[發明專利]電觸頭及探針卡

在審

• 申請號: 202010216399.2
• 申請日: 2020-03-25
• 公開（公告）號: CN111751584A
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 水谷正吾
• 申請（專利權）人: 日本麥可羅尼克斯股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R1/067;G01R31/28
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 湯國華

提供具有對被檢查體的電極端子的低針壓化和供給電流的最大化這兩種特性的電觸頭及探針卡。本發明的電觸頭的特征在于，具有：接觸部，其與第一接觸對象和第二接觸對象電接觸，由導電性材料形成；以及基部，其安裝在基板上，并且彈性地支承所述接觸部，由合成樹脂材料形成。本發明的探針卡將檢查裝置和被檢查體的電極端子之間電連接，該探針卡的特征在于，具有：探針基板，其具有與檢查裝置電連接的布線電路，在一個表面上具有與所述布線電路連接的多個基板電極；以及本發明的第1發明的多個電觸頭。

技術領域

本發明涉及一種電觸頭及探針卡，例如，能夠適用于在被檢查體的通電試驗等時與被檢查體的電極端子電接觸的電觸頭及探針卡。

背景技術

在半導體晶圓上形成多個半導體集成電路后，使用檢查裝置進行半導體晶圓上的各半導體集成電路(被檢查體)的電氣測試。

在進行電氣檢查時，被檢查體載置在卡盤頂上，卡盤頂上的被檢查體被推壓至安裝在檢查裝置上的探針卡。探針卡以各探針的頂端部從該探針卡的下表面突出的方式安裝有多個探針，通過將被檢查體推壓至探針卡，使各探針的頂端部與被檢查體的對應的電極端子電接觸。然后，通過探針將來自檢查裝置的電信號供給到被檢查體，通過探針將來自被檢查體的信號取入到檢查裝置側，由此能夠進行被檢查體的電氣檢查。

近年來，隨著半導體集成電路的超微細化、超高集成化，設置在探針卡上的探針數增大，要求探針窄間距化、以低針壓與被檢查體的電極端子接觸。而且，伴隨著半導體集成電路的超高性能化，還要求探針對被檢查體的電極端子供給高電流值的電流。

專利文獻1的記載技術公開了用于探針之間的窄間距化和擴大探針卡中的導通路徑的間距間隔的技術，公開了整體由導電性材料形成的懸臂型探針。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2016-148566號公報

發明內容

發明要解決的問題

但是，為了滿足低針壓化的要求，希望減小探針的截面積，與此相對，為了滿足電流最大化的要求，希望增大探針的截面積。即，由于低針壓化和電流最大化這兩種特性為權衡的關系，所以難以提供具有低針壓化和電流最大化這兩種特性的探針。

因此，本發明鑒于上述問題，提供一種具有對被檢查體的電極端子的低針壓化和供給電流的最大化這兩種特性的電觸頭及探針卡。

用于解決問題的手段

為了解決上述問題，本發明的第1發明的電觸頭的特征在于，具有：接觸部，其與第一接觸對象和第二接觸對象電接觸，由導電性材料形成；以及基部，其安裝在基板上，并且彈性地支承所述接觸部，由合成樹脂材料形成。

本發明的第2發明的探針卡將檢查裝置和被檢查體的電極端子之間電連接，所述探針卡的特征在于，具有：探針基板，其具有與所述檢查裝置電連接的布線電路，在一個表面上具有與所述布線電路連接的多個基板電極；以及本發明的第1發明的多個電觸頭。

發明的效果

根據本發明，能夠提供一種具有對被檢查體的電極端子的低針壓化和供給電流的最大化這兩種特性的電觸頭及探針卡。

附圖說明

圖1是表示實施方式的電觸頭的構成的主視圖。

圖2是表示實施方式的電連接裝置的構成的構成圖。

圖3是表示實施方式的電觸頭的構成的后視圖。

圖4是表示實施方式的電觸頭的組裝方法的一例的圖。

圖5是表示以往的電觸頭的構成例的圖。

圖6是說明經由以往的電觸頭的通電路徑的說明圖。