[發(fā)明專利]一種能自動清洗碳化硅長晶爐積炭的裝置

在審

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• 申請日: 2020-03-25
• 公開（公告）號: CN111288812A
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙麗麗;譚希濱
• 申請（專利權(quán)）人: 哈爾濱科友半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司
• 主分類號: F27D25/00
• 分類號: F27D25/00;C30B35/00;C30B29/36
• 代理公司: 哈爾濱市偉晨專利代理事務(wù)所(普通合伙) 23209
• 代理人: 桑林艷

1.一種能自動清洗碳化硅長晶爐積炭的裝置，其特征在于：包括升降機構(gòu)(1)、升降機構(gòu)托盤架(2)、托盤(3)、支架(4)、旋轉(zhuǎn)電機(5)、聯(lián)軸器(6)、夾緊機構(gòu)(7)和刮板(9)，所述升降機構(gòu)托盤架(2)安裝在升降機構(gòu)(1)上，托盤(3)安裝在升降機構(gòu)托盤架(2)上，托盤(3)上安裝有支架(4)，所述支架(4)為圓柱空心體，旋轉(zhuǎn)電機(5)安裝在支架(4)的腔體內(nèi)，旋轉(zhuǎn)電機(5)的驅(qū)動端與聯(lián)軸器(6)連接，聯(lián)軸器(6)的另一端與夾緊機構(gòu)(7)連接，夾緊機構(gòu)(7)上安裝有刮板(9)，刮板(9)與石英管(8)的內(nèi)壁貼合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種能自動清洗碳化硅長晶爐積炭的裝置，其特征在于：所述升降機構(gòu)(1)包括升降電機(1-1)、升降電機聯(lián)軸器(1-2)、絲桿(1-3)、絲母(1-4)、支撐臺(1-5)、滑塊(1-6)、導(dǎo)軌(1-7)和底座(1-8)，升降電機(1-1)的驅(qū)動端與升降電機聯(lián)軸器(1-2)連接，升降電機聯(lián)軸器(1-2)的另一端連接有絲桿(1-3)，支撐臺(1-5)的底部安裝有絲母(1-4)，絲母(1-4)套裝在絲桿(1-3)上，支撐臺(1-5)的底部兩側(cè)設(shè)置有滑塊(1-6)，滑塊(1-6)安裝在導(dǎo)軌(1-7)上，導(dǎo)軌(1-7)固定安裝在底座(1-8)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種能自動清洗碳化硅長晶爐積炭的裝置，其特征在于：所述夾緊機構(gòu)(7)包括夾板連接軸(7-1)和夾板(7-2)，夾板(7-2)上開有兩個安裝孔(7-3)，夾板(7-2)通過夾板固定螺栓(7-4)固定在夾板連接軸(7-1)上，夾板(7-2)的四周開有多個刮板安裝孔(9-1)，所述刮板(9)相對應(yīng)的位置也開有刮板安裝孔(9-1)，刮板(9)通過管板固定螺栓(7-6)固定在夾板(7-2)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種能自動清洗碳化硅長晶爐積炭的裝置，其特征在于：所述夾板連接軸(7-1)上固定有前夾板(7-2-1)和后夾板(7-2-2)，前夾板(7-2-1)和后夾板(7-2-2)之間存有空隙，刮板(9)插入前夾板(7-2-1)與后夾板(7-2-2)的空隙中，通過刮板固定螺栓(7-6)固定。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種能自動清洗碳化硅長晶爐積炭的裝置，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)電機(5)為減速電機。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種能自動清洗碳化硅長晶爐積炭的裝置，其特征在于：所述托盤(3)通過螺栓連接固定在升降機構(gòu)托盤架(2)上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種能自動清洗碳化硅長晶爐積炭的裝置，其特征在于：所述支架(4)包括第一支架(4-1)和第二支架(4-2)，第一支架(4-1)與升降機構(gòu)托盤架(2)連接，第二支架(4-2)的腔體內(nèi)安裝有旋轉(zhuǎn)電機(5)，第一支架(4-1)與第二支架(4-2)通過螺栓固定連接。