[發明專利]用于感測壓力的方法

有效

• 申請號: 202010300625.5
• 申請日: 2015-03-24
• 公開（公告）號: CN111397793B
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發明（設計）人: R.瓦德
• 申請（專利權）人: 霍尼韋爾國際公司
• 主分類號: G01L9/06
• 分類號: G01L9/06;G01L9/00;G01L13/06;G01L19/06
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 代易寧;陳浩然

1.一種用于感測壓力的方法，所述方法包括：

在具有傳感隔膜的傳感模處接收輸入壓力；

響應于所述輸入壓力撓曲所述傳感隔膜；

當所述傳感隔膜撓曲預定量時使所述傳感隔膜與隔膜止擋部的隔膜止擋部表面接合；

響應于傳感隔膜與隔膜止擋部的接合，限制所述傳感隔膜的撓曲，

其中所述隔膜止擋部表面具有包括朝向傳感隔膜延伸的多個限定的突出部的形貌，并且

其中所述形貌被配置來減小所述隔膜止擋部表面與所述傳感隔膜之間相對于光滑隔膜止擋部表面的靜摩擦。

2.根據權利要求1所述的方法，其中所述多個限定的突出部中的每一個延伸到一高度，且其中定位更接近于所述隔膜止擋部表面的周界的所述多個限定的突出部中至少一些延伸到的高度小于定位更接近于所述隔膜止擋部表面的中心的所述多個限定的突出部中至少一個延伸到的高度。

3.根據權利要求1所述的方法，其中所述多個限定的突出部布置成預定的圖案。

4.根據權利要求1所述的方法，其中所述多個限定的突出部包括在所述多個限定的突出部之間的一個或更多個流動通道。

5.根據權利要求4所述的方法，其中所述一個或更多個流動通道被蝕刻且具有多個蝕刻的側壁。

6.根據權利要求1所述的方法，其中所述多個限定的突出部中的每一個具有限定所述隔膜止擋部表面的一部分的面向前表面，以及其中所述多個限定的突出部中的每一個突出部的所述面向前表面具有倒圓的邊緣。

7.根據權利要求1所述的方法，其中所述多個限定的突出部中至少一些具有至少100微米的高度。

8.根據權利要求1所述的方法，其中：

所述傳感隔膜的周界限定橫截面表面面積；

所述隔膜止擋部表面的周界限定橫截面面積，其中由所述隔膜止擋部表面的所述周界限定的所述橫截面面積在由所述傳感隔膜的所述周界所限定的所述橫截面面積的10%與95%之間。

9.根據權利要求8所述的方法，其中所述多個限定的突出部中每個具有面向前表面，以及其中所有所述多個限定的突出部的所述面向前表面的總表面面積在由所述隔膜止擋部表面的所述周界所限定的所述橫截面面積的5%與60%之間。