[發明專利]交易請求的處理方法及半導體生產系統

有效

• 申請號: 202010317228.9
• 申請日: 2020-04-21
• 公開（公告）號: CN113535413B
• 公開（公告）日: 2023-10-17
• 發明（設計）人: 黎煥誠
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G06F9/52
• 分類號: G06F9/52;G06Q10/02;G06Q40/04;G06Q50/04;H01L21/67
• 代理公司: 華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 潘朱慧

1.一種交易請求的處理方法，其特征在于，包括：

通過代理模塊完成制造執行系統與機臺控制系統之間的信息交換；

所述信息交換包括，所述機臺控制系統將第一交易請求發送給所述代理模塊，所述代理模塊再將所述第一交易請求發送給所述制造執行系統。

2.如權利要求1所述的交易請求的處理方法，其特征在于：

所述信息交換還包括，所述制造執行系統接收并執行第一交易請求后，將對應的第一反饋結果發送給所述代理模塊，所述代理模塊再將所述第一反饋結果發送給所述機臺控制系統。

3.如權利要求2所述的交易請求的處理方法，其特征在于：

在所述機臺控制系統發送出所述第一交易請求之后，且在所述機臺控制系統接收到所述第一反饋結果之前，所述機臺控制系統能夠接收由所述制造執行系統發送的第二交易請求。

4.如權利要求3所述的交易請求的處理方法，其特征在于：

當所述機臺控制系統接收到來自所述制造執行系統發送的第二交易請求時響應并執行所述第二交易請求，再將對應的第二反饋結果發送給所述制造執行系統。

5.如權利要求2所述的交易請求的處理方法，其特征在于：

所述代理模塊對所述第一交易請求進行第一信息格式轉換以后發送給所述制造執行系統；

所述代理模塊對所述第一反饋結果進行第二信息格式轉換以后發送給所述機臺控制系統。

6.如權利要求5所述的交易請求的處理方法，其特征在于：

所述第一信息格式轉換包括由Postman協議到Web Service協議的格式轉換；

所述第二信息格式轉換包括由Web Service協議到Postman協議的格式轉換。

7.一種半導體生產系統，其特征在于，包括制造執行系統、機臺控制系統以及代理模塊，其中：

所述代理模塊分別通信連接所述制造執行系統以及機臺控制系統，用于完成所述制造執行系統與所述機臺控制系統之間的信息交換；

所述代理模塊用于接收所述機臺控制系統發送出的第一交易請求再發送給所述制造執行系統，以及接收所述制造執行系統發出的與所述第一交易請求對應的第一反饋結果再發送給所述機臺控制系統。

8.如權利要求7所述的半導體生產系統，其特征在于：

所述機臺控制系統連接所述制造執行系統，在所述機臺控制系統發送出所述第一交易請求之后，且在所述機臺控制系統接收到所述第一反饋結果之前，所述機臺控制系統能夠接收由所述制造執行系統發送的第二交易請求；

當所述機臺控制系統接收到所述第二交易請求時對所述第二交易請求進行響應并執行，再將對應的第二反饋結果發送給所述制造執行系統。

9.如權利要求7所述的半導體生產系統，其特征在于，所述代理模塊包括：

第一接收單元，其輸入端連接所述機臺控制系統，用于接收所述機臺控制系統發出的第一交易請求；

第一轉換處理單元，其輸入端連接所述第一接收單元的輸出端，用于將所述第一交易請求進行第一信息格式轉換；

第一發送單元，其輸入端連接所述第一轉換處理單元的輸出端，其輸出端連接所述制造執行系統，用于將進行第一信息格式轉換后的所述第一交易請求發送給所述制造執行系統。

10.如權利要求9所述的半導體生產系統，其特征在于，所述代理模塊還包括：

第二接收單元，其輸入端連接所述制造執行系統，用于接收所述制造執行系統的第一反饋結果；

第二轉換處理單元，其輸入端連接所述第二接收單元的輸出端，用于將所述第一反饋結果進行第二信息格式轉換；

第二發送單元，其輸入端連接所述第二轉換處理單元的輸出端，其輸出端連接所述機臺控制系統，用于將進行第二信息格式轉換后的所述第一反饋結果發送給所述機臺控制系統。