[發明專利]用于電子加速器的雙窗引出窗裝置及輻照加工裝置

在審

• 申請號: 202010244518.5
• 申請日: 2020-03-31
• 公開（公告）號: CN111465164A
• 公開（公告）日: 2020-07-28
• 發明（設計）人: 張昌有;希爾蓋·法捷耶夫;沃若別夫·迪尼斯;比特·卡恰洛夫;唐建科
• 申請（專利權）人: 山西壹泰科電工設備有限公司
• 主分類號: H05H7/00
• 分類號: H05H7/00;G21K5/00
• 代理公司: 北京華進京聯知識產權代理有限公司 11606
• 代理人: 趙永輝

1.一種用于電子加速器的雙窗引出窗裝置，其特征在于，包括：

掃描引出窗，所述掃描引出窗沿平行于電子束掃描的方向上至少設置有兩個引出窗。

2.根據權利要求1所述的用于電子加速器的雙窗引出窗裝置，其特征在于，所述掃描引出窗為方形法蘭，所述引出窗沿所述法蘭長度方向平行間隔設置。

3.根據權利要求2所述的用于電子加速器的雙窗引出窗裝置，其特征在于，還包括散熱裝置，每個所述引出窗上均連接一個所述散熱裝置。

4.根據權利要求3所述的用于電子加速器的雙窗引出窗裝置，其特征在于，所述散熱裝置包括風嘴和吹風筒，所述吹風筒的出風口通過所述風嘴與所述引出窗連通。

5.根據權利要求2所述的用于電子加速器的雙窗引出窗裝置，其特征在于，還包括冷卻裝置，所述冷卻裝置設置在所述法蘭上。

6.根據權利要求5所述的用于電子加速器的雙窗引出窗裝置，其特征在于，所述冷卻裝置包括冷卻水循環系統。

7.根據權利要求5所述的用于電子加速器的雙窗引出窗裝置，其特征在于，所述冷卻裝置包括冷卻管，所述冷卻管沿所述法蘭的周向設置。

8.根據權利要求1所述的用于電子加速器的雙窗引出窗裝置，其特征在于，所述掃描引出窗包括窗體，所述窗體由微米級鈦箔制成。

9.根據權利要求8所述的用于電子加速器的雙窗引出窗裝置，其特征在于，所述掃描引出窗還包括窗框，所述窗體安裝于所述窗框。

10.一種輻照加工裝置，其特征在于，包括盒體、掃描磁鐵線圈以及如權利要求1-9任一項所述的用于電子加速器的雙窗引出窗裝置，所述掃描磁鐵線圈設置于所述盒體的遠離所述掃描引出窗的一端；進入所述盒體的電子束在所述掃描磁鐵線圈的作用下呈面狀向下自所述掃描引出窗引出。

11.根據權利要求10所述的輻照加工裝置，其特征在于，所述掃描磁鐵線圈包括高頻掃描磁鐵線圈和低頻掃描磁鐵線圈，所述高頻掃描磁鐵線圈較所述低頻掃描磁鐵線圈遠離所述掃描引出窗。

12.根據權利要求10所述的輻照加工裝置，其特征在于，還包括加速器和磁體線圈，所述磁體線圈設置于所述加速器的出口處，用于將由所述加速器的出口射出的所述帶電粒子束通過所述掃描磁鐵線圈后展開。