[發明專利]利用棱鏡的激光束均化器及包括其的激光熱處理裝置

在審

• 申請號: 202010323975.3
• 申請日: 2020-04-22
• 公開（公告）號: CN112305771A
• 公開（公告）日: 2021-02-02
• 發明（設計）人: 埃米爾·阿斯拉諾夫;樸喆鎬;亞歷山大·沃羅諾夫;韓圭完
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號: G02B27/09
• 分類號: G02B27/09
• 代理公司: 北京鉦霖知識產權代理有限公司 11722
• 代理人: 李英艷;玉昌峰

1.一種激光束均化器，其特征在于，包括對輸入的激光束的行進方向進行變更的棱鏡，

所述棱鏡包括：

分離面，將輸入的所述激光束分離成向與所述激光束的行進方向垂直的方向行進的反射成分和向所述棱鏡內部進入的折射成分；以及

兩個以上的內部反射面，在內部反射所述折射成分，

所述激光束均化器輸出包括第一成分和第二成分的激光束，所述第一成分定義為所述反射成分，所述第二成分在所述內部反射面反射后通過所述分離面放射并跟隨所述第一成分的路徑，所述第二成分具有與所述第一成分的強度模式相比針對第一軸翻轉的強度模式。

2.根據權利要求1所述的激光束均化器，其特征在于，

所述折射成分包括P偏振光成分，所述反射成分包括S偏振光成分。

3.根據權利要求1所述的激光束均化器，其特征在于，

所述折射成分包括S偏振光成分，所述反射成分包括P偏振光成分。

4.根據權利要求1所述的激光束均化器，其特征在于，

輸出的所述激光束具有與輸入的所述激光束相同的大小、發散及激光束質量因子。

5.根據權利要求1所述的激光束均化器，其特征在于，

在所述棱鏡中，所述分離面和第一內部反射面的夾角Ω₁、所述第一內部反射面和第二內部反射面的夾角Ω₂及所述第二內部反射面和所述分離面的夾角Ω₃基于下面的式1至式4，

[式1]

Ω₁＝β+θ

Ω₂＝θ+ξ

Ω₃＝β+ξ

[式2]

[式3]

[式4]

在式2中，n是棱鏡的折射率，在式4中，va是在所述分離面與所述第一內部反射面之間主光線移動的距離，vb是在所述分離面與所述第二內部反射面之間主光線移動的距離。

6.根據權利要求5所述的激光束均化器，其特征在于，

所述激光束對所述分離面的入射角是45度。

7.根據權利要求1所述的激光束均化器，其特征在于，

所述棱鏡還包括結合于所述分離面并具有金屬氧化物的多層結構的鍍層。

8.根據權利要求7所述的激光束均化器，其特征在于，

所述鍍層具有33％至34％的反射率。

9.根據權利要求1所述的激光束均化器，其特征在于，

所述棱鏡包括：

第一棱鏡，輸出包括所述第一成分和所述第二成分的第一輸出激光束；以及

第二棱鏡，具有與所述第一棱鏡的延伸軸垂直的延伸軸，并將所述第一輸出激光束轉換為第二輸出激光束。

10.根據權利要求9所述的激光束均化器，其特征在于，

所述第二棱鏡將所述第一輸出激光束的所述第一成分和所述第二成分反射及折射而生成第三成分和第四成分，所述第三成分具有與所述第一成分的強度模式相比針對與所述第一軸垂直的第二軸翻轉的強度模式，所述第四成分具有與所述第二成分的強度模式相比針對所述第二軸翻轉的強度模式。