[發明專利]交易請求的處理方法及半導體生產系統

有效

• 申請號: 202010317228.9
• 申請日: 2020-04-21
• 公開（公告）號: CN113535413B
• 公開（公告）日: 2023-10-17
• 發明（設計）人: 黎煥誠
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G06F9/52
• 分類號: G06F9/52;G06Q10/02;G06Q40/04;G06Q50/04;H01L21/67
• 代理公司: 華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 潘朱慧

本發明公開了一種交易請求的處理方法，其包括：通過代理模塊完成制造執行系統與機臺控制系統之間的信息交換；所述信息交換包括，所述機臺控制系統將第一交易請求發送給所述代理模塊，所述代理模塊再將所述第一交易請求發送給所述制造執行系統。其優點是：通過設置代理模塊，透過代理模塊替代機臺控制模塊發送第一交易請求，避免了機臺控制系統在接收第一交易請求時被鎖定的情況，從而有效地提高制造執行系統向機臺控制系統發送的第二交易請求時的預約成功率，進而提升生產效率。

技術領域

本發明涉及半導體生產系統技術領域，具體涉及交易請求的處理方法及半導體生產系統。

背景技術

如圖1所示，為減輕人力的負擔、提升操作的質量以及降低制造成本，半導體領域(Semiconductor)一般會用到制造執行系統1’(Manufacturing Execution System，MES)與機臺控制系統2’(Tool Control System，TCS)來提高工作效率。

但當制造執行系統1’與機臺控制系統2’同時發送交易請求時，將由機臺控制系統2’拒絕制造執行系統1’的請求以保證安全運行避免死鎖，因此經常會導致制造執行系統1’預約失敗；根據日常數據統計，正常生產中，半導體廠一天內產生上述預約失敗的次數可高達成百上千次，由此可見，上述問題對生產效率造成了比較大的影響。

發明內容

基于此，有必要針對上述的當機臺控制系統與制造執行系統雙邊同時發送交易請求時，機臺控制系統的主進程與制造執行系統的機臺物件同時被鎖定，系統程序默認執行機臺控制系統拒絕制造執行系統的交易請求，降低制造執行系統預約成功率的問題，提供一種交易請求的處理方法及半導體生產系統，可以有效提高制造執行系統的交易請求預約成功率。

為實現上述目的，本發明提供一種交易請求的處理方法，其特征是，包括：

通過代理模塊完成制造執行系統與機臺控制系統之間的信息交換；

所述信息交換包括，所述機臺控制系統將第一交易請求發送給所述代理模塊，所述代理模塊再將所述第一交易請求發送給所述制造執行系統。

上述的交易請求的處理方法，其中：

所述信息交換還包括，所述制造執行系統接收并執行第一交易請求后，將對應的第一反饋結果發送給所述代理模塊，所述代理模塊再將所述第一反饋結果發送給所述機臺控制系統。

上述的交易請求的處理方法，其中：

在所述機臺控制系統發送出所述第一交易請求之后，且在所述機臺控制系統接收到所述第一反饋結果之前，所述機臺控制系統能夠接收由所述制造執行系統發送的第二交易請求。

上述的交易請求的處理方法，其中：

當所述機臺控制系統接收到來自所述制造執行系統發送的第二交易請求時響應并執行所述第二交易請求，再將對應的第二反饋結果發送給所述制造執行系統。

上述的交易請求的處理方法，其中：

所述代理模塊對所述第一交易請求進行第一信息格式轉換以后發送給所述制造執行系統；

所述代理模塊對所述第一反饋結果進行第二信息格式轉換以后發送給所述機臺控制系統。

上述的交易請求的處理方法，其中：

所述第一信息格式轉換包括由Postman協議到Web Service協議的格式轉換；

所述第二信息格式轉換包括由Web Service協議到Postman協議的格式轉換。

一種半導體生產系統，其特征是，包括制造執行系統、機臺控制系統以及代理模塊，其中：