[發明專利]阻抗匹配裝置、異常診斷方法以及存儲介質

在審

• 申請號: 202010253669.7
• 申請日: 2020-04-01
• 公開（公告）號: CN111800931A
• 公開（公告）日: 2020-10-20
• 發明（設計）人: 加藤秀生
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46;H01J37/32
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種阻抗匹配裝置，其具有：

可變電容元件，其連接在高頻電源與負載之間；

第一檢測器，其檢測用于判斷所述高頻電源與所述負載之間的阻抗匹配的指標值以及表示從所述高頻電源輸入的高頻的狀態的第一狀態值；

第二檢測器，其檢測表示向所述負載輸出的高頻的狀態的第二狀態值；

調整部，其逐步地調整所述可變電容元件的電容值，以使得由所述第一檢測器檢測出的指標值落在表示所述阻抗匹配完成的目標范圍內；以及

診斷部，其基于由所述調整部調整后的電容值、由所述第一檢測器檢測出的第一狀態值以及由所述第二檢測器檢測出的第二狀態值，來對所述可變電容元件、所述第一檢測器或所述第二檢測器的異常進行診斷。

2.根據權利要求1所述的阻抗匹配裝置，其中，

所述第一檢測器檢測從所述高頻電源輸入的高頻的電壓與電流之間的相位差來作為所述指標值，并檢測從所述高頻電源輸入的高頻的功率值作來為所述第一狀態值，

所述第二檢測器檢測向所述負載輸出的高頻的功率值來作為所述第二狀態值，

所述調整部逐步地調整所述可變電容元件的電容值，以使得由所述第一檢測器檢測出的所述相位差落在所述目標范圍內，

所述診斷部基于由所述調整部調整后的電容值和由所述第一檢測器檢測出的功率值，來計算向所述負載輸出的高頻的功率值的理論值，在計算出的所述功率值的理論值與由所述第二檢測器檢測出的功率值的差為規定閾值以上的情況下，判斷為發生了所述異常。

3.根據權利要求1所述的阻抗匹配裝置，其中，

所述第一檢測器檢測從所述高頻電源輸入的高頻的電壓與電流之間的相位差來作為所述指標值，并檢測從所述高頻電源輸入的高頻的功率值作為所述第一狀態值，

所述第二檢測器檢測向所述負載輸出的高頻的高頻電壓的振幅值和所述負載側的阻抗值來作為所述第二狀態值，

所述調整部逐步地調整所述可變電容元件的電容值，以使得由所述第一檢測器檢測出的所述相位差落在所述目標范圍內，

所述診斷部基于由所述調整部調整后的所述可變電容元件的電容值、由所述第一檢測器檢測出的功率值以及由所述第二檢測器檢測出的所述負載側的阻抗值，來計算所述高頻電壓的振幅值的理論值，在計算出的所述高頻電壓的振幅值的理論值與由所述第二檢測器檢測出的高頻電壓的振幅值的差為規定閾值以上的情況下，判斷為發生了所述異常。

4.一種阻抗匹配裝置，其具備：

可變電容元件，其連接在高頻電源與負載之間；

檢測器，其檢測用于判斷所述高頻電源與所述負載之間的阻抗匹配的指標值；

調整部，其逐步地調整所述可變電容元件的電容值，以使得由所述檢測器檢測出的指標值落在表示所述阻抗匹配完成的目標范圍內；以及

診斷部，其監視通過所述調整部調整所述可變電容元件的電容值的次數、即電容值調整次數，并基于該電容值調整次數和由所述檢測器檢測出的指標值，來對所述可變電容元件或所述檢測器的異常進行診斷。

5.根據權利要求4所述的阻抗匹配裝置，其中，

所述檢測器檢測從所述高頻電源輸入的高頻的電壓與電流之間的相位差來作為所述指標值，

所述調整部逐步地調整所述可變電容元件的電容值，以使得由所述檢測器檢測出的所述相位差落在所述目標范圍內，

在所述電容值調整次數達到規定次數，且由所述檢測器檢測出的所述相位差不落在所述目標范圍內的情況下，所述診斷部判斷為發生了所述異常。