[發明專利]用于感測壓力的方法

有效

• 申請號: 202010300625.5
• 申請日: 2015-03-24
• 公開（公告）號: CN111397793B
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發明（設計）人: R.瓦德
• 申請（專利權）人: 霍尼韋爾國際公司
• 主分類號: G01L9/06
• 分類號: G01L9/06;G01L9/00;G01L13/06;G01L19/06
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 代易寧;陳浩然

本發明涉及用于感測壓力的方法。所述方法包括：在具有傳感隔膜的傳感模處接收輸入壓力；響應于所述輸入壓力撓曲所述傳感隔膜；當所述傳感隔膜撓曲預定量時將所述傳感隔膜與隔膜止擋部的隔膜止擋部表面接合；響應于傳感隔膜與隔膜止擋部的接合，限制所述傳感隔膜的撓曲。所述隔膜止擋部具有包括朝向傳感隔膜延伸的多個限定的突出部的形貌，并且所述形貌被配置來減小所述隔膜止擋部表面與所述傳感隔膜之間相對于光滑隔膜止擋部表面的靜摩擦。

相關申請

本發明是2015年3月24日提交的、發明名稱為《帶有過壓保護的壓力傳感器》的中國發明專利申請號201510129398.3的分案申請。

技術領域

本發明大體涉及用于感測壓力的方法。

背景技術

壓力傳感器通常包括配置來檢測介質壓力的壓力傳感元件，其中介質壓力通過將由介質引入的壓力引起的機械應力轉化成電輸出信號而被感測到。壓力測量通常在絕對壓力、表壓或壓差（或者相對壓力）測量的情況下而被測量。絕對壓力傳感器表示特定類型的傳感裝置，其測量相對于真空（或者密封的基準）的壓力。在另一方面，表壓傳感器測量相對于大氣壓力的壓力。壓差傳感器測量兩個輸入壓力之間的壓力差值。這些和其它類型的壓力傳感器使用于多種多樣的應用中，包括例如商業的、汽車的、航空的、工業的、醫療的應用以及在其它相似的和不同的工業中。

發明內容

本公開大體涉及傳感器，以及更具體地涉及在使用期間可暴露于過壓下的傳感器。雖然已知傳感器組件存在，但是仍然存在對于此類傳感器組件的改進的需要。

因此，在一個示例中，壓力傳感器可包括用于接收輸入壓力的輸入部和具有傳感隔膜的傳感模，該傳感隔膜暴露于輸入壓力中且配置成響應于輸入壓力而撓曲。一個或更多個傳感元件可操作地聯接至傳感隔膜以便于感測傳感隔膜的撓曲。第一隔膜止擋部可布置成鄰近傳感隔膜的第一側以限制傳感隔膜朝向第一隔膜止擋部的撓曲。第一隔膜止擋部可包括面對傳感隔膜的第一側的第一隔膜止擋部表面，該第一隔膜止擋部包括多個限定的突出部。

在另一個示例中，壓力傳感器可包括用于接收壓力輸入的輸入部和具有第一主表面和相對的第二主表面的傳感模。凹部可設置在第一主表面中以形成凹進的第一表面，其中傳感隔膜限定在傳感模的凹進的第一表面與第二主表面之間。傳感隔膜可暴露于輸入壓力且可響應于該輸入壓力而撓曲。一個或更多個傳感元件可操作地聯接至傳感隔膜以感測傳感隔膜的撓曲。第一基底可相對于傳感模的第一主表面而固定。第一基底可具有第一隔膜止擋部，該隔膜止擋部延伸遠離基底且進入傳感模中的凹部，且鄰近傳感隔膜的凹進的第一表面以限制傳感隔膜朝向第一隔膜止擋部的撓曲。在一些情況下，第二基底可相對于傳感模的第二主表面而固定。第二基底可具有第二隔膜止擋部，該第二隔膜止擋部鄰近于傳感隔膜的第二主表面延伸以限制傳感隔膜朝向第二隔膜止擋部的撓曲。

在還有的另一示例中，壓力傳感器可包括用于接收輸入壓力的輸入部和傳感隔膜，該傳感隔膜暴露于輸入壓力且配置成響應于輸入壓力而撓曲。一個或更多個傳感元件可操作地聯接至傳感隔膜以感測傳感隔膜的撓曲。隔膜止擋部可放置在鄰近傳感隔膜處以限制傳感隔膜的撓曲。隔膜止擋部可具有隔膜止擋部表面，用于當傳感隔膜由于輸入壓力已經撓曲了預定量時接合傳感隔膜。在一些情況下，隔膜止擋部表面可具有被配置來減小隔膜止擋部表面和傳感隔膜之間相對于光滑的隔膜止擋部表面的靜摩擦（例如靜摩擦）的形貌。

提供前面的概述來幫助對本公開的一些創造性特征的大體的理解，其并不旨在是完整的說明。對本公開的完整領會能夠通過將整個說明、權利要求、附圖和摘要作為整體而獲得。

附圖說明

在附圖中，貫穿各個視圖的相同的附圖標記指相同的或功能相似的元件，以及附圖被并入說明書中且形成說明書的一部分，附圖進一步顯示幾個說明性的實施例以及與說明一起用來解釋幾個說明性實施例，其中：

圖1是說明性壓力傳感器的示意性截面圖；

圖2是說明性壓力傳感器的示意性截面圖；