[發(fā)明專利]化學(xué)鍍銅組合物、鍍銅產(chǎn)品和化學(xué)鍍銅方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010294098.1
• 申請日: 2020-04-15
• 公開（公告）號: CN112391617A
• 公開（公告）日: 2021-02-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 申英燮;李壽珍;裵哲敏;金喆敃
• 申請（專利權(quán)）人: 三星電機株式會社
• 主分類號: C23C18/40
• 分類號: C23C18/40
• 代理公司: 北京銘碩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286
• 代理人: 包國菊;王春芝

本公開涉及一種化學(xué)鍍銅組合物、鍍銅產(chǎn)品和化學(xué)鍍銅方法。所述化學(xué)鍍銅組合物，包括：銅溶液(A)，包括銅鹽、鎳鹽和絡(luò)合劑；堿性溶液(B)，包括鎳鹽、絡(luò)合劑和堿性化合物；以及穩(wěn)定劑(C)。其中，相對于所述銅溶液(A)和所述堿性溶液(B)的總重量，所述鎳鹽的總含量為大于等于0.05重量％且小于等于1重量％。

本申請要求于2019年8月13日在韓國知識產(chǎn)權(quán)局提交的第10-2019-0098761號韓國專利申請的優(yōu)先權(quán)的權(quán)益，該韓國專利申請的全部公開內(nèi)容通過引用被包含于此。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開涉及一種化學(xué)鍍銅組合物及使用其的化學(xué)鍍銅方法。

背景技術(shù)

為了電子裝置的薄化和高集成化，印刷電路板的圖案逐漸變得越來越薄和精細化，并且具有優(yōu)異電阻率的銅(Cu)主要用作布線材料。

為了在普通的印刷電路板上形成適當(dāng)?shù)你~圖案，用于電鍍的導(dǎo)電種子層使用化學(xué)鍍銅形成，然后通過光刻膠PR將光刻膠曝光以形成圖案。此后，如果僅在種子層的暴露部分上選擇性地執(zhí)行銅電鍍，那么銅圖案形成為約15μm的厚度。

然而，近年來，隨著開發(fā)出多層薄膜的高端產(chǎn)品以滿足客戶需求，由于圖案精細化導(dǎo)致缺陷增加。也就是說，由于圖案精細化，導(dǎo)致可能出現(xiàn)由于圖案與圖案下面的環(huán)氧樹脂之間的粘附力降低引起的圖案隆起，由于形成的圖案之間的不必要的銅異物而導(dǎo)致缺陷增加。

因此，持續(xù)需要通過減小化學(xué)鍍銅的厚度并減小表面厚度來確保分散能力(throwing power，T/P)以解決上述問題。

作為本公開的背景技術(shù)，韓國專利注冊第10-1585200(2016.01.07)號描述了一種鍍銅溶液組合物以及使用其的鍍銅方法。

發(fā)明內(nèi)容

本公開涉及一種化學(xué)鍍銅組合物，該化學(xué)鍍銅組合物通過改變影響鍍銅組合物的分散能力的組分的成分，即使在精細化圖案中也能改善分散能力(T/P)，以防止在化學(xué)鍍銅表面的厚度減小時由于在通路孔中出現(xiàn)填充問題而導(dǎo)致過孔開口的風(fēng)險。

此外，本公開涉及一種化學(xué)鍍銅組合物，即使當(dāng)化學(xué)鍍銅厚度減小時，該化學(xué)鍍銅組合物也沒有由于圖案精細化導(dǎo)致的圖案隆起現(xiàn)象以及由于銅異物導(dǎo)致的缺陷。

此外，本公開涉及一種化學(xué)鍍銅方法并提供其產(chǎn)品，使用所述化學(xué)鍍銅組合物，即使當(dāng)化學(xué)鍍銅的表面厚度減小并且保持正常標準的鍍覆工藝條件時，也能夠?qū)崿F(xiàn)鍍銅的高分散能力。

根據(jù)一個方面，一種化學(xué)鍍銅組合物包括：銅溶液(A)，包括銅鹽、鎳鹽和絡(luò)合劑；堿性溶液(B)，包括鎳鹽、絡(luò)合劑和堿性化合物；以及穩(wěn)定劑(C)。相對于所述銅溶液(A)和堿性溶液(B)的總重量，所述鎳鹽的總含量為0.05重量％至1重量％。

根據(jù)一個實施例，相對于所述堿性溶液(B)的總重量，所述堿性溶液(B)中的所述鎳鹽的含量可以為0.05重量％至1重量％。

根據(jù)一個實施例，相對于所述銅溶液(A)的總重量，所述銅溶液(A)中的所述鎳鹽的含量可以為0.05重量％以上且小于0.5重量％。

根據(jù)一個實施例，相對于所述銅溶液(A)的總重量，所述銅溶液(A)中的所述銅鹽的含量可以為10重量％至15重量％。

根據(jù)一個實施例，所述銅鹽可以是硫酸銅(CuSO₄)，所述鎳鹽可以是硫酸鎳(NiSO₄)。

根據(jù)一個實施例，所述銅溶液(A)中包括的所述絡(luò)合劑包含酒石酸，并且相對于所述銅溶液(A)的總重量，所述酒石酸的含量可以為1重量％至5重量％。

根據(jù)一個實施例，所述堿性溶液(B)中的所述絡(luò)合劑包含羅謝爾鹽，并且相對于所述堿性溶液(B)的總重量，所述羅謝爾鹽的含量可以為35重量％至45重量％。