[發明專利]利用棱鏡的激光束均化器及包括其的激光熱處理裝置

在審

• 申請號: 202010323975.3
• 申請日: 2020-04-22
• 公開（公告）號: CN112305771A
• 公開（公告）日: 2021-02-02
• 發明（設計）人: 埃米爾·阿斯拉諾夫;樸喆鎬;亞歷山大·沃羅諾夫;韓圭完
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: G02B27/09
• 分類號: G02B27/09
• 代理公司: 北京鉦霖知識產權代理有限公司 11722
• 代理人: 李英艷;玉昌峰

公開了利用棱鏡的激光束均化器及包括其的激光熱處理裝置，激光束均化器包括對輸入的激光束的行進方向進行變更的棱鏡。所述棱鏡包括：分離面，將輸入的所述激光束分離成向與所述激光束的行進方向垂直的方向行進的反射成分和向所述棱鏡內部進入的折射成分；以及至少兩個以上的內部反射面，在內部反射所述折射成分。所述激光束均化器輸出包括第一成分和第二成分的激光束，所述第一成分定義為所述反射成分，所述第二成分在所述內部反射面反射后通過所述分離面放射并跟隨所述第一成分的路徑，所述第二成分具有與所述第一成分的強度模式相比針對第一軸翻轉的強度模式。

技術領域

本公開涉及一種激光束均化器，更詳細地，涉及一種利用棱鏡的激光束均化器及包括其的激光熱處理裝置。

背景技術

一般而言，液晶顯示裝置、有機發光顯示裝置等之類的顯示裝置的像素陣列通過薄膜晶體管驅動。例如，所述薄膜晶體管的溝道可以包括多晶硅。

多晶硅可以通過對非晶硅進行利用激光等的熱處理來得到，為了得到高品質的多晶硅薄膜，照射的激光的均勻度重要。

為了提高激光的均勻度并形成線圖像，使用激光束均化器，并且正在開發用于對散斑(speckle)等之類的干涉效果引起的高頻噪音進行過濾的技術。

發明內容

本公開的一目的在于提供一種改善激光束的均勻度并能夠過濾高階特殊頻率噪音的激光束均化器。

本公開的其它目的在于提供一種包括所述激光束均化器的激光熱處理裝置。

為了達到前述的本公開的目的，根據本公開的例示性實施例的激光束均化器包括對輸入的激光束的行進方向進行變更的棱鏡。所述棱鏡包括：分離面，將輸入的所述激光束分離成向與所述激光束的行進方向垂直的方向行進的反射成分和向所述棱鏡內部進入的折射成分；以及至少兩個以上的內部反射面，在內部反射所述折射成分。所述激光束均化器輸出包括第一成分和第二成分的激光束，所述第一成分定義為所述反射成分，所述第二成分在所述內部反射面反射后通過所述分離面放射并跟隨所述第一成分的路徑，所述第二成分具有與所述第一成分的強度模式相比針對第一軸翻轉的強度模式。

根據一實施例，所述折射成分包括P偏振光成分，所述反射成分包括S偏振光成分。

根據一實施例，所述折射成分包括S偏振光成分，所述反射成分包括P偏振光成分。

根據一實施例，輸出的所述激光束具有與輸入的所述激光束相同的大小、發散及激光束質量因子。

根據一實施例，在所述棱鏡中，所述分離面和第一內部反射面的夾角Ω₁、所述第一內部反射面和第二內部反射面的夾角Ω₂及所述第二內部反射面和所述分離面的夾角Ω₃基于下面的式1至式4，

[式1]

Ω₁＝β+θ

Ω₂＝θ+ξ

Ω₃＝β+ξ

[式2]

[式3]

[式4]