[發(fā)明專利]交易請求的處理方法及半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010317228.9 | 申請日： | 2020-04-21 |
| 公開（公告）號： | CN113535413B | 公開（公告）日： | 2023-10-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 黎煥誠 | 申請（專利權(quán)）人： | 長鑫存儲技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | G06F9/52 | 分類號： | G06F9/52;G06Q10/02;G06Q40/04;G06Q50/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224 | 代理人： | 潘朱慧 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 交易 請求 處理 方法 半導(dǎo)體 生產(chǎn) 系統(tǒng) | ||
1.一種交易請求的處理方法，其特征在于，包括：
通過代理模塊完成制造執(zhí)行系統(tǒng)與機(jī)臺控制系統(tǒng)之間的信息交換；
所述信息交換包括，所述機(jī)臺控制系統(tǒng)將第一交易請求發(fā)送給所述代理模塊，所述代理模塊再將所述第一交易請求發(fā)送給所述制造執(zhí)行系統(tǒng)。
2.如權(quán)利要求1所述的交易請求的處理方法，其特征在于：
所述信息交換還包括，所述制造執(zhí)行系統(tǒng)接收并執(zhí)行第一交易請求后，將對應(yīng)的第一反饋結(jié)果發(fā)送給所述代理模塊，所述代理模塊再將所述第一反饋結(jié)果發(fā)送給所述機(jī)臺控制系統(tǒng)。
3.如權(quán)利要求2所述的交易請求的處理方法，其特征在于：
在所述機(jī)臺控制系統(tǒng)發(fā)送出所述第一交易請求之后，且在所述機(jī)臺控制系統(tǒng)接收到所述第一反饋結(jié)果之前，所述機(jī)臺控制系統(tǒng)能夠接收由所述制造執(zhí)行系統(tǒng)發(fā)送的第二交易請求。
4.如權(quán)利要求3所述的交易請求的處理方法，其特征在于：
當(dāng)所述機(jī)臺控制系統(tǒng)接收到來自所述制造執(zhí)行系統(tǒng)發(fā)送的第二交易請求時響應(yīng)并執(zhí)行所述第二交易請求，再將對應(yīng)的第二反饋結(jié)果發(fā)送給所述制造執(zhí)行系統(tǒng)。
5.如權(quán)利要求2所述的交易請求的處理方法，其特征在于：
所述代理模塊對所述第一交易請求進(jìn)行第一信息格式轉(zhuǎn)換以后發(fā)送給所述制造執(zhí)行系統(tǒng)；
所述代理模塊對所述第一反饋結(jié)果進(jìn)行第二信息格式轉(zhuǎn)換以后發(fā)送給所述機(jī)臺控制系統(tǒng)。
6.如權(quán)利要求5所述的交易請求的處理方法，其特征在于：
所述第一信息格式轉(zhuǎn)換包括由Postman協(xié)議到Web Service協(xié)議的格式轉(zhuǎn)換；
所述第二信息格式轉(zhuǎn)換包括由Web Service協(xié)議到Postman協(xié)議的格式轉(zhuǎn)換。
7.一種半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于，包括制造執(zhí)行系統(tǒng)、機(jī)臺控制系統(tǒng)以及代理模塊，其中：
所述代理模塊分別通信連接所述制造執(zhí)行系統(tǒng)以及機(jī)臺控制系統(tǒng)，用于完成所述制造執(zhí)行系統(tǒng)與所述機(jī)臺控制系統(tǒng)之間的信息交換；
所述代理模塊用于接收所述機(jī)臺控制系統(tǒng)發(fā)送出的第一交易請求再發(fā)送給所述制造執(zhí)行系統(tǒng)，以及接收所述制造執(zhí)行系統(tǒng)發(fā)出的與所述第一交易請求對應(yīng)的第一反饋結(jié)果再發(fā)送給所述機(jī)臺控制系統(tǒng)。
8.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于：
所述機(jī)臺控制系統(tǒng)連接所述制造執(zhí)行系統(tǒng)，在所述機(jī)臺控制系統(tǒng)發(fā)送出所述第一交易請求之后，且在所述機(jī)臺控制系統(tǒng)接收到所述第一反饋結(jié)果之前，所述機(jī)臺控制系統(tǒng)能夠接收由所述制造執(zhí)行系統(tǒng)發(fā)送的第二交易請求；
當(dāng)所述機(jī)臺控制系統(tǒng)接收到所述第二交易請求時對所述第二交易請求進(jìn)行響應(yīng)并執(zhí)行，再將對應(yīng)的第二反饋結(jié)果發(fā)送給所述制造執(zhí)行系統(tǒng)。
9.如權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于，所述代理模塊包括：
第一接收單元，其輸入端連接所述機(jī)臺控制系統(tǒng)，用于接收所述機(jī)臺控制系統(tǒng)發(fā)出的第一交易請求；
第一轉(zhuǎn)換處理單元，其輸入端連接所述第一接收單元的輸出端，用于將所述第一交易請求進(jìn)行第一信息格式轉(zhuǎn)換；
第一發(fā)送單元，其輸入端連接所述第一轉(zhuǎn)換處理單元的輸出端，其輸出端連接所述制造執(zhí)行系統(tǒng)，用于將進(jìn)行第一信息格式轉(zhuǎn)換后的所述第一交易請求發(fā)送給所述制造執(zhí)行系統(tǒng)。
10.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于，所述代理模塊還包括：
第二接收單元，其輸入端連接所述制造執(zhí)行系統(tǒng)，用于接收所述制造執(zhí)行系統(tǒng)的第一反饋結(jié)果；
第二轉(zhuǎn)換處理單元，其輸入端連接所述第二接收單元的輸出端，用于將所述第一反饋結(jié)果進(jìn)行第二信息格式轉(zhuǎn)換；
第二發(fā)送單元，其輸入端連接所述第二轉(zhuǎn)換處理單元的輸出端，其輸出端連接所述機(jī)臺控制系統(tǒng)，用于將進(jìn)行第二信息格式轉(zhuǎn)換后的所述第一反饋結(jié)果發(fā)送給所述機(jī)臺控制系統(tǒng)。
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