[發(fā)明專利]屏障層的制備方法和包含這種屏障層的載體主體

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010230445.4
• 申請日: 2014-07-24
• 公開（公告）號: CN111499897A
• 公開（公告）日: 2020-08-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 弗蘭克·福爾科默;克勞斯-迪特爾·鮑爾;于爾根·鮑爾;馬托·克內(nèi)茲;基思·格雷戈爾奇克
• 申請（專利權(quán)）人: 歐司朗OLED股份有限公司;CIC納米技術(shù)加強公司
• 主分類號: C08J5/18
• 分類號: C08J5/18;C08J7/12
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 彭鯤鵬;韓宏星

本發(fā)明涉及屏障層的制備方法和包含這種屏障層的載體主體。用于在聚合物膜(2)上制備屏障層(22)的方法，包括以下步驟：A)提供包含由至少一種聚合物制成的聚合物膜(2)的載體主體(1)，所述聚合物膜(2)形成載體主體(1)的屏障界面(20)，B)干燥屏障界面(20)；C)使屏障界面(20)暴露于一種反應(yīng)物氣體(4)或暴露于彼此之間不進行化學(xué)反應(yīng)的多種反應(yīng)物氣體(4)，使得至少一種反應(yīng)物氣體(4)與至少一種聚合物至少在聚合物膜(2)的內(nèi)部以至少一種化學(xué)反應(yīng)化學(xué)地反應(yīng)，從而形成屏障層(22)；以及D)除去所述至少一種化學(xué)反應(yīng)的至少一種產(chǎn)物氣體(5)。

本申請是申請日為2014年7月24日，申請?zhí)枮椤?01480081542.4”，發(fā)明名稱為“屏障層的制備方法和包含這種屏障層的載體主體”的中國專利申請的分案申請。

技術(shù)領(lǐng)域

提供了用于制備屏障層的方法。此外，提供了包含這種屏障層的載體主體。

背景技術(shù)

目前，學(xué)術(shù)界和工業(yè)界正在追求多種多樣的下一代有機電子器件，包括有機發(fā)光二極管或簡稱OLED、有機太陽能電池、有機晶體管和集成電路。仍然待克服的主要技術(shù)障礙是產(chǎn)生氣體滲透屏障，特別是對于O₂和H₂O的氣體滲透屏障，其中所述屏障應(yīng)該是機械柔性的和堅固的，足以承受卷對卷生產(chǎn)和約十年的使用壽命。特別成問題的是，甚至小程度地暴露于氧和水蒸氣即使不破壞這種器件也會使這樣的器件劣化。

另外，利用所述屏障層，不僅可以保護無機或有機電子器件。也可實現(xiàn)防環(huán)境化學(xué)物質(zhì)如含硫物質(zhì)的保護，而不僅防氧或水的保護。例如，作為鏡面材料的敏感材料如銀可通過所述屏障層得到保護。這樣的鏡面可以放置在包含聚合物的載體上，該載體至少設(shè)置有屏障，如設(shè)置在遠(yuǎn)離鏡面的一側(cè)。

原子層沉積，簡稱ALD，最近已被認(rèn)為是能夠產(chǎn)生所需的屏障層的技術(shù)。然而，這些層通常是例如Al₂O₃、TiO₂、ZrO₂或HfO₂的陶瓷層，并因此當(dāng)在器件生產(chǎn)或隨后的使用期間施加機械力時，這些層易于破裂和分層，因此不能預(yù)見到其在任意相關(guān)的工業(yè)過程中發(fā)揮主要作用。

為了解決這個問題，ALD的同類型技術(shù)分子層沉積(簡稱MLD)也已經(jīng)被測試作為產(chǎn)生屏障層的手段，分子層沉積能夠沉積有機材料如alucone(氧化鋁-有機雜化聚合物薄膜)、titanicone(氧化鈦-有機雜化聚合物薄膜)、zincone(氧化鋅-有機雜化聚合物薄膜)或zircone(氧化鋯-有機雜化聚合物薄膜)。然而，這些材料遭受長期穩(wěn)定性問題，并且這些材料中的一些在沉積之后表現(xiàn)出高達(dá)22％的收縮。另外，這兩種技術(shù)的組合，特別是多層有機/無機超晶格，不能賦予每種材料的優(yōu)點而是僅僅組合了缺點。

因此，不管薄膜沉積中的極高精度和ALD生產(chǎn)的作為滲透屏障的層的效率，如果ALD沉積的薄膜所施加至的基底是剛性的且在生產(chǎn)或隨后的使用期間不施加機械彎曲，則所述薄膜可能僅用作有效的滲透屏障。

發(fā)明內(nèi)容

待實現(xiàn)的目的是提供用于制備屏障層的方法，所述屏障層對氧和/或水蒸氣的擴散表現(xiàn)出低滲透性。

該目的尤其通過具有獨立權(quán)利要求的特征的方法和載體主體實現(xiàn)。優(yōu)選的改進描述于從屬權(quán)利要求中。

根據(jù)至少一個實施方案，所述方法包括提供載體主體的步驟。該載體主體在室溫下是固態(tài)主體。該載體主體可由一種或多于一種組分和/或材料構(gòu)成。