[發明專利]一種球形納米二氧化硅的制備方法有效
| 申請號： | 202010277674.1 | 申請日： | 2020-04-08 |
| 公開（公告）號： | CN111252779B | 公開（公告）日： | 2021-10-15 |
| 發明（設計）人： | 孟凡昌;劉永 | 申請（專利權）人： | 湯姆遜新材料科技（嘉興）有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/18 | 分類號： | C01B33/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 劉樂 |
| 地址： | 314001 浙江省嘉*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 球形 納米 二氧化硅 制備 方法 | ||
1.一種球形二氧化硅的制備方法，其特征在于，包括以下步驟，
a）在電磁波的作用下，使得氧氣和懸浮在氧氣中的硅粉進行反應后，得到球形納米二氧化硅；
所述電磁波的波長為1~150mm；
所述電磁波的功率為1~100KW；
所述反應的溫度大于等于400℃。
2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述氧氣的壓力為0.05~0.5Mpa；
所述懸浮在氧氣中的硅粉的濃度為大于等于1g/m3 。
3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述反應的時間小于等于5min。
4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述電磁波的作用具體為感應加熱；
所述電磁波可以同時對懸浮在氧氣中的硅粉進行沉浸式加熱。
5.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，通過調節所述電磁波的波長可以調控所述球形二氧化硅的粒徑；
所述反應中不包括其他可燃氣體。
6.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述硅粉包括由原料硅粉經過物理提純后的硅粉；
所述物理提純后的硅粉的純度為99.8%~99.99%。
7.根據權利要求6所述的制備方法，其特征在于，所述原料硅粉包括太陽能多晶硅錠或單晶硅棒的金剛線切割硅粉，和/或半導體晶圓切片過程中產生的硅粉；
所述物理提純的方式包括熔融法提純。
8.根據權利要求6所述的制備方法，其特征在于，所述物理提純后的硅粉的鐵含量小于等于100ppm；
所述物理提純后的硅粉的鋁含量小于等于100ppm；
所述物理提純后的硅粉的磷含量小于等于30ppm；
所述物理提純后的硅粉的硼含量小于等于30ppm；
所述物理提純后的硅粉的鈾含量小于等于10ppb 。
9.根據權利要求6所述的制備方法，其特征在于，所述物理提純后還包括研磨步驟；
所述研磨的方式包括球磨和/或砂磨；
所述研磨后的硅粉的粒度為100~1000 nm。
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