[發(fā)明專(zhuān)利]一種用于晶體生長(zhǎng)的防遮擋測(cè)溫裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202010317440.5 | 申請(qǐng)日： | 2020-04-21 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN111379019A | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-07-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 不公告發(fā)明人 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 哈爾濱科友半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C30B23/00 | 分類(lèi)號(hào)： | C30B23/00;C30B29/36;C30B29/40;G01J5/02 |
| 代理公司： | 哈爾濱市偉晨專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 韓立巖 |
| 地址： | 150000 黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)*** | 國(guó)省代碼： | 黑龍江;23 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 晶體生長(zhǎng) 遮擋 測(cè)溫 裝置 | ||
1.一種用于晶體生長(zhǎng)的防遮擋測(cè)溫裝置，其特征在于：包括坩堝(1)、坩堝蓋(2)、導(dǎo)向筒(3)、測(cè)溫法蘭(4)、和反光鏡(12)；
所述坩堝(1)上設(shè)有坩堝蓋(2)，測(cè)溫法蘭(4)通過(guò)導(dǎo)向筒(3)與坩堝(1)內(nèi)部連通，測(cè)溫法蘭(4)內(nèi)設(shè)有測(cè)溫通路(8)，測(cè)溫通路(8)頂部設(shè)有反光鏡(12)，反光鏡(12)呈45°傾斜設(shè)置，且與反光鏡(12)相對(duì)的水平方向上設(shè)有測(cè)溫孔(13)，測(cè)溫通路(8)的兩側(cè)分別通過(guò)進(jìn)氣導(dǎo)向通路(7)和出氣導(dǎo)向通路(10)與進(jìn)氣通路(6)和出氣通路(9)相連通，進(jìn)氣通路(6)和出氣通路(9)分別與測(cè)溫法蘭(4)兩側(cè)的進(jìn)氣口(5)和出氣口(11)相連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶體生長(zhǎng)的防遮擋測(cè)溫裝置，其特征在于：所述進(jìn)氣導(dǎo)向通路(7)呈45°傾斜設(shè)置，且軸線與反光鏡(12)的鏡面垂直。
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