[發(fā)明專(zhuān)利]一種能自動(dòng)清洗碳化硅長(zhǎng)晶爐積炭的裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010217938.4
• 申請(qǐng)日: 2020-03-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111288812A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙麗麗;譚希濱
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 哈爾濱科友半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F27D25/00
• 分類(lèi)號(hào): F27D25/00;C30B35/00;C30B29/36
• 代理公司: 哈爾濱市偉晨專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 23209
• 代理人: 桑林艷

一種能自動(dòng)清洗碳化硅長(zhǎng)晶爐積炭的裝置，屬于碳化硅長(zhǎng)晶爐技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明為了解決目前在清理長(zhǎng)晶爐石英管管壁時(shí)存在的問(wèn)題。本發(fā)明包括升降機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)托盤(pán)架、托盤(pán)、支架、旋轉(zhuǎn)電機(jī)、聯(lián)軸器、夾緊機(jī)構(gòu)和刮板，所述升降機(jī)構(gòu)托盤(pán)架安裝在升降機(jī)構(gòu)上，托盤(pán)與升降機(jī)構(gòu)托盤(pán)架連接，托盤(pán)上安裝有支架，所述支架為圓柱空心體，旋轉(zhuǎn)電機(jī)安裝在支架的腔體內(nèi)，旋轉(zhuǎn)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)端與聯(lián)軸器連接，聯(lián)軸器的另一端與夾緊機(jī)構(gòu)連接，夾緊機(jī)構(gòu)上安裝有刮板，刮板與石英管的內(nèi)壁貼合。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于拆卸，取代了傳統(tǒng)人工清理石英管內(nèi)壁容易對(duì)工作人員造成的身體傷害，和人工清理石英管內(nèi)壁相比清理的更加干凈，且適合大規(guī)模的生產(chǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種能自動(dòng)清洗碳化硅長(zhǎng)晶爐積炭的裝置，屬于碳化硅長(zhǎng)晶爐技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

長(zhǎng)晶爐是用于人工合成晶體的設(shè)備，人工合成晶體生長(zhǎng)是指物質(zhì)在一定溫度、壓力、濃度、介質(zhì)、PH等條件下由氣相、液相、固相轉(zhuǎn)化，形成特定線度尺寸晶體的過(guò)程。長(zhǎng)晶爐在生長(zhǎng)晶體后會(huì)在設(shè)備的石英管管壁上留有揮發(fā)的積炭，開(kāi)爐后如果不及時(shí)清除會(huì)影響下次長(zhǎng)晶結(jié)果。目前清理清理積炭都是人工操作，操作人員用海綿沾上氫氟酸一點(diǎn)一點(diǎn)清洗，而且操作人員在清理石英管上部時(shí)必須將身體上部鉆進(jìn)石英管內(nèi)部才能將積炭清洗干凈，目前這種清理石英管積炭的方法存在以下幾點(diǎn)不足：

1.人工清理石英管時(shí)，石英管內(nèi)部空間有限不利于人員操作，增加的工作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度，同時(shí)這種方法很難適應(yīng)大規(guī)模的生產(chǎn)。

2.使用氫氟酸對(duì)人體的危害性極大，因石英管內(nèi)部操作空間狹小，氫氟酸只能在管內(nèi)揮發(fā)，如果稍有防護(hù)不周就有可能對(duì)操作者的身體造成傷害。

3.石英管管壁上的積炭堆積程度不同，人工清理很難做到將管壁上的積炭全部清理干凈。

綜上所述，亟需一種可自動(dòng)清洗碳化硅長(zhǎng)晶爐積炭的裝置，用以解決目前人工清理長(zhǎng)晶爐石英管管壁的積炭存在的缺陷的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明解決了目前人工清理石英管管壁上的積炭存在的缺陷問(wèn)題。在下文中給出了關(guān)于本發(fā)明的簡(jiǎn)要概述，以便提供關(guān)于本發(fā)明的某些方面的基本理解。應(yīng)當(dāng)理解，這個(gè)概述并不是關(guān)于本發(fā)明的窮舉性概述。它并不是意圖確定本發(fā)明的關(guān)鍵或重要部分，也不是意圖限定本發(fā)明的范圍。

本發(fā)明的技術(shù)方案：

一種能自動(dòng)清洗碳化硅長(zhǎng)晶爐積炭的裝置，包括升降機(jī)構(gòu)、升降機(jī)構(gòu)托盤(pán)架、托盤(pán)、支架、旋轉(zhuǎn)電機(jī)、聯(lián)軸器、夾緊機(jī)構(gòu)和刮板，所述升降機(jī)構(gòu)托盤(pán)架安裝在升降機(jī)構(gòu)上，托盤(pán)安裝在升降機(jī)構(gòu)托盤(pán)架上，托盤(pán)上安裝有支架，所述支架為圓柱空心體，旋轉(zhuǎn)電機(jī)安裝在支架的腔體內(nèi)，旋轉(zhuǎn)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)端與聯(lián)軸器連接，聯(lián)軸器的另一端與夾緊機(jī)構(gòu)連接，夾緊機(jī)構(gòu)上安裝有刮板，刮板與石英管的內(nèi)壁貼合。

進(jìn)一步的，所述升降機(jī)構(gòu)包括升降電機(jī)、升降電機(jī)聯(lián)軸器、絲桿、絲母、支撐臺(tái)、滑塊、導(dǎo)軌和底座，升降電機(jī)的驅(qū)動(dòng)端與升降電機(jī)聯(lián)軸器連接，升降電機(jī)聯(lián)軸器的另一端連接有絲桿，支撐臺(tái)的底部安裝有絲母，絲母套裝在絲桿上，支撐臺(tái)的底部?jī)蓚?cè)設(shè)置有滑塊，滑塊安裝在導(dǎo)軌上，導(dǎo)軌安裝在底座上。

進(jìn)一步的，所述夾緊機(jī)構(gòu)包括夾板連接軸和夾板，夾板上開(kāi)有兩個(gè)安裝孔，通過(guò)夾板固定螺栓固定在夾板連接軸上，夾板的四周開(kāi)有多個(gè)刮板安裝孔，所述刮板相對(duì)應(yīng)的位置也開(kāi)有刮板安裝孔，刮板通過(guò)刮板固定螺栓固定在夾板上。

進(jìn)一步的，所述夾板連接軸上固定有前夾板和后夾板，前夾板和后夾板之間存有空隙，刮板插入前夾板與后夾板之間的空隙中，通過(guò)刮板固定螺栓固定。

進(jìn)一步的，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)為減速電機(jī)。

進(jìn)一步的，所述托盤(pán)通過(guò)螺栓連接固定在升降機(jī)構(gòu)托盤(pán)架上。

進(jìn)一步的，所述支架包括第一支架和第二支架，第一支架與升降機(jī)構(gòu)托盤(pán)架連接，第二支架的腔體內(nèi)安裝有旋轉(zhuǎn)電機(jī)，第一支架與第二支架通過(guò)螺栓固定連接。