[發明專利]自動插片機

在審

• 申請號: 202010259564.2
• 申請日: 2020-04-03
• 公開（公告）號: CN111477578A
• 公開（公告）日: 2020-07-31
• 發明（設計）人: 季徐華;楊海波
• 申請（專利權）人: 無錫森頓智能科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 無錫華源專利商標事務所(普通合伙) 32228
• 代理人: 聶啟新

1.自動插片機，包括工作臺(1)，其特征在于：于所述工作臺(1)上安裝至少一石英舟移載裝置(2)、至少一頂出裝置(3)、至少一夾緊裝置(4)、至少一多軸伺服裝置(5)、至少一吸取裝置(6)及至少一花籃移載裝置，所述至少一石英舟移載裝置(2)用于石英舟的直線運動，所述至少一花籃移載裝置(7)用于花籃的直線運動，所述至少一夾緊裝置(4)安裝在所述多軸伺服裝置(5)上用于夾緊硅片，所述至少一吸取裝置(6)安裝在所述多軸伺服裝置(5)的至少一運動端，以用于吸取硅片，所述至少一頂出裝置(3)安裝在所述工作臺(1)的內部并分別與至少一石英舟移載裝置(2)、至少一花籃移載裝置(7)供料端接觸，以用于將料件從石英舟或花籃中頂出。

2.如權利要求1所述的自動插片機，其特征在于：所述至少一石英舟移載裝置(2)的具體結構如下：

包括第一直線模組、至少一組卡緊部及至少一定位部，所述至少一組卡緊部固接在所述第一直線模組的運動端，在靠近卡緊部處、在所述第一直線模組的運動端還固接定位部。

3.如權利要求2所述的自動插片機，其特征在于：所述卡緊部包括卡塊(213)，在所述卡塊(213)的表面開設用于卡接石英舟(211)側板的卡口；所述定位部包括一氣缸(208)，所述氣缸(208)的活塞與固定板(209)連接，在所述固定板(209)上連接至少一定位頭(210)。

4.如權利要求1所述的自動插片機，其特征在于：所述至少一頂出裝置(3)包括第二直線模組(302)、安裝座(304)、豎板(305)、第一固定板(306)及至少一頂板(307)，所述安裝座(304)固定在所述第二直線模組的運動端，所述豎板(305)的一端與安裝座(304)固接，所述第一固定板(306)連接在豎板(305)的另一端，所述至少一頂板(307)的一端與所述第一固定板(306)固接，在所述至少一頂板(307)的另一端開設至少一第一梳齒(308)。

5.如權利要求1所述的自動插片機，其特征在于：所述至少一夾緊裝置(4)包括夾緊氣缸(401)，在所述夾緊氣缸(401)具有至少一活塞(402)，所述至少一活塞(402)與第二固定板(403)的一端連接，所述第二固定板(403)上固接至少一糾偏板安裝塊(404)，在所述糾偏板安裝塊(404)上固接糾偏板(405)，在所述糾偏板(405)的一側還開設至少一第二梳齒(4051)。

6.如權利要求1所述的自動插片機，其特征在于：所述至少一多軸伺服裝置(5)的具體結構如下：

包括第一伺服安裝板(502)，在所述第一伺服安裝板(502)上安裝至少一第三直線模組，在所述至少一第三直線模組的運動端連接第二伺服安裝板(506)，第四直線模組安裝在所述第二伺服安裝板(506)上，所述第三直線模組與所述第四直線模組中運動端的運動方向不同。

7.如權利要求1所述的自動插片機，其特征在于：所述至少一吸取裝置(6)的具體結構如下：

包括一真空發射器(601)、第六直線模組、側封閉板(605)、吸盤安裝板(606)及至少一吸盤組件，所述真空發射器(601)固定在所述第六直線模組的固定端，所述第六直線模組的運動端通過吸盤安裝板(606)安裝至少一吸盤組件。

8.如權利要求7所述的自動插片機，其特征在于：所述至少一吸盤組件包括嵌接于吸盤安裝板(606)的若干吸盤(607)，所述若干吸盤(607)均由至少一安裝桿(609)貫穿，所述至少一安裝桿(609)的一端與側封閉板(605)固接，所述至少一安裝桿(609)的另一端連接通氣蓋板(610)，所述通氣蓋板(610)開設至少一孔用于與真空發射器(601)的真空口連通。

9.如權利要求8所述的自動插片機，其特征在于：所述吸盤(607)上開設至少一桿安裝孔(6071)、氣道孔(6072)、至少一氣槽(6075)及至少通氣孔(6074)，所述至少一通氣孔(6074)開設在所述至少一氣槽(6075)中，所述至少一通氣孔(6074)通過至少一通孔與所述氣道孔(6072)連通。

10.如權利要求1所述的自動插片機，其特征在于：所述花籃移載裝置(7)包括第七直線模組(701)，所述第七直線模組(701)的運動端連接固接支撐板(705)，在所述支撐板(705)上安裝至少一花籃(710)，所述花籃(701)的一側、在所述支撐板(705)上設置至少一定位氣缸(706)，在所述支撐板(705)上還設置一限位區，所述至少一定位缸(706)推動所述花籃(701)移動至所述限位區內。