[發(fā)明專利]激光干涉測量系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010316331.1
• 申請日: 2020-04-21
• 公開（公告）號(hào): CN111351511A
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張少林;張萬禎;周秋玲;劉團(tuán)結(jié)
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市威富視界有限公司
• 主分類號(hào): G01D5/26
• 分類號(hào): G01D5/26
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 汪潔麗

1.一種激光干涉測量系統(tǒng)，其特征在于，包括：

激光干涉裝置，所述激光干涉裝置包括網(wǎng)絡(luò)攝像機(jī)，所述網(wǎng)絡(luò)攝像機(jī)用于采集干涉條紋圖像；

數(shù)據(jù)處理終端，與所述網(wǎng)絡(luò)攝像機(jī)通過網(wǎng)絡(luò)通信連接，用于根據(jù)所述干涉條紋圖像得到測量結(jié)果。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光干涉測量系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)處理終端與所述網(wǎng)絡(luò)攝像機(jī)無線通信連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光干涉測量系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)處理終端為云服務(wù)終端。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光干涉測量系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)處理終端包括：

圖像接收模塊，與所述網(wǎng)絡(luò)攝像機(jī)通過網(wǎng)絡(luò)通信連接，用于接收所述干涉條紋圖像；

處理模塊，與所述圖像接收模塊通信連接，用于對所述干涉條紋圖像進(jìn)行處理得到所述測量結(jié)果。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的激光干涉測量系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)處理終端還包括：

反饋模塊，與所述處理模塊通信連接，用于將所述測量結(jié)果與預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行對比，確定所述測量結(jié)果是否符合要求。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的激光干涉測量系統(tǒng)，其特征在于，所述激光干涉裝置包括：

激光源，用于產(chǎn)生測量光束；

干涉儀，所述干涉儀包括所述網(wǎng)絡(luò)攝像機(jī)，所述干涉儀設(shè)置于所述測量光束的光路上，所述測量光束經(jīng)過所述干涉儀照射至被測物體，并經(jīng)所述被測物體反射后入射至所述干涉儀，形成干涉條紋。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的激光干涉測量系統(tǒng)，其特征在于，所述激光源和所述干涉儀的數(shù)量均為多個(gè)，每個(gè)所述激光源對應(yīng)向一個(gè)所述干涉儀發(fā)射所述測量光束。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的激光干涉測量系統(tǒng)，其特征在于，所述干涉儀的數(shù)量為多個(gè)，所述激光源的數(shù)量少于所述干涉儀的數(shù)量，所述激光干涉裝置還包括：

分光單元，設(shè)置于所述測量光束的光路上，所述測量光束經(jīng)過所述分光單元分為多路測量光束，所述多路測量光束分別入射至多個(gè)所述干涉儀。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的激光干涉測量系統(tǒng)，其特征在于，所述干涉儀還包括：

分光鏡，設(shè)置于所述測量光束的光路上，用于將所述測量分光束分為垂直的子測量光和子參考光；

第一反射鏡，設(shè)置于所述子參考光的光路上，用于將所述子參考光反射回至所述分光鏡；

所述子測量光照射至所述被測物體，被所述被測物體反射至所述分光鏡，與經(jīng)所述第一反射鏡反射的所述子參考光混合，得到混合光；

第二反射鏡，設(shè)置于所述混合光的光路上；

光柵，所述混合光被所述第二反射鏡反射至所述光柵，所述光柵用于將所述混合光散開，得到所述干涉條紋。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的激光干涉測量系統(tǒng)，其特征在于，所述干涉儀還包括：

柱面鏡，用于對所述干涉條紋進(jìn)行準(zhǔn)直處理。