極材料去除。

在制成圖形化陰極的基礎上，圖形化陰極還需要通過邊緣區域和Vss走線搭接，實現電流的流通，因此圖形化陰極除了需要布置在顯示區域外，還需要對應的搭接橋，來保證電路接通。現有技術制作圖形化的陰極，為保證掩膜板的制作強度，在進行掩膜板張網固定時不會產生變形，針對圖形化的陰極制備通常需要2張掩膜板，并通過兩次的蒸鍍過程，存在工藝復雜和蒸鍍機時浪費的問題。

發明內容

本發明技術方案的目的是提供一種掩膜板及采用該掩膜板進行蒸鍍的方法，解決采用現有技術掩膜板進行圖形化的材料蒸鍍，存在工藝復雜和蒸鍍機時浪費的問題。

本發明實施例提供一種掩膜板，其中，包括：

掩膜板本體，包括多個間隔分布的通孔，包括主孔和與所述主孔連通且平行于預設方向的延伸孔，所述主孔用于使蒸鍍材料透過以制成待蒸鍍基板上的像素圖形，所述延伸孔用于使蒸鍍材料透過以制成所述像素圖形的連接圖形，所述連接圖形與所述像素圖形連接；

其中，沿所述預設方向排列的相鄰兩個所述通孔，與所述待蒸鍍基板需要制成的沿所述預設方向排列的相間隔的兩個像素圖形一一對應；

所述掩膜板本體上，沿所述預設方向排列的相鄰兩個所述通孔之間的最小間隔距離，大于或等于所述像素圖形在所述預設方向上的尺寸，且小于或等于所述通孔在所述預設方向上的最大尺寸。

可選地，所述的掩膜板，其中，每一所述延伸孔相較于所連通的所述主孔向所述預設方向凸出。

可選地，所述的掩膜板，其中，所述延伸孔沿所述預設方向上的尺寸，大于或等于所述待蒸鍍基板上沿所述預設方向上相鄰的兩個像素圖形之間的間隔距離。

可選地，所述的掩膜板，其中，所述延伸孔包括第一延伸孔和第二延伸孔，其中所述第一延伸孔相較于所連通的所述主孔向所述預設方向凸出，所述第二延伸孔相較于所連通的所述主孔向所述預設方向的相反方向凸出。

可選地，所述的掩膜板，其中，所述第一延伸孔和所述第二延伸孔沿所述預設方向上的尺寸，均小于或等于所述待蒸鍍基板上沿所述預設方向上相鄰的兩個像素圖形之間的間隔距離。

可選地，所述的掩膜板，其中，所述第一延伸孔的沿所述預設方向上的尺寸，等于所述第二延伸孔的沿所述預設方向上的尺寸。