[發(fā)明專利]一種芯片壓蓋治具及其工藝方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010311691.2
• 申請日: 2020-04-20
• 公開（公告）號: CN111415891A
• 公開（公告）日: 2020-07-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐堃;丹尼羅;沈國強;薛文華
• 申請（專利權(quán)）人: 星科金朋半導(dǎo)體（江陰）有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/50;H01L21/56
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 32200
• 代理人: 趙華

本發(fā)明公開了一種芯片壓蓋治具及其工藝方法，屬于半導(dǎo)體治具技術(shù)領(lǐng)域。其由下而上依次包括載具（10）、漏字板（20）和壓字板（30），所述載具（10）和漏字板（20）之間設(shè)置基板（40），其芯片貼片區(qū)域朝上，所述載具（10）上設(shè)有若干個載具固定件Ⅰ（11）、若干個載具固定件Ⅱ（12）、若干個導(dǎo)正銷（13）、若干個定位長針（16）和若干個真空孔陣列（18），所述漏字板（20）上設(shè)有若干個漏字板固定件Ⅰ（21）、若干個漏字板固定件Ⅱ（22）、若干個定位孔（26）、若干個盲孔（23）和漏字孔陣列，所述壓字板（30）上設(shè)有若干個壓字板固定件Ⅰ（31）、若干個壓字板固定件Ⅱ（32）、若干個定位孔（36）和凸塊陣列。本發(fā)明能控制芯片粘貼高度一致。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種芯片壓蓋治具及其工藝方法，屬于半導(dǎo)體治具技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體集成電路制程中，需要將芯片粘貼到基板或引線框架上的貼片處，并需要控制芯片和膠水的總高。受膠水的稠度、溫度等不確定因素會影響芯片和膠水的總高，導(dǎo)致芯片與膠水總高不一致，不能精準(zhǔn)控制粘貼高度，尤其是一些非常規(guī)類型的芯片，表面紋路無規(guī)則，機器更無法判斷，降低了產(chǎn)品的良率。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種能控制芯片粘貼高度一致的芯片壓蓋治具及其工藝方法。

本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的：

本發(fā)明一種芯片壓蓋治具，其由下而上依次包括載具、漏字板和壓字板，所述載具和漏字板之間設(shè)置基板，所述基板的芯片貼片區(qū)域朝上，所述載具、漏字板和壓字板的形狀與基板的形狀一致；

所述載具上設(shè)有若干個載具固定件Ⅰ、若干個載具固定件Ⅱ、若干個導(dǎo)正銷、若干個定位長針和若干個真空孔陣列，所述載具固定件Ⅰ和載具固定件Ⅱ分別均勻設(shè)置于載具的上沿和下沿，固定其上方的漏字板，所述定位長針分別設(shè)置于相鄰載具固定件Ⅰ之間、相鄰載具固定件Ⅱ之間，定位其上方的漏字板和壓字板，所述真空孔陣列設(shè)置于載具的內(nèi)圍，與基板的陣列對應(yīng)，所述導(dǎo)正銷設(shè)置于每一真空孔陣列的對角線上，定位基板；

所述漏字板上設(shè)有若干個漏字板固定件Ⅰ、若干個漏字板固定件Ⅱ、若干個定位孔、若干個盲孔和漏字孔陣列，所述漏字板的背面上下兩側(cè)各設(shè)有外臺階和內(nèi)臺階，并形成容納基板的容納區(qū)間，所述漏字板固定件Ⅰ、漏字板固定件Ⅱ分別均勻設(shè)置于漏字板的外臺階，所述定位孔設(shè)置于漏字板的外臺階上，與載具上的定位長針位置對應(yīng)，所述盲孔設(shè)置于漏字板的內(nèi)臺階上，與載具上的導(dǎo)正銷位置對應(yīng)，并與導(dǎo)正銷配對使用；

所述漏字孔陣列設(shè)置于漏字板的內(nèi)圍，每個漏字孔陣列內(nèi)的漏字孔也按陣列排布，與基板的芯片貼片區(qū)域?qū)?yīng)，所述漏字孔的尺寸大于芯片的尺寸且小于基板上的芯片貼片區(qū)域；

所述壓字板上設(shè)有若干個壓字板固定件Ⅰ、若干個壓字板固定件Ⅱ、若干個定位孔和凸塊陣列，所述壓字板固定件Ⅰ、壓字板固定件Ⅱ分別均勻設(shè)置于壓字板的上沿和下沿，所述定位孔分布于壓字板的對角線上，與載具上的定位長針位置對應(yīng)，所述凸塊陣列設(shè)置于壓字板的背面，每個凸塊陣列內(nèi)的凸塊也按陣列排布，所有凸塊的厚度一致，且與漏字板的漏字孔的分布對應(yīng)，其尺寸小于漏字孔的口徑大小。

可選地，所述載具固定件Ⅰ包括但不限于磁鐵塊、卡扣，載具固定件Ⅱ包括但不限于磁鐵塊、卡扣，所述載具固定件Ⅰ與載具固定件Ⅱ?qū)ΨQ設(shè)置。

可選地，所述漏字板固定件Ⅰ包括但不限于磁鐵塊，漏字板固定件Ⅱ包括但不限于磁鐵塊，漏字板固定件Ⅰ與漏字板固定件Ⅱ?qū)ΨQ設(shè)置。

可選地，所述定位長針設(shè)置于載具對角線兩端。

可選地，所述漏字板的漏字板固定件Ⅰ和漏字板固定件Ⅱ與載具的載具固定件Ⅰ和載具固定件Ⅱ?qū)?yīng)。

可選地，所述凸塊的橫截面呈圓形、矩形或多邊形。