[發(fā)明專利]柔性顯示面板的制作方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010248412.2
• 申請(qǐng)日: 2020-04-01
• 公開（公告）號(hào): CN111430301B
• 公開（公告）日: 2023-01-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李林霜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H10K71/80
• 分類號(hào): H10K71/80;H10K77/10;H10K59/12
• 代理公司: 深圳紫藤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 徐世俊

1.一種柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，包括以下步驟：

S10，在襯底基板上形成第一柔性基板，所述襯底基板為高光學(xué)透過率的無堿素玻璃基底，所述第一柔性基板采用無色透明的聚酰亞胺；

S20，在所述第一柔性基板的一側(cè)形成緩沖層；其中，所述緩沖層包括犧牲層，所述犧牲層形成在所述第一柔性基板背離所述襯底基板一側(cè)，所述犧牲層的氫含量為5%-10%；

S30，在所述緩沖層背離所述第一柔性基板的一側(cè)形成第二柔性基板，所述第二柔性基板與所述第一柔性基板的材料和形成方式均相同，所述第二柔性基板的厚度大于等于所述第一柔性基板的厚度；

S40，在所述第二柔性基板背離所述緩沖層的一側(cè)依次層疊薄膜晶體管層、發(fā)光器件層和薄膜封裝層；

S50，采用500nm以上波長(zhǎng)的高光學(xué)透過率激光從所述襯底基板背離所述第一柔性基板的一側(cè)射入至所述第一柔性基板，將所述襯底基板與所述第一柔性基板分離，以及所述犧牲層與所述第一柔性基板分離，以得到依次層疊設(shè)置有所述第二柔性基板、所述薄膜晶體管層、所述發(fā)光器件層和所述薄膜封裝層的柔性顯示面板。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，步驟“S10”包括：

S101，將無色透明的聚酰亞胺酸溶液均勻的涂布在所述襯底基板的一側(cè)；

S102，將涂布有所述聚酰亞胺酸溶液的襯底基板放置在溫度范圍大于等于200攝氏度的氮?dú)猸h(huán)境中進(jìn)行亞胺化，得到所述第一柔性基板。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，所述緩沖層還包括：反光層和隔熱層。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，所述犧牲層形成在所述第一柔性基板背離所述襯底基板一側(cè)，所述反光層形成在所述犧牲層背離所述第一柔性基板一側(cè)，所述隔熱層形成在所述反光層背離所述犧牲層一側(cè)，且所述犧牲層、所述反光層和所述隔熱層均具有預(yù)設(shè)厚度。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，所述犧牲層的預(yù)設(shè)厚度為：100-500埃；所述反光層的預(yù)設(shè)厚度為500-1000埃；所述隔熱層的預(yù)設(shè)厚度為：1000-2000埃。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，所述第一柔性基板和所述第二柔性基板均具有預(yù)設(shè)厚度，所述第一柔性基板的預(yù)設(shè)厚度為5-10um，所述第二柔性基板的預(yù)設(shè)厚度為10-20um。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，所述柔性顯示面板為柔性液晶顯示面板、柔性發(fā)光二極管顯示面板或是微型柔性液晶顯示面板。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，所述激光為綠激光。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的柔性顯示面板的制作方法，其特征在于，所述綠激光的波長(zhǎng)長(zhǎng)度范圍為：大于500nm。